模分復用及偏振復用在硅光技術中的應用處于實驗室研究階段，多復用方式混合可以實現更大帶寬的光鏈路，有效地提高光信息密度，是未來發展方向。模分復用（MDM）系統是一種通過光纖或集成波導中的不同空間模式（如TE?、TE?等正交模式）作為獨立信道，實現多路信號并行傳輸的技術，例如分光器將激光器發出的光均分為4路，然后4路光分別通過調制器加載信息，隨后4路基模通過模式復用器分別轉換為總線波導的不同模式。偏振復用（PDM）是一種利用光信號的兩個正交偏振態獨立傳輸數據的技術。