中微公司、華海清科等前道設備扣非歸母凈利潤仍然維持高增，且扣非歸母利潤增速高于歸母凈利潤增速，真實盈利水平大幅提升；精測電子、中科飛測等量測設備廠商和至純科技等扣非歸母凈利潤大幅下滑，主要受到高研發費用和人員成本及其他類型業務利潤下滑、計提減值規模較大及其他類型主營業務利潤大幅下滑拖累。