MEMS壓力傳感器供應商
MEMS壓力傳感器的用途是檢測壓力,是一種薄膜元件,受到壓力時變形??梢岳脩儍x(壓阻型感測)來測量這種形變,也可以通過電容感測兩個面之間距離的變化來加以測量。當前國內外MEMS氣壓傳感器主要有GE
Sensing、歐姆龍、飛思卡爾、菲爾斯特、香港HKST、北京青鳥元芯、深圳華美澳通等
(1)GE
Sensing:目前有數十種MEMS氣壓傳感器。GE在2001年進軍傳感與測量領域后,陸續并購了多個業界知名的品牌——Druck、NovaSensor、Panametrics、Kaye、General
Eastern、Thermometrics、Ruska。博世(Bosch)MEMS壓力傳感器已經用于汽車側面氣囊等應用中
(2)歐姆龍:MEMS絕對壓力傳感器25MPB-02、2SMPB-02系列,能在37cm高低差范圍內準確檢測氣壓變化,實現高精度感知,有助于實現室內導航;部分型號還內含溫度傳感器。尺寸僅為2.5mm*2.0mm*0.85mm,低功耗,適合智能手機、平板電腦、活動檢測器等。
(3)飛思卡爾:計劃向消費和工業市場推出大量新的MEMS壓力傳感器產品。Analog Devices iSensor?
MEMS慣性測量單元(IMU)傳感器以多軸方式組合精密陀螺儀、加速度計、磁力計和壓力傳感器。
(4)菲爾斯特(Firstrate):采用MEMS技術在單晶硅上刻融惠斯登電橋組成的硅應變計,MEMS壓力傳感器針對基礎工業、家電、汽車電子等。
(5)香港HKST:MEMS壓力傳感器,采用邦定?技術可實現材料、尺寸等定制化。2014年公司被TE connectivity收購。
(6)TDK-EPC:為智能手機研發了MEMS壓力傳感器(2.78mmx2.23mmx0.67mm)。目前也在研發針對LPG(液化石油氣)及汽車電子的壓力傳感器。
(7)Silicon Microstructures:發布針對呼吸道壓力檢測的SM9541型MEMS壓力傳感器。
(8)Sensimed: Triggerfish型可植入MEMS眼壓傳感器。
(9)蘇州敏芯微電子:依托自身MEMS麥克風成熟的MEMS產業鏈,完成了從10kPA到5MPA的壓力芯片布局。高度計(氣壓計)芯片\數字胎壓計芯片\血壓計傳感器\汽車MAP成品等均已經大批穩定供貨,產品廣泛地應用于消費電子、醫療、汽車、工業控制等眾多領域。
(10)深圳華美澳通:采用美國ALLSENSORS公司專利技術,專業從事MEMS壓力傳感器及應用模組的研發
(11)北京青鳥元芯:YX-HP203B高度精度數字氣壓傳感器,內置MEMS壓力傳感器。尺寸3.6×3.8×1.2mm。
(12)中科院上海微系統所:超低溫漂MEMS壓力傳感器,采用MEMS技術將壓力敏感結構懸浮。實現了超低成本下可滿足批量直接應用,適合低成本的消費類電子產品。

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