什么是濕電子化學品？分類有哪些？應用在哪些領域？

1、濕電子化學品

濕電子化學品也叫超凈高純試劑，是指主體成分純度大于99.99%，雜質離子和微粒數符合嚴格要求的化學試劑，是微電子、光電子濕法工藝制程中使用的各種電子化工材料，濕電子化學品的質量好壞直接影響電子產品的成品率、電性能和可靠性，對微電子制造技術的產業化也有著重要作用。

按照SEMI登記的分類，濕電子化學品可劃分為G1-G5五個等級：

2、濕電子化學品分類

(1)按用途分類

濕電子化學品按用途可分為通用化學品和功能性化學品。

通用化學品

硫酸：強酸性清洗、腐蝕劑，在集成電路制程應用最多

過氧化氫：清洗、腐蝕劑，可與濃硫酸、硝酸、氫氟酸、氫氧化銨等配制使用，在集成電路制程應用較多

氫氟酸：強酸性清洗、腐蝕劑，可與硝酸、冰醋酸、過氧化氫及氫氧化銨等配制使用

鹽酸：酸性清洗、腐蝕劑，可與過氧化氫配制使用，可有效降低金屬雜質

硝酸：酸性清洗、腐蝕劑，可與冰乙酸、過氬化氫配制使用

磷酸：超純磷酸為酸性腐蝕劑，主要用于超大規模集成電路工藝技術的生產

氨水：堿性清洗、腐蝕劑，可與過氧化氫、水、氫氟酸配制使用

功能性化學品

蝕刻液：用于硅、金屬層蝕刻

顯影液：光刻膠曝光后顯影劑

剝離液：用于剝離光刻膠

(2)按應用領域濕化學品分類

按應用領域劃分，濕化學品主要應用于半導體、平板顯示、太陽能以及LED等領域。

半導體

主要應用于半導體制造的晶圓清洗、光刻、刻蝕等過程中;要求的純度等級最高，技術難度最大，盈利能力最強。

平板顯示

主要應用于薄膜制備中的清洗、光刻、刻蝕等環節;技術水平要求較高，盈利能力較強。

太陽能

主要應用于清洗制堿、清洗、刻蝕等;技術水平要求相對較低，盈利能力一般。

來源：《2020中國光刻膠掩模版電子氣體半導體材料產業市場行業研究報告(67頁).docx》

《江化微-公司首次覆蓋報告：國產濕電子化學品龍頭積極擴產前景可期-20211112(21頁).pdf》