
提升良率和效率是提高 TOPCon 電池性價比的關鍵。針對上述問題,可以看出,提高 TOPCon 電池良率、優化 TOPCon 膜沉積工藝從而進一步提升電池轉換效率是未來 TOPCon技術發展的主要方向。2020年 10月,中來股份研發了其 TOPCon 2.0技術的生產工藝,其與江蘇杰太利用獨創的線性等離子源技術,共同開發了一套全新的 POPAID 技術(Plasma Oxidation & Plasma Assisted Insitu-doping Deposition,等離子氧化及等離子輔助原位摻雜技術)。通過該技術,可在 POPAID 設備中集成了現有 TOPCon 生產技術所需的管式高溫氧化爐、管式 LPCVD爐,離子注入、繞鍍清洗等四臺設備實現的功能。不僅將電池生產工藝步驟減少到了 9 步,而且,電池產品的平均量產效率可達 24%以上,相比其 1.0技術提高 0.5%。