中科飛測-公司研究報告-半導體量測檢測龍頭核心環節國產替代可期-230526（16頁）.pdf

《中科飛測-公司研究報告-半導體量測檢測龍頭核心環節國產替代可期-230526（16頁）.pdf》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《中科飛測-公司研究報告-半導體量測檢測龍頭核心環節國產替代可期-230526（16頁）.pdf（16頁珍藏版）》請在三個皮匠報告上搜索。

1、 敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 證券研究報告 半導體量測檢測龍頭，核心環節國產替代可期 主要觀點：主要觀點：Table_Summary 量測檢測設備產品廣覆蓋，半導體制造質量控制領域先行者。量測檢測設備產品廣覆蓋，半導體制造質量控制領域先行者。中科飛測是國內領先的高端半導體質量控制設備公司，成立以來專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發，公司產品線已涵蓋了無圖形晶圓缺陷檢測、圖形晶圓缺陷檢測、三維形貌量測、薄膜膜厚量測和套刻精度量測設備等產品，可覆蓋 27.2%的量測檢測設備市場，同時公司正在研發的納米圖形晶圓缺陷檢測和晶圓金屬薄膜量測設備等。目前公司已有+在研的量測檢測設備共計可覆蓋

2、 50%以上的市場，對應了 100 億元以上的國內需求，相關研發將進一步提高公司產品線覆蓋的廣度。量測檢測設備市場廣闊，國產化進程方興未艾量測檢測設備市場廣闊，國產化進程方興未艾。量測檢測設備的市場空間僅次于光刻機，刻蝕機和薄膜沉積設備，同時也是除光刻機外國產化率最低的一環核心設備。2022 年全球超過1000 億美元的前道設備市場中，量測檢測設備占據了 13%-14%的份額。2022 年國產化率在 5%以內，可替代空間巨大，公司是中國量測檢測設備市場中占有份額最大的國內廠商，產品廣泛出貨于主流邏輯和存儲 fab 廠（中芯國際、長江存儲等）、先進封裝（長電科技、通富微電等），功率 fab（中芯

3、紹興、士蘭集科等）。量測檢測產品矩陣不斷完善，研發投入支撐主流產線國產替代量測檢測產品矩陣不斷完善，研發投入支撐主流產線國產替代。公司已有多臺設備在 28nm 產線通過驗收，另有對應 1Xnm 產線的 SPRUCE-900 型號設備正在研發中，對應 2Xnm 以下產線的 DRAGONBLOOD600 型號設備正在產線進行驗證，并已取得兩家客戶的訂單。在前道量測檢測領域，公司業務規模高于其他國內廠商，技術研發均向 2Xnm 以下節點推進，處于國內領先地位。公司部分產品目前仍在在客戶驗證階段，隨著研發和產品開發的不斷完善，我們預計公司將繼續在大陸 fab 廠中的份額進一步提升，隨國產化趨勢逐步放量

4、。投資建議投資建議 我們預計公司 2023 年-2025 年收入分別為 7.74 億元，11.51 億元以及16.18 億元，分別對應 PS 為 29 倍，19 倍以及 14 倍，2023 年-2025年歸母凈利潤分別為 0.54 億/1.00 億/2.08 億元。首次覆蓋，給予“買入”評級。風險提示風險提示 下游擴產不及預期，國際供應鏈風險等。Table_Profit 重要財務指標重要財務指標 單位單位:億億元元 主要財務指標主要財務指標 2022A 2023E 2024E 2025E 營業收入 5.09 7.74 11.51 16.18 收入同比（%）0.41 0.52 0.49 0.41

5、 歸屬母公司凈利潤 0.12 0.54 1.00 2.08 Table_StockNameRptType 中科飛測（中科飛測（688361）公司研究/公司深度 Table_Rank 投資評級：投資評級：買入買入（首次）（首次）報告日期：2023-05-26 Table_BaseData 收盤價（元）68.97 近 12 個月最高/最低（元）72/68.35 總股本（百萬股）320 流通股本（百萬股）60 流通股比例（%）18.73 總市值（億元）221 流通市值（億元）41 Table_Chart 公司價格與滬深公司價格與滬深 300 走勢比較走勢比較 Table_Author 分析師：分析師

6、：胡楊胡楊 執業證書號：S0010521090001 郵箱： Table_CompanyReport 相關報告相關報告 Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 2/16 證券研究報告 凈利潤同比（%）-0.78 3.63 0.83 1.09 毛利率（%）0.49 0.49 0.51 0.52 ROE（%）0.02 0.02 0.04 0.08 每股收益（元）0.05 0.17 0.31 0.65 P/E 0.00 405.53 221.57 106.11 P/B 0.00 9.51 9.11 8.39 EV/EBITDA-0

7、.47-15.32-6.32-4.81 資料來源：wind 一致預期，華安證券研究所 SUcVvVlYlXsQpNmR7NcM7NtRoOsQoNkPoOsPiNtQmM8OmMxOxNpNnOuOoNvMTable_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 3/16 證券研究報告 正文目錄正文目錄 1 半導體檢測量測設備龍頭，業務規模持續提升半導體檢測量測設備龍頭，業務規模持續提升.5 1.1 量測檢測技術水平國內領先，核心產品出貨規模量價齊升量測檢測技術水平國內領先，核心產品出貨規模量價齊升.5 1.2 股東背景雄厚，核心技術團隊穩定

8、股東背景雄厚，核心技術團隊穩定.5 1.3 檢測設備量價齊升，研發投入持續高增檢測設備量價齊升，研發投入持續高增.6 2 量測檢測設備市場廣闊，國產化進程方興未艾量測檢測設備市場廣闊，國產化進程方興未艾.8 2.1 全球前道設備市場連續增長，中國大陸市場增幅顯著全球前道設備市場連續增長，中國大陸市場增幅顯著.8 2.2 全球競爭格局全球競爭格局“一超多強一超多強”，成熟制程需求及重要性提升，成熟制程需求及重要性提升.9 3 量測檢測產品矩陣不斷完善，研發支撐產線國產替代量測檢測產品矩陣不斷完善，研發支撐產線國產替代.10 4 估值分析估值分析.12 風險提示：風險提示：.14 財務報表與盈利預

9、測財務報表與盈利預測.15 Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 4/16 證券研究報告 圖表目錄圖表目錄 圖表圖表 1 公司產品發展歷程公司產品發展歷程.5 圖表圖表 2 公司股權結構圖公司股權結構圖.6 圖表圖表 3 公司核心技術人員公司核心技術人員.6 圖表圖表 4 公司營收及增速公司營收及增速.7 圖表圖表 5 公司歸母凈利潤及增速公司歸母凈利潤及增速.7 圖表圖表 6 公司主要業務營收占比（公司主要業務營收占比（%）.7 圖表圖表 7 公司主要業務毛利率（公司主要業務毛利率（%）.7 圖表圖表 8 公司毛利率及凈

10、利率公司毛利率及凈利率.8 圖表圖表 9 公司費用率水平公司費用率水平.8 圖表圖表 10 全球半導體設備市場規模全球半導體設備市場規模.8 圖表圖表 11 2020 年全球半導體檢測和量測設備市場格局情況年全球半導體檢測和量測設備市場格局情況.9 圖表圖表 12 量測檢測設備各地域市場情況量測檢測設備各地域市場情況.9 圖表圖表 13 量測檢測設備品類細分市場量測檢測設備品類細分市場.10 圖表 14 公司檢測設備產品矩陣公司檢測設備產品矩陣.11 圖表圖表 15 公司量測設備產品矩陣公司量測設備產品矩陣.11 圖表圖表 16 公司業務拆分情況公司業務拆分情況.13 圖表圖表 17 公司估值

11、對比公司估值對比.13 Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 5/16 證券研究報告 1 半導體檢測量測設備龍頭半導體檢測量測設備龍頭，業務規模持續提升，業務規模持續提升 1.1 量測檢測技術水平國內領先，核心產品出貨規模量價齊升量測檢測技術水平國內領先，核心產品出貨規模量價齊升 中科飛測是一家國內領先的高端半導體質量控制設備公司，自成立以來始終專注于檢測和量測兩大類集成電路專用設備的研發、生產和銷售，產品主要包括無圖形晶圓缺陷檢測設備系列、圖形晶圓缺陷檢測設備系列、三維形貌量測設備系列、薄膜膜厚量測設備系列等產品，已應用

12、于國內 28nm 及以上制程的集成電路制造產線。在集成電路領域，公司自主研發、生產的檢測和量測設備已在國內主要集成電路制造廠商獲得驗證并取得批量訂單，在國內市場上打破了國外廠商的壟斷。公司的質量控制設備主要包括檢測設備和量測設備兩大類，在技術領域方面，公司產品更是有著不輸同行業競品的性能。圖表圖表 1 公司產品發展歷程公司產品發展歷程 資料來源：公司公告，華安證券研究所 1.2 股股東背景雄厚，核心技術團隊穩定東背景雄厚，核心技術團隊穩定 背背靠中科院，股東賦能?？恐锌圃?，股東賦能。截至 2023 年 5 月 24 日，公司實際控制人 CHENLU（陳魯）通過蘇州翌流明間接持有公司 8.15%

13、的股份；哈承姝直接持有公司 5.2%股份，通過翌流明間接持有公司 3.66%的股份。實控人夫婦合計持股為 17.01%。此外，公司大股東還包括深創投、中科院微電子所等國有資本；及國投基金、芯動能等知名一級戰略投資機構。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 6/16 證券研究報告 圖表圖表 2 公司股權結構圖公司股權結構圖 資料來源：公司招股說明書，華安證券研究所 蘇州翌流明為小納光（持股 7.86%）執行事務合伙人，同時，哈承姝直接持有公司 6.93%股份。兩位實際控制人合計持有公司 30.54%的股份。圖表圖表 3 公司

14、核心技術人員 姓名姓名 任職情況任職情況 個人背景個人背景 陳魯陳魯 董事長 畢業于中國科學技術大學少年班，物理學專業學士學位；美國布朗大學物理學專業，博士研究生學位。2003 年 11 月至2005 年 10 月，任 RudolphTechnologies（現創新科技）系統科學家；2005 年 11 月至 2010 年 2 月，任科磊半導體資深科學家；2010 年 3 月至 2016 年 8 月，任中科院微電子所研究員、博士生導師；2014 年 12 月至 2017 年 5 月，任公司董事兼總經理；2017 年 5 月至 2022 年 10 月，任公司董事長兼總經理；2022 年 10 月至

15、今，任公司董事長 黃有為黃有為 首席科學家 畢業于北京理工大學光學工程專業，博士研究生學歷。2010年 9 月至 2012 年 7 月，任清華大學博士后；2012 年 9 月至2016 年 2 月，任中科院微電子所助理研究員；2016 年 2 月至 2016 年 6 月，任北京中航智科技有限公司研發工程師；2016 年 6 月至今，任公司首席科學家 楊樂楊樂 首席科學家 畢業于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所光學工程專業，博士研究生學歷。2012 年 7 月畢業于中國科學院長春光學精密機械與物理研究所光學工程專業，博士研究生學歷。2012 年 7 月至 2020 年 2 月，歷任中科院微

16、電子所助理研究員、高級工程師；2015 年 3 月至今，任公司首席科學家。資料來源：公司招股說明書，華安證券研究所 1.3 檢測設備量價齊升，研發投入持續高增檢測設備量價齊升，研發投入持續高增 營收快速增長，盈利能力有望提升。營收快速增長，盈利能力有望提升。從營收看，公司 2020-2022 年營收分別為 237.59/360.55/509.24 萬元，3 年 CAGR 高達 46.4%，主要系檢測設備單價高于量測設備且銷量逐年遞增，市場認可度提升產品線迎來放量。從盈利能力看，公司于 2020 年實現扭虧為盈，但研發持續高投入帶來一定利潤水平波動。未來，隨著規模相應凸顯，公司盈利能力有望持續增

17、強。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 7/16 證券研究報告 圖表圖表 4 公司營收及增速公司營收及增速 圖表圖表 5 公司歸母凈利潤及增速公司歸母凈利潤及增速 資料來源：wind，華安證券研究所 資料來源：wind，華安證券研究所 檢測設備營收占比持續提升，創收能力顯著。檢測設備營收占比持續提升，創收能力顯著。2019-2022 年，公司檢測設備營收占比由 59.7%增至 75.5%。從價格來看，2022 年，公司檢測設備銷售毛利率（52.63%）顯著高于量測設備毛利率（35.84%）。公司于 2017 年成功研發的

18、無圖形晶圓缺陷檢測設備銷售單價較高。從銷量來看，無圖形晶圓缺陷檢測設備由于檢測精密度高及功能優化，出貨量快速增長；圖形晶圓缺陷檢測設備受益于客戶認可度提升及升級型號推出迎來放量。圖表圖表 6 公司主要業務營收占比（公司主要業務營收占比（%）圖表圖表 7 公司主要業務毛利率（公司主要業務毛利率（%）資料來源：wind，華安證券研究所 資料來源：wind，華安證券研究所 利潤率穩步提升，利潤率穩步提升，23Q1 研發費用率高位回落。研發費用率高位回落。2020 年，公司實現扭虧為盈；高單價檢測設備貢獻收入帶動毛利率整體逐年增長。2018-2012Q1，公司毛利率由23.67%增至 55.26%。公

19、司凈利率波動主要系研發投入較大。由于檢測、量測設備技術壁壘高，公司重視研發投入。2022 年，公司研發人員擴增至 324 人，納米級晶圓缺陷檢測設備研發投入大幅增加。23 年 Q1，公司費用率整體控制良好略有回落。0701402102803500200400600營業總收入（左軸，百萬元）增速(右軸，%)(100)0100200300(120)(80)(40)04080歸母凈利潤（左軸，百萬元）增速(右軸，%)0204060801002019202020212022其他業務量測設備02040608020182019202020212022檢測設備量測設備其他業務Table_CompanyRpt

20、Type1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 8/16 證券研究報告 圖表圖表 8 公司毛利率及凈利率公司毛利率及凈利率 圖表圖表 9 公司費用率水平公司費用率水平 資料來源：wind，華安證券研究所 資料來源：wind，華安證券研究所 2 量測量測檢測檢測設備市場廣闊，國產化進程方興未艾設備市場廣闊，國產化進程方興未艾 2.1 全球前道設備市場連續增長，中國大陸市場增幅顯著全球前道設備市場連續增長，中國大陸市場增幅顯著 根據 SEMI 的報告預測，半導體制造設備全球總銷售額預計將在 2022 年再次突破記錄達到 1175 億美元，比 2021 的 1025 億

21、美元增長 14.7%，全球半導體設備作為一個具有顯著的周期性特點的行業，實現罕見的連續四年的快速增長。而自2022 年末以來隨著上游晶圓廠擴產周期收緩，下游消費需求放緩，我們預計 2023年全球設備市場將隨著晶圓廠擴產的周期同步波動，增速有放緩趨勢。圖表圖表 10 全球半導體全球半導體設備設備市場規模市場規模 資料來源：semi，華安證券研究所 不同于全球的周期狀況，國產設備商享有晶圓廠擴產+國產化提速的雙重增速。從整體來看，中國大陸的半導體設備行業，同全球半導體設備行業一樣，享受著本土晶圓廠擴產，地方規劃重點扶持的政策福利。從國內市場而言，供應鏈結構合理化和地緣政治的需求，帶來了國內設備市場

22、國產替代的動能。事實上，由于國產化-200-135-70-560毛利率(%)凈利率(%)060120180240銷售費用率(%)管理費用率(%)研發費用率(%)61.287.5100.99104.273.857.177.767.726.017.838.778.810204060801001201402020202120222023半導體設備市場規模（單位：10億美元）前道制造封裝設備測試設備Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 9/16 證券研究報告 要求的不斷強化，中國大陸設備市場已經與全球設備的周期產生了分化，中國市場

23、的增速水平要更高。2.2 全球競爭格局“一超多強”，成熟制程需求及重要性提升全球競爭格局“一超多強”，成熟制程需求及重要性提升 KLA“一超多強一超多強”單寡頭格局，量測檢測設備市場單寡頭格局，量測檢測設備市場規模規模穩步穩步提升提升。2020 年，在前道量測檢測設備市場中，KLA 的市場份額達到 51%，市場份額是排在第二位的 AMAT 的四倍以上。近年來，EUV 光刻機以及化合物半導體的需求帶來了量測檢測與過程控制設備市場的增長。EUV 光刻機為量測檢測市場包含其對應的掩膜版檢測需求。而下游新能源車的強勁增長推動了化合物半導體市場的檢測需求。成熟制程需求上升，中國市場重要性提升。成熟制程需

24、求上升，中國市場重要性提升。受到中國大陸成熟制程市場投資的持續推動，同時汽車，傳感器，工業等下游領域的需求熱度不減，28nm 以上產線的設備需求好于預期，28nm 產線成熟制程的設備重要性同步提升。圖表圖表 11 2020 年全球半導體檢測和量測設備市場格局年全球半導體檢測和量測設備市場格局 圖表圖表 12 量測檢測設備各地域市場情況量測檢測設備各地域市場情況 資料來源：公司招股說明書，VLSI，華安證券研究所 資料來源：公司招股說明書，VLSI，華安證券研究所 根據 VLSI Research 的統計，2020 年半導體檢測和量測設備市場各類設備中，檢測設備占比為 62.6%，包括無圖形晶圓

25、缺陷檢測設備、圖形晶圓缺陷檢測設備、掩膜檢測設備等；量測設備占比為 33.5%，包括三維形貌量測設備、薄膜膜厚量測設備（晶圓介質薄膜量測設備）、套刻精度量測設備、關鍵尺寸量測設備、掩膜量測設備等。KLA51%AMAT12%日立9%雷泰光電5%創新科技6%新星3%康特科技2%其他8%KLAAMAT日立雷泰光電創新科技阿斯麥新星康特科技其他26.5%27.4%23.3%24.8%15.9%18.4%12.8%10.8%12.6%10.6%5.6%4.7%3.3%3.1%0%20%40%60%80%100%2019年2020年中國大陸中國臺灣韓國日本北美歐洲其他Table_CompanyRptTyp

26、e1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 10/16 證券研究報告 圖表圖表 13 量測檢測設備品類細分市場量測檢測設備品類細分市場 設備種類設備種類 設備類型設備類型 比例比例 檢測設備（62.6%）納米圖形晶圓缺陷檢測設備 24.70%掩膜版缺陷檢測設備 11.30%圖形晶圓缺陷檢測設備 6.30%無圖形晶圓缺陷檢測設備 9.70%電子束缺陷檢測設備 5.70%電子束缺陷復查設備 4.90%量測設備（33.5%）電子束關鍵尺寸量測設備 8.10%套刻精度量測設備 7.30%關鍵尺寸量測設備 10.20%晶圓介質薄膜量測設備 3.00%X 光量測設備 2.20%

27、掩膜版關鍵尺寸量測設備 1.30%三維形貌量測設備 0.90%晶圓金屬薄膜量測設備 0.50%其他 其他 3.90%覆蓋度 100%資料來源：公司招股說明書，VLSI，華安證券研究所 從技術路徑上來看，光學檢測、電子束檢測兩者在制程工藝的檢測中應用互補。光學的特點在于快速與完整，通過光的反射、衍射光譜進行測量，具備檢測速度快、成本低、范圍廣的優點；但是傳統光學的波長是奈米等級，無法做非常精細的檢測，所以會再使用電子束做更精細的檢測。因此，以當前的行業發展趨勢，光學檢測手段仍然占據主流，電子束和 X 光檢測在特定領域的應用也不斷完善。3 量測檢測產品矩陣不斷完善，研發支撐產線國量測檢測產品矩陣不

28、斷完善，研發支撐產線國產替代產替代 在集成電路領域，公司自主研發、生產的檢測和量測設備已在國內主要集成電路制造廠商獲得驗證并取得批量訂單，在國內市場上打破了國外廠商的壟斷。公司的質量控制設備主要包括檢測設備和量測設備兩大類，在技術領域方面，公司產品更是有著不輸同行業競品的性能。檢測設備的主要功能系檢測晶圓表面或電路結構中是否出現異質情況，如顆粒污染、表面劃傷、開短路等對芯片工藝性能具有不良影響的特征性結構缺陷，公司的主要檢測設備產品為無圖形晶圓缺陷檢測設備系列和圖形晶圓缺陷檢測設備系列。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明

29、 11/16 證券研究報告 圖表圖表 14 公司檢測設備產品矩陣公司檢測設備產品矩陣 產品類型產品類型 業務介紹業務介紹 公司優勢公司優勢 產品圖示產品圖示 無圖形晶圓缺無圖形晶圓缺陷檢測設備系陷檢測設備系列列 實現無圖形晶圓表面的缺陷計數、識別缺陷的類型和空間分布，衡量的關鍵指標為最小靈敏度和吞吐量。通過高精度的光學檢測技術和信噪比的增強，使得最小靈敏度遠小于設備所使用的光源波長所對應的光學成像分辨率，公司SPRUCE-600 和 SPRUCE-800 設備可實現的最小靈敏度分別為 60nm 和 23nm。公司設備靈敏度和吞吐量可以滿足不同客戶需求，公司設備與國際競品整體性能相當，已在中芯國

30、際等知名晶圓制造廠商的產線上實現無差別應用。圖形晶圓缺陷圖形晶圓缺陷檢測設備系列檢測設備系列 主要應用于先進封裝環節的晶圓出貨檢測，可實現對晶圓表面高精度高速的成像，并對成像圖案進行高速運算，從而識別出超過制程工藝要求范圍的、可能會影響晶圓性能的電路缺陷。衡量的關鍵指標為最小靈敏度和吞吐量。公司該型號設備最小靈敏度可達到 0.5m，在靈敏度為 3m 時的吞吐量為 80wph。公司設備靈敏度和吞吐量可以滿足不同客戶需求。公司設備與國際競品整體性能相當，已在長電先進、華天科技等知名先進封裝廠商的產線上實現無差別應用。資料來源：公司公告，華安證券研究所 量測設備的主要功能系對被觀測的晶圓電路上的結構

31、尺寸和材料特性做出量化描述，如薄膜厚度、關鍵尺寸、刻蝕深度、表面形貌等物理性參數的量測。在精密加工領域，量測設備主要功能是精密結構件的三維尺寸量測。圖表圖表 15 公司量測設備產品矩陣公司量測設備產品矩陣 產品類型產品類型 業務介紹 公司優勢 產品圖示 三維形貌量測三維形貌量測設備系列設備系列 主要應用于晶圓上的納米級三維形貌測量、雙/多層薄膜厚度測量、關鍵尺寸和偏移量測量，配合圖形晶圓智能化特征識別和流程控制、晶圓傳片和數據通訊等自動化平臺。公司該型號設備的重復性精度達到 0.1nm，能夠支持 2Xnm 及以上制程工藝中的三維形貌測量。公司設備重復度精度可以滿足不同客戶需求。公司設備與國際競

32、品整體性能相當，已在長江存儲等知名晶圓制造廠商的產線上實現無差別應用。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 12/16 證券研究報告 產品類型產品類型 業務介紹 公司優勢 產品圖示 薄膜膜厚量測薄膜膜厚量測設備系列設備系列 主要應用于晶圓上納米級的單/多層膜的膜厚測量，采用橢圓偏振技術和光譜反射技術實現高精度薄膜膜厚、n-k 值的快速測量。在靈敏度/重復性精度方面，公司薄膜膜厚量測設備系列重復性精度的顯著提高，達到0.003nm。3D 曲面玻璃曲面玻璃量測設備系列量測設備系列 主要應用于 3D 曲面玻璃等構件的輪廓、弧高、

33、厚度、尺寸測量，采用光譜共焦技術，實現高精度、高速度的非接觸式測量。搭載可配置的全自動測量軟件工具和完整的測試及結果分析界面 公司該類產品主要應用于 3D 曲面玻璃等構件的輪廓、弧高、厚度、尺寸測量，采用光譜共焦技術，實現高精度、高速度的非接觸式測量。搭載可配置的全自動測量軟件工具和完整的測試及結果分析界面 資料來源：公司公告，華安證券研究所 公司持續推進研發工作，在無圖形檢測領域，公司形成了深紫外成像掃描技術，從而完成無圖形晶圓缺陷檢測設備 SPRUCE-800 的開發。此外，公司積累的深紫外成像掃描技術也已運用到 SPRUCE-800 設備中，在報告期內確認主營業務收入 2.68 億元。在

34、圖形檢測領域，公司形成了納米圖形晶圓缺陷檢測設備的理論基礎研究，納米圖形晶圓缺陷檢測設備正在研發過程中，暫未形成主營業務收入，公司各項研發工作正同步推進。4 估值分析估值分析 近年來公司銷售收入增長迅速。公司主營產品主要由檢測設備和量測設備構成。2021 年，公司無圖形晶圓缺陷檢測設備銷售數量及平均單價均實現增長使得銷售收入快速增長；2022 年無圖形晶圓缺陷檢測設備收入增長主要來源于銷量增長，主要系自 2017 年 SPRUCE-600 型號無圖形晶圓缺陷檢測設備研發成功并經下游知名客戶驗證通過后，迅速獲得市場廣泛認可，銷售客戶數量增加。同時公司在持續推進納米圖形晶圓檢測設備的研發，我們預計

35、公司 2023 年-2025年檢測設備的增速仍將維持較高水平，量測設備收入規模也將維持穩步增長。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 13/16 證券研究報告 圖表圖表 16 公司業務拆分情況公司業務拆分情況 主營構成主營構成(單位單位:億元億元)2022A2022A 2023E2023E 2024E2024E 2025E2025E 檢測設備檢測設備 收入 3.85 6.22 9.51 13.55 增速 45%61%53%43%毛利率 53%53%54%55%業務收入比例(%)76%80%83%84%量測設備量測設備 收入

36、 1.18 1.42 1.84 2.39 增速 26%20%30%30%毛利率 36%36%38%40%業務收入比例(%)23%18%16%15%其他業務其他業務 收入 0.07 0.11 0.16 0.24 增速 182%50%50%50%業務收入比例(%)1%1%1%1%總收入總收入 5.105.10 7.747.74 11.5111.51 16.1816.18 資料來源：wind,華安證券研究所 公司所處半導體前道量測檢測行業，與精測電子，以及中微公司持股的上海睿勵處于細分同一賽道，公司業務體量在中國前道量測檢測設備公司中規模最大，公司已有多臺設備在 28nm 產線通過驗收，另有對應 1

37、Xnm 產線的 SPRUCE-900 型號設備正在研發中，對應 2Xnm 以下產線的 DRAGONBLOOD600 型號設備正在產線進行驗證，并已取得兩家客戶的訂單。綜上所述，公司業務規模高于其他國內競爭對手，技術研發均向 2Xnm 以下節點推進，公司處于國內領先地位。同時我們也選取同處于前道半導體設備的中微公司，拓荊科技，芯源微，華海清科等作為可比公司，考慮到量測檢測設備的重要性以及低國產化率高市場空間的特點來看，我們采用 PS 估值法，給予中科飛測 2023 年 29 倍 PS。我們預計公司 2023 年-2025 年收入分別為 7.74 億元，11.51 億元以及 16.18 億元，分別

38、對應 PS 為 29 倍，19 倍以及 14 倍，2023 年-2025 年歸母凈利潤分別為 0.54 億/1.00 億/2.08 億元。首次覆蓋，給予“買入”評級。圖表圖表 17 公司公司估值對比估值對比 公司公司 證券代碼證券代碼 總市值（億元）總市值（億元）PS2023PS2023 PS2024PS2024 PS2025PS2025 芯源微 688037 247.87 12 9 7 拓荊科技 688072 496.94 17 12 9 中微公司 688012 986.95 16 12 10 精測電子 300567 262.76 8 6 5 華海清科 688120 410.67 15 11

39、 9 中科飛測 688361 220.70 29 19 14 資料來源：wind 一致預期，華安證券研究所 ，Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 14/16 證券研究報告 風險提示：風險提示：下游擴產不及預期，國際供應鏈風險等。Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 15/16 證券研究報告 財務報表與盈利預測財務報表與盈利預測 資產負債表資產負債表 單位:億元 利潤表利潤表 單位:億元 會計年度會計年度 2022A 2023E 2024E 2025E

40、 會計年度會計年度 2022A 2023E 2024E 2025E 流動資產流動資產 14.10 33.84 40.10 47.03 營業收入營業收入 5.09 7.74 11.51 16.18 現金 2.40 19.73 15.74 19.99 營業成本 2.61 3.94 5.67 7.77 應收賬款 1.31 2.55 2.85 4.98 營業稅金及附加 0.01 0.01 0.02 0.03 其他應收款 0.08 0.12 0.18 0.24 銷售費用 0.54 0.85 1.04 1.46 預付賬款 0.51 0.67 1.03 1.37 管理費用 0.60 0.85 1.27 1.

41、78 存貨 8.61 9.62 18.69 18.69 財務費用 0.00 0.00 0.00 0.00 其他流動資產 1.19 1.15 1.61 1.77 資產減值損失-0.14 -0.01 0.00 0.00 非流動資產非流動資產 2.42 3.03 3.59 4.07 公允價值變動收益 0.00 0.00 0.00 0.00 長期投資 0.00 0.00 0.00 0.00 投資凈收益 0.01 0.02 0.02 0.03 固定資產 1.09 1.36 1.56 1.68 營業利潤營業利潤 0.13 0.55 1.01 2.11 無形資產 0.35 0.51 0.69 0.89 營業

42、外收入 0.00 0.00 0.00 0.00 其他非流動資產 0.98 1.16 1.34 1.50 營業外支出 0.01 0.00 0.00 0.00 資產總計資產總計 16.52 36.87 43.70 51.10 利潤總額利潤總額 0.12 0.55 1.01 2.11 流動負債流動負債 9.73 12.55 18.38 23.70 所得稅 0.00 0.01 0.01 0.03 短期借款 1.65 2.47 3.21 3.98 凈利潤凈利潤 0.12 0.54 1.00 2.08 應付賬款 1.06 2.92 2.59 5.11 少數股東損益 0.00 0.00 0.00 0.00

43、其他流動負債 7.03 7.16 12.59 14.60 歸屬母公司凈利潤歸屬母公司凈利潤 0.12 0.54 1.00 2.08 非流動負債非流動負債 1.10 1.10 1.10 1.10 EBITDA 0.44 0.95 1.55 2.75 長期借款 0.00 0.00 0.00 0.00 EPS（元）0.05 0.17 0.31 0.65 其他非流動負債 1.10 1.10 1.10 1.10 負債合計負債合計 10.83 13.65 19.48 24.81 主要財務比率主要財務比率 少數股東權益 0.00 0.00 0.00 0.00 會計年度會計年度 2022A 2023E 202

44、4E 2025E 股本 2.40 3.20 3.20 3.20 成長能力成長能力 資本公積 2.22 18.41 18.41 18.41 營業收入 41.2%52.0%48.7%40.6%留存收益 1.07 1.61 2.61 4.69 營業利潤-75.7%324.4%83.0%108.8%歸屬母公司股東權 5.69 23.22 24.21 26.29 歸屬于母公司凈利-78.0%363.4%83.0%108.8%負債和股東權益負債和股東權益 16.52 36.87 43.70 51.10 獲利能力獲利能力 毛利率（%）48.7%49.1%50.7%52.0%現金流量表現金流量表 單位:億元

45、凈利率（%）2.3%7.0%8.7%12.9%會計年度會計年度 2022A 2023E 2024E 2025E ROE（%）2.1%2.3%4.1%7.9%經營活動現金流經營活動現金流 0.67 0.53 -3.63 4.59 ROIC（%）1.5%2.0%3.5%6.6%凈利潤 0.12 0.54 1.00 2.08 償債能力償債能力 折舊攤銷 0.33 0.41 0.56 0.68 資產負債率（%）65.6%37.0%44.6%48.5%財務費用 0.02 0.00 0.00 0.00 凈負債比率（%）190.4%58.8%80.5%94.3%投資損失-0.01 -0.02 -0.02 -

46、0.03 流動比率 1.45 2.70 2.18 1.98 營運資金變動 0.04 -0.41 -5.16 1.86 速動比率 0.42 1.81 1.05 1.09 其他經營現金流 0.24 0.96 6.16 0.22 營運能力營運能力 投資活動現金流投資活動現金流-0.76 -1.00 -1.10 -1.12 總資產周轉率 0.37 0.29 0.29 0.34 資本支出-1.17 -1.02 -1.13 -1.15 應收賬款周轉率 4.55 4.01 4.26 4.13 長期投資 0.40 0.00 0.00 0.00 應付賬款周轉率 2.14 1.98 2.06 2.02 其他投資現

47、金流 0.01 0.02 0.02 0.03 每股指標（元）每股指標（元）籌資活動現金流籌資活動現金流 0.39 17.81 0.74 0.78 每股收益 0.05 0.17 0.31 0.65 短期借款 0.65 0.82 0.74 0.78 每股經營現金流?。?.21 0.16 -1.13 1.43 長期借款 0.00 0.00 0.00 0.00 每股凈資產 2.37 7.26 7.57 8.22 普通股增加 0.00 0.80 0.00 0.00 估值比率估值比率 資本公積增加 0.03 16.18 0.00 0.00 P/E 0.00 405.53 221.57 106.11 其他籌

48、資現金流-0.29 0.00 0.00 0.00 P/B 0.00 9.51 9.11 8.39 現金現金凈增加額凈增加額 0.29 17.33 -3.99 4.25 EV/EBITDA-0.47 -15.32 -6.32 -4.81 資料來源：公司公告，華安證券研究所 Table_CompanyRptType1 中科飛測（中科飛測（688361）敬請參閱末頁重要聲明及評級說明 16/16 證券研究報告 Table_Reputation 重要聲明重要聲明 分析師聲明分析師聲明 本報告署名分析師具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格，以勤勉的執業態度、專業審慎的研究方法，使用合法合規的信息

49、，獨立、客觀地出具本報告，本報告所采用的數據和信息均來自市場公開信息，本人對這些信息的準確性或完整性不做任何保證，也不保證所包含的信息和建議不會發生任何變更。報告中的信息和意見僅供參考。本人過去不曾與、現在不與、未來也將不會因本報告中的具體推薦意見或觀點而直接或間接收任何形式的補償，分析結論不受任何第三方的授意或影響，特此聲明。免責聲明免責聲明 華安證券股份有限公司經中國證券監督管理委員會批準，已具備證券投資咨詢業務資格。本報告由華安證券股份有限公司在中華人民共和國（不包括香港、澳門、臺灣）提供。本報告中的信息均來源于合規渠道，華安證券研究所力求準確、可靠，但對這些信息的準確性及完整性均不做任

50、何保證。在任何情況下，本報告中的信息或表述的意見均不構成對任何人的投資建議。在任何情況下，本公司、本公司員工或者關聯機構不承諾投資者一定獲利，不與投資者分享投資收益，也不對任何人因使用本報告中的任何內容所引致的任何損失負任何責任。投資者務必注意，其據此做出的任何投資決策與本公司、本公司員工或者關聯機構無關。華安證券及其所屬關聯機構可能會持有報告中提到的公司所發行的證券并進行交易，還可能為這些公司提供投資銀行服務或其他服務。本報告僅向特定客戶傳送，未經華安證券研究所書面授權，本研究報告的任何部分均不得以任何方式制作任何形式的拷貝、復印件或復制品，或再次分發給任何其他人，或以任何侵犯本公司版權的其

51、他方式使用。如欲引用或轉載本文內容，務必聯絡華安證券研究所并獲得許可，并需注明出處為華安證券研究所，且不得對本文進行有悖原意的引用和刪改。如未經本公司授權，私自轉載或者轉發本報告，所引起的一切后果及法律責任由私自轉載或轉發者承擔。本公司并保留追究其法律責任的權利。Table_RankIntroduction 投資評級說明投資評級說明 以本報告發布之日起 6 個月內，證券（或行業指數）相對于同期相關證券市場代表性指數的漲跌幅作為基準，A 股以滬深 300 指數為基準；新三板市場以三板成指（針對協議轉讓標的）或三板做市指數（針對做市轉讓標的）為基準；香港市場以恒生指數為基準；美國市場以納斯達克指數

52、或標普 500 指數為基準。定義如下：行業評級體系行業評級體系 增持未來6個月的投資收益率領先市場基準指數5%以上;中性未來 6 個月的投資收益率與市場基準指數的變動幅度相差-5%至 5%;減持未來 6 個月的投資收益率落后市場基準指數 5%以上;公司評級體系公司評級體系 買入未來 6-12 個月的投資收益率領先市場基準指數 15%以上；增持未來 6-12 個月的投資收益率領先市場基準指數 5%至 15%；中性未來 6-12 個月的投資收益率與市場基準指數的變動幅度相差-5%至 5%；減持未來 6-12 個月的投資收益率落后市場基準指數 5%至；賣出未來 6-12 個月的投資收益率落后市場基準指數 15%以上；無評級因無法獲取必要的資料，或者公司面臨無法預見結果的重大不確定性事件，或者其他原因，致使無法給出明確的投資評級。