半導體設備、零部件行業2023年&2024一季報總結：訂單確認節奏致業績分化出貨+訂單持續高增-240508（25頁）.pdf

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1、【華西機械團隊華西機械團隊】黃瑞連：黃瑞連：S1120524030001S1120524030001訂單確認節奏致業績分化，出貨+訂單持續高增請仔細閱讀在本報告尾部的重要法律聲明請仔細閱讀在本報告尾部的重要法律聲明僅供機構投資者使用僅供機構投資者使用證券研究報告證券研究報告/行業深度行業深度研究報告研究報告2024年5月8日半導體設備/零部件2023年&2024一季報總結：1466361核心觀點訂單確認節奏致業績分化，出貨+訂單持續高增。半導體前道設備選取12家公司【北方華創】【中微公司】【拓荊科技】【華海清科】【盛美上?！俊局锌骑w測】【精測電子】【芯源微】【萬業企業】【微導納米】【京儀裝備】

2、【至純科技】；后道測試設備選取4家公司【長川科技】【華峰測控】【金海通】【精智達】；零部件選取7家公司【正帆科技】【新萊應材】【富創精密】【英杰電氣】【華亞智能】【漢鐘精機】【江豐電子】。1）收入端，23&24Q1前道設備板塊營收490.19、117.36億元，分別同比+36.79%、31.19%；后道測試設備板塊營收34.62、8.68億元，分別同比-24.38%、+28.99%；零部件板塊營收172.97、39.90億元，分別同比+20.44%、+33.18%，受訂單確認節奏影響，前道設備板塊營收出現一定降速，零部件和后道封測設備板塊營收端出現環比改善。2）利潤端，23&24Q1前道設備板

3、塊歸母凈利潤94.41、18.03億元，分別同比+47.60%、18.53%；后道測試設備板塊歸母凈利潤4.97、0.28億元，分別同比-58.82%、-39.12%；零部件板塊歸母凈利潤24.46、4.63億元，分別同比+8.81%、30.58%。24Q1前道設備板塊歸母凈利潤降速明顯，盈利水平有所下降，后道測試設備板塊持續承壓，歸母凈利潤持續大幅下滑，零部件整體利潤端改善明顯，盈利水平有所修復。3）存貨&訂單方面，23&24Q1前道設備板塊存貨為443.15、501.63億元，分別同比+40.69%、+42.31%；后道測試設備板塊存貨為28.73、29.13億元，分別同比+22.35%、

4、+16.01%；零部件板塊存貨為100.81、106.56億元，分別同比+34.17%、+25.26%。2024Q1前道設備、后道測試設備、零部件存貨均創歷史新高，尤其前道設備板塊同比有所加速，主要系訂單交付同比實現高速增長所致。23&24Q1前道設備板塊合同負債167.83、187.56億元，分別同比+7.66%、+11.69%；零部件板塊合同負債為39.61、42.24億元，分別同比+73.89%、+50.56%。前道設備板塊合同負債同比增速相較2021-2022年有所下降，我們推測主要系戶付款方式變化，部分客戶設備發貨才收到預付款，24Q1新接訂單仍延續高速增長勢頭，零部件經過行業去庫存

5、+下游訂單需求旺盛，合同負債延續高速增長勢頭。大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商。1）邏輯端，2023年中芯國際資本開支達到75億美元，同比+18%，并預計2024年資本開支同比基本持平；2024年4月，上海華力康橋二期產線廠房及配套設施建設項目，招標金額為98.81億元，擴產規模龐大。存儲端，2023年一線存儲大廠擴產力度受到明顯影響，長存、長鑫陸續增資背景下，疊加設備與工藝技術端進步，我們預計2024年存儲端擴產需求有望快速起量。2）2023年中國大陸累計進口荷蘭光刻機金額72.30億美元，同比+184%，2024年1-3月進口金額分別為7.06、4.35、11.50億美

6、元，分別同比+559%、+129%、+345%，延續高速增長勢頭，且光刻機單價同比大幅提升，對后續擴產有較強指引。3）SEMI預計2025年全球12 英寸晶圓廠設備投資增長至1165億美元，同比+20%，2026年達1305億美元，同比+12%，到2027年將達到1370億美元的歷史新高。自主可控推動下，中國大陸未來四年將保持每年300億美元以上的投資規模，繼續引領全球晶圓廠設備支出。4）整體來看，半導體設備國產化率不足20%，仍處于相對低位，對于光刻、量/檢測、涂膠顯影、離子注入設備等領域，我們預估國產化率仍低于10%，國產替代背景下，看好本土設備國產化率快速提升。投資建議：前道設備受益標的

7、北方華創、拓荊科技、華海清科、中微公司、中科飛測、精測電子、芯源微、萬業企業、京儀裝備、盛美上海、微導納米、至純科技；后道測試設備受益標的長川科技、華峰測控、金海通、精智達；零部件受益標的正帆科技、富創精密、英杰電氣、新萊應材、江豐電子、漢鐘精機、華亞智能。風險提示：海外制裁、半導體行業景氣度下滑、晶圓廠資本開支不及預期等。bUaVdXdX9WbUfVcWaQcMaQtRrRsQrNeRmMmRlOqRmM8OpOqRuOrNtNvPrNpO2核心觀點圖表：半導體設備、零部件行業重點公司2023&2024Q1主要業績情況 2023年營收年營收（億元）（億元）同比增長同比增長2024Q1營營收（

8、億收（億元）元）同比增長同比增長2023年歸母年歸母凈利潤（億凈利潤（億元）元）同比增長同比增長2024年年Q1歸歸母凈利潤母凈利潤（億元）（億元）同比增長同比增長2023歸母凈歸母凈利率利率2024Q1歸母歸母凈利率凈利率2023毛利率利毛利率利率率2024Q1毛毛利率利率北方華創北方華創220.7950.32%58.5951.36%38.9965.73%11.2790.40%17.66%19.23%41.10%43.40%中微公司中微公司62.6432.15%16.0531.23%17.8652.67%2.49-9.53%28.51%15.52%45.83%44.94%拓荊科技拓荊科技27

9、.0558.60%4.7217.25%6.6379.80%0.10-80.51%24.50%2.22%51.01%47.31%華海清科華海清科25.0852.11%6.8010.40%7.2444.29%2.024.27%28.86%29.72%46.02%47.92%盛美上海盛美上海38.8835.34%9.2149.63%9.1136.21%0.80-38.76%23.42%8.70%51.99%46.32%中科飛測中科飛測8.9174.95%2.3645.60%1.401095.09%0.349.16%15.75%14.54%52.62%54.34%精測電子精測電子24.29-11.03

10、%4.18-30.50%1.50-44.78%-0.16-234.11%6.18%-3.81%48.95%47.01%微導納米微導納米16.80145.39%1.71125.27%2.70399.33%0.04428.12%16.10%2.09%43.64%42.90%芯源微芯源微17.1723.98%2.44-15.27%2.5125.21%0.16-75.73%14.60%6.56%42.53%40.30%京儀裝備京儀裝備7.4211.84%2.1920.98%1.1930.75%0.2816.02%16.05%12.80%38.35%35.03%至純科技至純科技31.513.33%8.1

11、13.48%3.7733.58%0.641.45%11.97%7.84%33.81%33.82%萬業企業萬業企業9.65-16.67%0.99-20.24%1.51-64.32%0.05-94.10%15.67%4.78%46.96%77.27%長川科技長川科技17.75-31.11%5.5974.81%0.45-90.21%0.04107.12%2.54%0.73%57.06%54.60%華峰測控華峰測控6.91-35.47%1.37-31.61%2.52-52.18%0.23-68.62%36.43%17.13%72.47%75.09%金海通金海通3.47-18.49%0.89-12.79

12、%0.85-44.91%0.15-53.31%24.42%16.82%49.21%48.89%精智達精智達6.4928.53%0.8362.25%1.1674.79%-0.14-322.11%17.84%-17.39%40.37%33.44%正帆科技正帆科技38.3541.78%5.8943.31%4.0155.15%0.25123.36%10.47%4.23%27.11%27.41%新萊應材新萊應材27.113.49%6.897.84%2.36-31.58%0.6827.36%8.70%9.94%25.58%25.32%富創精密富創精密20.6633.75%7.01105.47%1.69-3

13、1.33%0.6053.42%8.17%8.61%25.20%25.39%英杰電氣英杰電氣17.7037.99%3.7561.02%4.3127.23%0.8044.73%24.38%21.35%37.22%41.96%華亞智能華亞智能4.61-25.57%1.14-2.55%0.88-41.35%0.243.28%19.11%20.65%32.88%34.12%漢鐘精機漢鐘精機38.5217.96%7.498.61%8.6534.24%1.4625.64%22.45%19.53%40.32%37.08%江豐電子江豐電子26.0211.95%7.7236.73%2.55-3.67%0.606.

14、56%9.82%7.72%29.20%31.97%后道測試設備后道測試設備半導體設備半導體設備零部件零部件前道設備前道設備 3收入端：Q1前道分化明顯，零部件改善明顯圖表：2023&2024Q1半導體前道設備營收同比+36.79%、31.19%2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司合計營收490.19、117.36億元，分別同比+36.79%、31.19%；四家半導體后道測試設備公司合計營收34.62、8.68億元，分別同比-24.38%、+28.99%；七家半導體設備零部件公司合計營收172.97、39.90億元，分別同比+20.44%、+33.18%。不難發現，2024Q1前道設備

15、板塊營收出現一定降速，零部件和后道封測設備板塊營收端出現明顯改善。進一步分析：前道設備，2024Q1 北方華創、盛美上海、京儀裝備營收同比有一定提速，同比增速超過45%，其他均出現不同程度降速，拓荊科技、華海清科、芯源微等尤為明顯，主要系訂單確認節奏所致；后道測試設備，2024Q1長川科技、精智達營收改善明顯，分別同比74.81%、+62.25%，華峰測控、金海通依然承壓，隨著行業回暖，新接訂單已經有所改善。零部件，2024Q1 富創精密、英杰電氣、正帆科技同比增幅超過40%，表現出色，主要系國內半導體相關訂單需求旺盛。157.91234.67358.35490.19117.3623.89%4

16、8.61%52.71%36.79%31.19%-50%-20%10%40%70%010020030040050060020202021202220232024Q1營業收入（億元）同比增長-50%0%50%100%150%200%2023營收同比2024Q1營收同比圖表：2023&2024Q1半導體前道設備公司營收出現分化 4收入端：Q1前道分化明顯，零部件改善明顯圖表：2023&2024Q1半導體設備零部件營收同比+20.44%、+33.18%圖表：2023&2024Q1后道測試設備營收同比-24.38%、+28.99%圖表：2024Q1長川科技、精智達營收同比大幅增長圖表：2024Q1富創精

17、密、英杰電氣、正帆科技營收同比增速超40%16.7132.6845.7834.628.6889.43%95.55%40.08%-24.38%28.99%-50%-20%10%40%70%100%130%0510152025303540455020202021202220232024Q1營業收入（億元）同比增長-60%-40%-20%0%20%40%60%80%100%2023營收同比2024Q1營收同比71.41104.99143.61172.9739.9014.96%47.03%36.78%20.44%33.18%-50%-20%10%40%70%0204060801001201401601

18、8020020202021202220232024Q1營業收入（億元）同比增長-40%-20%0%20%40%60%80%100%120%2023營收同比2024Q1營收同比 5利潤端：零部件同比提速明顯，前道設備有所降速圖表：2023&2024Q1半導體前道設備歸母凈利潤同比+47.60%、+18.53%2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司合計歸母凈利潤94.41、18.03億元，分別同比+47.60%、18.53%；四家半導體后道測試設備公司合計歸母凈利潤4.97、0.28億元，分別同比-58.82%、-39.12%；七家半導體設備零部件公司合計歸母凈利潤24.46、4.63億元

19、，分別同比+8.81%、30.58%。由上可見，2024Q1前道設備板塊歸母凈利潤降速明顯，盈利水平有所下降，后道測試設備行業持續承壓，歸母凈利潤持續大幅下滑，零部件整體利潤端改善明顯，盈利水平有所修復。進一步分析：前道設備，2024Q1北方華創歸母凈利潤同比+90.40%，領跑板塊，微導納米實現扭虧，拓荊科技、盛美上海、芯源微則出現了較大幅度下滑，分別同比-80.51%、-38.76%、-75.73%；后道測試設備，2024Q1長川科技利潤端實現扭虧，華峰測控、金海通、精智達依然承壓，歸母凈利潤出現較大幅度下滑。零部件，2024Q1正帆科技、富創精密、英杰電氣歸母凈利潤分別同比+123.36

20、%、+53.42%、+44.73%，領跑板塊。圖表：2024Q1北方華創、微導納米歸母凈利潤同比大幅提升22.8337.0863.9694.4118.0366.81%62.42%72.49%47.60%18.53%-50%-20%10%40%70%100%010203040506070809010020202021202220232024Q1歸母凈利潤（億元）同比增長-400%-200%0%200%400%600%800%1000%1200%2023歸母凈利潤同比2024Q1歸母凈利潤同比 6利潤端：零部件同比提速明顯，前道設備有所降速圖表：2023&2024Q1零部件歸母凈利潤同比+8.81

21、%、30.58%圖表：2023&2024Q1后道測試設備歸母凈利潤同比-58.82%、-39.12%圖表：2024Q1長川科技歸母凈利潤出現明顯改善，扭虧圖表：2024Q1富創精密、英杰電氣、正帆科技歸母凈利潤同比高增3.688.7912.074.970.28202.57%138.81%37.43%-58.82%-39.12%-100%-40%20%80%140%200%260%0246810121420202021202220232024Q1歸母凈利潤（億元）同比增長-400%-300%-200%-100%0%100%200%2023歸母凈利潤同比2024Q1歸母凈利潤同比-50%0%50%

22、100%150%2023歸母凈利潤同比2024Q1歸母凈利潤同比9.8713.2722.4824.464.6367.62%34.43%69.44%8.81%30.58%-50%-20%10%40%70%100%05101520253020202021202220232024Q1歸母凈利潤（億元）同比增長 7凈利率：前道設備+零部件略有下滑，后道設備持續承壓圖表：2023&2024Q1半導體前道設備歸母凈利率為19.26%、15.36%。2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司歸母凈利率為19.26%、15.36%，分別同比+1.41pct、-1.64pct；四家半導體后道測試設備公司歸母

23、凈利率為14.37%、3.2%，分別同比-12.01pct、-3.60pct；七家半導體設備零部件公司歸母凈利率為14.14%、11.62%，分別同比-1.51pct、-0.23pct。2024Q1前道設備、零部件板塊整體歸母凈利率盈利水平略有下降，整體維持在較高水平，其中后道測試設備下滑較為明顯，持續承壓。進一步分析：前道設備，2024Q1北方華創、微導納米歸母凈利率同比+3.94pct、+3.53pct，領跑板塊，拓荊科技、盛美上海、芯源微等則出現了較大幅度下滑，華海清科歸母凈利率達到29.72%，表現極為出色；后道測試設備，2024Q1長川科技歸母凈利率同比+18.61pct，實現扭虧，

24、華峰測控、金海通、精智達歸母凈利率同比下滑超過10pct。零部件，2024Q1正帆科技、新萊應材、華亞智能、漢鐘精機歸母凈利率出現了一定改善，其中英杰電氣、華亞智能歸母凈利率分別為21.35%、20.65%，領跑板塊。圖表：2024Q1僅北方華創、微導納米歸母凈利率同比出現改善(70)(60)(50)(40)(30)(20)(10)010202023歸母凈利率同比變動（pct）2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）14.46%15.80%17.85%19.26%15.36%0.00%5.00%10.00%15.00%20.00%25.00%20202021202220232024Q1歸母凈利

25、率歸母凈利率 8凈利率：前道設備+零部件略有下滑，后道設備持續承壓圖表：2023&2024Q1零部件歸母凈利率為14.14%、11.62%圖表：2023&2024Q1后道測試設備歸母凈利率為14.37%、3.22%圖表：2024Q1長川科技歸母凈利率大幅提升圖表：2024Q1正帆科技、新萊應材、華亞智能歸母凈利率改善明顯22.02%26.89%26.38%14.37%3.22%0.00%5.00%10.00%15.00%20.00%25.00%30.00%20202021202220232024Q1歸母凈利率(25)(20)(15)(10)(5)05101520252023歸母凈利率同比變動（

26、pct）2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）13.82%12.64%15.65%14.14%11.62%0.00%4.00%8.00%12.00%16.00%20.00%20202021202220232024Q1歸母凈利率(10)(8)(6)(4)(2)0242023歸母凈利率同比變動（pct）2024Q1歸母凈利率同比變動（pct）9毛利率：前道設備穩中有升，后道測試機持續承壓圖表：2023&2024Q1半導體前道設備毛利率為43.71%、44.00%2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司毛利率為43.71%、44.00%，分別同比-0.64pct、+0.26pct；四家半導體

27、后道測試設備公司毛利率為56.22%、55.22%，分別同比-3.09pct、-3.00pct；七家半導體設備零部件公司毛利率為31.09%、30.95%，分別同比-1.10pct、-0.91pct。整體上看，后道測試設備毛利率水平更加出色，但受行業景氣度拖累出現明顯下滑，前道設備毛利率穩步提升，零部件毛利率趨于穩定。進一步分析：前道設備，2024Q1北方華創、萬業企業、精測電子、華海清科毛利率出現一定提升，主要受益產品結構優化、規模效應，中微公司、拓荊科技、盛美上海、芯源微則出現一定下滑；后道測試設備，2024Q1華峰測控毛利率同比+5.41pct，長川科技、金海通、精智達毛利率則出現一定下

28、滑。零部件，2024Q1新萊應材、英杰電氣、華亞智能、漢鐘精機毛利率出現一定改善。圖表：2024Q1北方華創、萬業企業毛利率改善明顯39.50%41.41%44.34%43.71%44.00%36.00%38.00%40.00%42.00%44.00%46.00%20202021202220232024Q1毛利率毛利率(10)(5)0510152025302023毛利率同比變動（pct）2024Q1毛利率同比變動（pct）10毛利率：前道設備穩中有升，后道測試機持續承壓圖表：2023&2024Q1零部件毛利率為31.09%、30.95%圖表：2023&2024Q1后道測試設備毛利率為56.22

29、%、55.22%圖表：2024Q1華峰測控毛利率同比+5.41pct圖表：2024Q1新萊應材、英杰電氣、華亞智能等毛利率同比改善56.11%58.35%59.31%56.22%55.22%53.00%54.00%55.00%56.00%57.00%58.00%59.00%60.00%20202021202220232024Q1毛利率毛利率(10)(8)(6)(4)(2)024682023毛利率同比變動（pct）2024Q1毛利率同比變動（pct）31.88%30.40%32.19%31.09%30.95%29.00%30.00%31.00%32.00%33.00%20202021202220

30、232024Q1毛利率(10)(8)(6)(4)(2)02462023毛利率同比變動（pct）2024Q1毛利率同比變動（pct）11費用率：前道表現平穩，后道測試設備+零部件下降明顯圖表：2023&2024Q1半導體前道設備期間費用率同比+0.01pct、-0.29pct 2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司期間費用率為27.64%、29.75%，分別同比+0.01pct、-0.29pct；四家半導體后道測試設備公司期間費用率為46.38%、47.37%，分別同比+14.98pct、-11.07pct；七家半導體設備零部件公司期間費用率為23.40%、24.98%，分別同比+1.5

31、5pct、-3.75pct。2024Q1后道測試設備和零部件期間費用率下降明顯，前道設備期間費用率穩中有降，表現較為平穩。進一步分析：前道設備，2024Q1拓荊科技、精測電子、心源微、萬業企業期間費用率同比提升超過10pct，主要系報告期內費用投入較大，收入規模未呈現快速增長，中科飛測、微導納米費用率出現下滑，規模效應顯現；后道測試設備，2024Q1長川科技期間費用率同比-36.82pct，主要系規模效應，華峰測控、金海通依然承壓，費用率出現明顯上升，分別同比+16.02pct、+5.98pct。零部件，2024Q1富創精密、江豐電子、正帆科技、漢鐘精機期間費用率下滑超過3pct，主要系規模效

32、應。圖表：2024Q1中科飛測、微導納米期間費用率出現下滑12.35%14.10%13.52%13.22%14.69%30.71%30.72%27.63%27.64%29.75%-5%0%5%10%15%20%25%30%35%20202021202220232024Q1銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率期間費用率(20)(10)0102030402023期間費用率同比變動（pct）2024Q1期間費用率同比變動（pct）12費用率：前道表現平穩，后道測試設備+零部件下降明顯圖表：2023&2024Q1零部件期間費用率同比+1.55pct、-3.75pct 圖表：2023&2024Q1后

33、道測試設備期間費用率同比+14.98pct、-11.07pct圖表：2024Q1長川科技期間費用率同比-36.82pct圖表：2024Q1富創精密、江豐電子、正帆科技、漢鐘精機期間費用率下降明顯(40)(30)(20)(10)01020302023期間費用率同比變動（pct）2024Q1期間費用率同比變動（pct）9.75%8.87%9.11%8.94%9.70%27.53%24.32%21.85%23.40%24.98%-5%0%5%10%15%20%25%30%20202021202220232024Q1銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率期間費用率(8)(6)(4)(2)024620

34、23期間費用率同比變動（pct）2024Q1期間費用率同比變動（pct）16.99%14.70%18.35%27.67%28.42%37.77%29.58%31.41%46.38%47.37%-10%0%10%20%30%40%50%20202021202220232024Q1銷售費用率管理費用率研發費用率財務費用率期間費用率 13存貨：持續創歷史新高，前道設備同比有所加速圖表：2023&2024Q1半導體前道設備存貨同比+40.69%、+42.31%2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司存貨為443.15、501.63億元，分別同比+40.69%、+42.31%；四家半導體后道測試設

35、備公司存貨為28.73、29.13億元，分別同比+22.35%、+16.01%；七家半導體設備零部件公司存貨為100.81、106.56億元，分別同比+34.17%、+25.26%。2024Q1前道設備、后道測試設備、零部件存貨均創歷史新高，尤其前道設備板塊2024Q1同比有所加速，主要系訂單交付同比實現高速增長所致。進一步分析：前道設備，2024Q1訂單交付大幅提升，中微公司發出商品余額達到19.23億元，環比+122%，拓荊科技出貨金額同比+130%，我們注意到拓荊科技、微導納米存貨同比+106.59%、+180.95%，領跑板塊；后道測試設備，2024Q1華峰測控和精智達存貨環比出現提升

36、，我們注意到長川科技存貨達到21.59億元，顯著高于同行，推測主要系大客戶訂單充足，原材料備貨以及庫存商品大幅提升所致。零部件，2024Q1正帆科技存貨同比+56.29%，領跑同行，主要系半導體相關訂單高速增長所致。圖表：2024Q1拓荊科技、微導納米存貨同比+106.59%、+180.95%111.56187.39314.99443.15501.6331.68%67.97%68.09%40.69%42.31%-50%-20%10%40%70%100%010020030040050060020202021202220232024Q1存貨（億元）同比增長020406080100120140160

37、1802002024Q1存貨（億元）2024Q1存貨（億元）14存貨：持續創歷史新高，前道設備同比有所加速圖表：2023&2024Q1零部件存貨同比+34.17%、+25.26%圖表：2023&2024Q1后道測試設備存貨同比+22.35%、+16.01%圖表：2024Q1長川科技存貨達到21.59億元，顯著高于同行圖表：2024Q1正帆科技存貨同比+56.29%，領跑同行8.1915.0523.4828.7329.1355.96%83.70%56.01%22.35%16.01%-50%-20%10%40%70%100%0510152025303520202021202220232024Q1存

38、貨（億元）同比增長05101520252023存貨（億元）2024Q1存貨（億元）29.4546.2575.13100.81106.5625.43%57.06%62.43%34.17%25.26%-50%-20%10%40%70%02040608010012020202021202220232024Q1存貨（億元）同比增長0510152025303540452023存貨（億元）2024Q1存貨（億元）15合同負債：前道設備穩步提升，零部件持續高增圖表：2023&2024Q1半導體前道設備合同負債同比+7.66%、+11.69%后道測試設備交期短、預付款較少，合同負債不具有指引意義，我們僅分析前

39、道設備和零部件。2023&2024Q1十二家半導體前道設備公司合同負債167.83、187.56億元，分別同比+7.66%、+11.69%；七家半導體設備零部件公司合同負債為39.61、42.24億元，分別同比+73.89%、+50.56%。前道設備合同負債同比增速相較2021-2022年有所下降，我們推測主要系戶付款方式變化，部分客戶設備發貨才收到預付款，新接訂單仍延續高速增長勢頭，零部件經過行業去庫存+下游訂單需求旺盛，合同負債延續高速增長勢頭。進一步分析：前道設備，2024Q1精測電子、微導納米、至純科技合同負債同比+91.71%、+145.13%、+78.77%，領跑板塊，中微公司、拓

40、荊科技、華海清科則出現了一定下滑，合同負債超過11億元，在手訂單充足；零部件，2024Q1正帆科技、英杰電氣合同負債分別為25.37億元、11.88億元，顯著高于其他對手，在手訂單充足，我們注意到正帆科技、華亞智能、江豐電子合同負債同比+78.09%、+177.79%、168.19%，表現出色。圖表：2024Q1精測電子、微導納米、至純科技合同負債同比高增50.6496.99155.90167.83187.5663.19%91.53%60.73%7.66%11.69%-50%-20%10%40%70%100%0204060801001201401601802002020202120222023

41、2024Q1合同負債（億元）同比增長01020304050607080901002023合同負債（億元）2024Q1合同負債（億元）16合同負債：前道設備穩步提升，零部件持續高增圖表：2023&2024Q1零部件合同負債同比+73.89%、50.56%圖表：2024Q1正帆科技、英杰電氣合同負債領跑板塊9.2314.9022.7839.6142.2425.06%61.47%52.89%73.89%50.56%-50%-20%10%40%70%100%05101520253035404520202021202220232024Q1合同負債（億元）同比增長0510152025302023合同負債（

42、億元）2024Q1合同負債（億元）17大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商相較IC設計、封測環節，晶圓制造是中國大陸當前半導體行業短板，自主可控驅動本土晶圓廠大規模擴產。受海外制裁等影響，2023年國內一線Fab廠暫未看到大規模招標啟動，往后來看，看好2024年招標大年出現。1）邏輯端：中芯國際仍為擴產主力，2023年中芯國際資本開支達到75億美元，同比+18%，并預計2024年資本開支同比基本持平，維持高位。2024年4月，上海華力康橋二期產線啟動，上海建工四建和信息產業第十一設計院共同參與廠房及配套設施建設項目，中標價為98.81億元，擴產規模龐大。2）存儲端：2023年一

43、線存儲大廠擴產力度受到明顯影響，長存、長鑫陸續增資背景下，疊加設備與工藝技術端進步，我們預計2024年存儲端擴產需求有望快速起量。圖：2023年中芯國際資本開支同比+18%-50%-20%10%40%70%100%130%160%190%220%010203040506070802018201920202021202220232024E資本性支出（億美元）同比（%）18圖：從荷蘭進口光刻機均價提升明顯圖：2023年5月我國從荷蘭進口光刻機金額快速增長 特別地，荷蘭出口管制影響下，中國大陸對于高端光刻機進口加速，為其他前道設備招標奠定基礎。1）從進口金額看，2023年累計進口荷蘭光刻機金額72.

44、30億美元，同比+184%，2024年1-3月進口金額分別為7.06、4.35、11.50億美元，分別同比+559%、+129%、+345%，延續高速增長勢頭。2）從設備數量和單價來看，2023年5月份以來我國對荷蘭光刻機進口量價齊升，2023年全年對荷蘭光刻機進口225臺，設備均價3213萬美元，分別同比+53%和+85%。2024年1-3月光刻機單價分別為3530、3625、5528萬美元，分別同比+197%、+206%、+203%，我國對荷蘭光刻機進口均價大幅增長，我們推測主要系部分高端浸沒式DUV光刻機占比提升明顯。往后來看，我們認為短期看隨著更高端光刻機加速進口，光刻機目前不是國內晶

45、圓廠較為先進制程擴產瓶頸。隨著更高端光刻機陸續到位，將支撐國內晶圓廠后續大規模擴產，國產設備供應商有望深度受益。大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商-50%50%150%250%350%450%550%650%750%850%950%1050%0200400600800100012001400從荷蘭進口光刻機金額（百萬美元）同比增長（%）-50%10%70%130%190%250%310%370%430%0100020003000400050006000從荷蘭進口光刻機單價（萬美元）同比增長（%）19 全球半導體行業景氣拐點已經出現，看好2024年進入新一輪上行期。1）全球范圍

46、內來看，2023年2月全球半導體單月銷售額觸底，為3970億美元，同比-21%，此后連續9個月出現環比改善，拐點信號明顯，全球半導體整體復蘇呈現加速態勢，后續伴隨下游需求市場回暖以及去庫存結束，全球半導體行業有望進入新一輪上升周期。2）對于中國大陸市場，半導體行業同樣出現復蘇跡象，2023年3月以來，同樣連續9個月環比為正，考慮到中國市場下游新能源等領域發展較快，看好中國半導體市場加速復蘇彈性。圖：2023年3月份以來全球半導體銷售額同比表現持續改善圖：2023年3月份以來中國大陸半導體銷售額同比表現持續改善大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商-50%-20%10%40%010

47、20304050602021-01 2021-05 2021-09 2022-01 2022-05 2022-09 2023-01 2023-05 2023-09全球半導體銷售額（十億美元）全球同比（%）-50%-20%10%40%024681012141618202021-01 2021-05 2021-09 2022-01 2022-05 2022-09 2023-01 2023-05 2023-09中國大陸半導體銷售額（十億美元）中國大陸同比（%）20 全球半導體設備市場規模持續復蘇，中國大陸是最大的細分市場。1）SEMI預測數據，由于內存市場復蘇以及對高效能運算和汽車應用的強勁需求，2

48、025年全球12 英寸晶圓廠設備投資將增長至1165億美元，同比+20%，2026年達1305億美元，同比+12%，到2027年將達到1370億美元的歷史新高。AI驅動下存儲擴產勢頭迅猛，DRAM設備支出預計將在2027年提高到252億美元，CAGR為17.4%；而3D NAND的投資預計將在2027年達到168億美元，CAGR為29%。2）2023年中國大陸半導體設備出貨金額366億美元，同比+29%，占比34.45%，是最大的細分市場，自主可控推動下，我們預計中國大陸未來四年將保持每年300億美元以上的投資規模，繼續引領全球晶圓廠設備支出。圖：2027年12 英寸晶圓廠設備支出可望達137

49、0億圖：2023中國大陸半導體設備出貨占比達34.45%大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商 21 測算圖：2023年3月份以來全球半導體銷售額同比表現持續改善圖：2023年3月份以來中國大陸半導體銷售額同比表現持續改善大陸晶圓廠擴產景氣度向上，國產替代利好本土設備供應商16.07%11.32%18.11%19.13%-50%-20%10%40%0100200300400500600202020212022202312家設備企業營業收入（億元）國產化率價值占比價值占比2023年國內市場年國內市場規模規模(億美元）億美元）國內相關企業國內相關企業2023年上市公司收年上市公司收入

50、量級（億元）入量級（億元）國產化率國產化率刻蝕設備22%81北方華創、中微公司等11020%光刻設備22%81上海微電子等-1%薄膜沉積22%81北方華創、拓荊科技、中微公司、微導納米9020%量檢測設備12%44中科飛測、精測電子、睿勵科學、天準科技等1530%track4%15芯源微等1030%離子注入3%11萬業企業、中科信等510%其他5%18-整體來看，半導體設備國產化率仍處于低位。僅統計上市公司，收入口徑下，我們統計2023年12家半導體設備企業合計實現營收490億元，對應半導體設備市場整體國產化率仍不足20%。細分領域來看，國產半導體設備企業在清洗、CMP、刻蝕設備等領域已取得一

51、定市場份額，國產化率超過20%。然而，對于光刻、量/檢測、涂膠顯影、離子注入設備等領域，我們預估國產化率仍低于10%，國產替代空間較大。22投資建議與風險提示投資建議前道設備受益標的北方華創、拓荊科技、華海清科、中微公司、中科飛測、精測電子、芯源微、萬業企業、京儀裝備、盛美上海、微導納米、至純科技；后道測試設備受益標的長川科技、華峰測控、金海通、精智達；零部件受益標的正帆科技、富創精密、英杰電氣、新萊應材、江豐電子、漢鐘精機、華亞智能。風險提示海外制裁、半導體行業景氣度下滑、晶圓廠資本開支不及預期等 華西證券研究所：華西證券研究所：地址：北京市西城區太平橋大街豐匯園11號豐匯時代大廈南座5層網址：http:/