電子行業半導體設備深度專題：從晶圓廠招標數據看半導體設備國產化進展-211117（46頁）.pdf

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1、華虹無錫：主要采購科天、日立高新，國產廠商包括吉姆西半導體科技、無錫卓海。其中，吉姆西半導體科技 6 臺中標設備為膜厚測量儀，無錫卓海 1 臺中標設備為套刻精度檢測機。從兩家公司官網我們了解到，吉姆西半導體科技主要業務為半導體再制造設備和研磨液供應系統，再制造設備品牌涵蓋應用材料、泛林、日新、東京電子、 Nanometrics、Mattson 等;無錫卓?？萍紝Ｗ雽w前道檢測與量測設備領域的研發、制造、修理、技術服務，再制造設備品牌涵蓋科天、日立高新、Ruldoph、Quantox、尼康等?？偨Y：過程控制設備方面，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器屬于國內布局領先企業，其中中科飛測主要產品為

2、光學表面三維形貌量測設備等光學檢測設備，精測半導體、睿勵科學儀器主要產品均為膜厚量測設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 16 臺，晶圓廠招標設備總數 680 臺，由此計算國產化率約 2.4%，國產廠商設備僅覆蓋膜厚量測、光學形貌量測等類型，品類尚不齊全，存在較大市場空間尚待開拓。4、氧化擴散/熱處理設備：國產化率29%，北方華創優勢較為明顯長江存儲：北方華創中標僅次于東京電子，屹唐股份、成都萊普科技亦獲得采購。其中北方華創共計中標 94 臺，中標產品涵蓋氧化、退火、合金等設備。屹唐股份中標 6臺，主要為退火設備;成都萊普科技于 2021 年 9 月中標 2 臺，為退火設備。華力集成：東京電子、應用材料等企業領先，北方華創、屹唐股份、盛美上海亦獲得采購。其中北方華創共計中標 4 臺，中標產品涵蓋退火、合金、氧化爐設備;屹唐股份(Mattson)中標 2 臺，為快速熱退火/快速熱氧化設備;盛美上海中標 1 臺，為低壓高溫氧化爐設備。