2022年半導體設備細分市場格局及國產替代空間現狀分析報告（43頁）.pdf

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1、2022 年深度行業分析研究報告 3 目錄目錄 中國大陸晶圓廠進展：行業擴產持續，中國大陸晶圓廠進展：行業擴產持續，2022H1 已披露完成設備招標已披露完成設備招標 478 臺臺.6 設備廠商中標更新：各廠商中標結果陸續釋出，國產替代有望加快設備廠商中標更新：各廠商中標結果陸續釋出，國產替代有望加快.10 設備國別比較：美日設備占比最高，國產占比呈顯著上升趨勢設備國別比較：美日設備占比最高，國產占比呈顯著上升趨勢.11 設備類型比較：薄膜沉積、過程控制、離子注入、涂膠顯影等尚有較大替代空間設備類型比較：薄膜沉積、過程控制、離子注入、涂膠顯影等尚有較大替代空間.17 1、刻蝕：國產化率 22%

2、，中微公司、北方華創、屹唐股份三強崛起.18 2、薄膜沉積：國產化率 5.7%，拓荊科技、北方華創、盛美上海為國產前三強.22 3、過程控制：國產化率 3.6%，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國內領先.25 4、氧化擴散/熱處理設備：國產化率 28%，北方華創優勢較為明顯.27 5、清洗：國產化率 38%，盛美上海中標設備數量國產最多，僅次于日本迪恩士.30 6、去膠：國產化率 74%，屹唐股份、盛美上海國產入圍.34 7、化學機械拋光：國產化率 23%，華海清科為國內細分龍頭.37 8、離子注入：國產化率 3.1%，爍科中科信國產獲采購.40 9、涂膠顯影：國產化率 1%，芯源微實現國產

3、零突破.42 10、光刻：國產化率 1.1%，阿斯麥絕對壟斷，上海微實現國產零突破.43 4 插圖目錄插圖目錄 圖 1：全球半導體設備市場規模.7 圖 2：中國半導體設備市場規模及在全球市場占比.7 圖 3：中國大陸半導體生產線分布圖（2020 年 4 月）.8 圖 4：長江存儲近五年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）.13 圖 5：長江存儲近五年歷年部分設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地區統計）.13 圖 6：華力集成近六年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）.13 圖 7：華力集成近六年歷年部分設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地

4、區統計）.13 圖 8：華虹無錫近四年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）.14 圖 9：華虹無錫近四年歷年部分設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地區統計）.14 圖 10：長江存儲 20172022 年設備招標各廠商中標項目數量排名.15 圖 11：華力集成 20162022 年設備招標各廠商中標項目數量排名.16 圖 12：華虹無錫 20182022 年設備招標各廠商中標項目數量排名.16 圖 13：晶圓廠半導體制造流程及相關半導體設備示意圖.17 圖 14：2021 年半導體設備各細分類型市場銷售額占比.17 圖 15：長江存儲 20172022 設備招標刻蝕

5、設備各廠商中標數量合計.18 圖 16：華力集成 20162022 設備招標刻蝕設備各廠商中標數量合計.20 圖 17：華虹無錫 20182022 設備招標刻蝕設備各廠商中標數量合計.21 圖 18：長江存儲 20172022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計.22 圖 19：華力集成 20162022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計.23 圖 20：華虹無錫 20182022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計.24 圖 21：長江存儲 20172022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合計.25 圖 22：華力集成 20162022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合

6、計.26 圖 23：華虹無錫 20182022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合計.26 圖 24：長江存儲 20172022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計.27 圖 25：華力集成 20162022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計.29 圖 26：華虹無錫 20182022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計.29 圖 27：長江存儲 20172022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合計.31 圖 28：華力集成 20162022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合計.32 圖 29：華虹無錫 20182022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合

7、計.33 圖 30：長江存儲 20172022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計.34 圖 31：華力集成 20162022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計.36 圖 32：華虹無錫 20182022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計.36 圖 33：長江存儲 20172022 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計.37 圖 34：華力集成 20162022 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計.39 圖 35：華虹無錫 20182022 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計.39 圖 36：長江存儲 20172022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計.40 5

8、 圖 37：華力集成 20162022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計.41 圖 38：華虹無錫 20182022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計.41 圖 39：長江存儲 20172022 設備招標涂膠顯影設備各廠商中標數量合計.42 圖 40：華力集成 20162022 設備招標涂膠顯影設備各廠商中標數量合計.42 圖 41：華虹無錫 20182022 設備招標涂膠顯影設備各廠商中標數量合計.43 圖 42：長江存儲 20172022 設備招標光刻設備各廠商中標數量合計.43 圖 43：華力集成 20162022 招標光刻設備各廠商中標數量合計.44 圖 44：華虹無錫 2

9、0182022 招標光刻設備各廠商中標數量合計.44 圖 45：三座晶圓廠招投標設備合計國產化率排序（20162022）.45 圖 46：三座晶圓廠招投標設備各自國產化率對比（20162022）.45 表格目錄表格目錄 表 1：2022 年 16 月部分國內晶圓廠工藝設備完成招標情況概覽.8 表 2：國內部分半導體設備廠商情況.10 表 3：部分國內半導體工藝設備中標情況概覽.11 表 4：全球半導體設備廠商排名.12 表 5：長江存儲 20172022 設備招標國產刻蝕設備明細.18 表 6：華力集成 20162022 設備招標國產刻蝕設備明細.20 表 7：華虹無錫 20182022 設備

10、招標國產刻蝕設備明細.21 表 8：長江存儲 20172022 設備招標國產薄膜沉積設備明細.22 表 9：華力集成 20162022 設備招標國產薄膜沉積設備明細.23 表 10：華虹無錫 20182022 設備招標國產薄膜沉積設備明細.24 表 11：長江存儲 20172022 設備招標國產過程控制設備明細.25 表 12：華力集成 20162022 設備招標國產過程控制設備明細.26 表 13：華虹無錫 20182022 設備招標國產過程控制設備明細.26 表 14：長江存儲 20172022 設備招標國產氧化擴散/熱處理設備明細.27 表 15：華力集成 20162022 設備招標國產

11、氧化擴散/熱處理設備明細.29 表 16：華虹無錫 20182022 設備招標國產氧化擴散/熱處理設備明細.30 表 17：長江存儲 20172022 設備招標國產清洗設備明細.31 表 18：華力集成 20162022 設備招標國產清洗設備明細.32 表 19：華虹無錫 20182022 設備招標國產清洗設備明細.33 表 20：長江存儲 20172022 設備招標國產去膠設備明細.35 表 21：華力集成 20162022 設備招標國產去膠設備明細.36 表 22：華虹無錫 20182022 設備招標國產去膠設備明細.37 表 23：長江存儲 20172022 設備招標國產化學機械拋光設備

12、明細.38 表 24：華力集成 20162022 設備招標國產化學機械拋光設備明細.39 表 25：華虹無錫 20182022 設備招標國產化學機械拋光設備明細.39 表 26：華力集成 20162022 設備招標國產離子注入設備明細.41 表 27：華虹無錫 20182022 設備招標國產離子注入設備明細.41 表 28：華力集成 20162022 設備招標國產涂膠顯影設備明細.42 表 29：長江存儲 20172022 設備招標國產去膠設備明細.43 表 30：長江存儲、華力集成、華虹無錫三座晶圓廠招投標國產設備份額統計明細（20162022 年）.45 6 半導體設備受益國產替代，近幾年

13、半導體設備受益國產替代，近幾年正正迎來快速成長期迎來快速成長期，一方面一方面源自中國大陸源自中國大陸晶圓廠的晶圓廠的快速擴產和份額增長，快速擴產和份額增長，蛋糕正在變大。蛋糕正在變大。受益于國內設計公司的蓬勃發展，中國大陸晶圓廠需求旺盛，擴產增速超過全球，份額持續提升。國內晶圓廠傾向于采用更多國產設備，因而設備廠商受益行業需求景氣后晶圓廠持續擴張產能；另一方面另一方面成長源自成長源自設備廠商的國產設備廠商的國產替代替代，設備，設備國產國產化率化率有望迅速提升。有望迅速提升。華為、中芯國際等廠商于 2020 年遭受美國制裁，一定程度上可能激發國內廠商供應鏈安全意識，產業鏈有望逐步推動供應鏈切換。

14、本本文由文由中信證券研究部電子組聯合數據科技組，以中信證券研究部電子組聯合數據科技組，以披露招標數據的部分披露招標數據的部分國內晶圓廠為國內晶圓廠為例，從中國國際招標網例，從中國國際招標網統計了統計了 2016 年至年至 2022 年年 6 月月期間期間公開發布的招標公告和中標結公開發布的招標公告和中標結果公告，進行整理和分析。果公告，進行整理和分析。招標中標公告并不代表企業全部設備情況，我們已盡可能詳盡地統計公開招投標公告數據，本文結論在此數據基礎上完成，存在一定局限性存在一定局限性，僅從側面反映設備采購的大致狀況。需要注意的是需要注意的是：1）本文主要統計晶圓廠（Wafer Fab）招標情

15、況，晶圓廠采購的封裝測試設備數量有限且不具代表性，故未計入統計和分析范圍內，另考慮到廠務系統（如機電安裝、管理系統等）、輔助設備、自動化搬送系統等不屬于工藝設備，且從設備臺數角度可比意義不大，因此亦未計入統計分析范疇。2）由于數據來源限制，本文中各類設備國產化率數據基于設備臺數計算而非基于銷售額計算，無法反映國內外設備的平均價格差異，若國外設備平均價格高于/低于國內設備，則以銷售額計算的國產化率可能低于/高于以臺數計算的國產化率數字。中國大陸中國大陸晶圓廠晶圓廠進展：行業進展：行業擴產持續擴產持續，2022H1 已披已披露完成設備招標露完成設備招標 478 臺臺 2021 年全球半導體設備市場

16、年全球半導體設備市場規模規模首首破千億美元，中國大陸破千億美元，中國大陸占占約約 29%達到全球第一達到全球第一。根據 SEMI 報告，2021 年全球半導體制造設備銷售額激增，同比增加 44%達到 1026 億美元的歷史新高，SEMI 預計到 2022 年將擴大到 1140 億美元。近年來，在芯片短缺及本身半導體產業加速發展的推動下，中國大陸正在加速擴大產能。據 SEMI 統計，2021 年國內12 英寸晶圓廠總產能約為 115 萬片/月，SEMI 預計接下來幾年產能將會持續擴大，2022年 12 英寸晶圓廠重點項目年新增產能超 20 萬片/月，2023 年中芯國際、華虹集團、長江存儲、長鑫

17、存儲等重點項目可能會帶來更多新增產能。2021 年中國大陸半導體設備市場年中國大陸半導體設備市場銷售額增長銷售額增長 58%，達到，達到 296 億美元，占全球市場約億美元，占全球市場約 28.9%，再次成為半導體設備的最大市場，這也是中國市場連續第四年增長。7 圖 1：全球半導體設備市場規模（單位：億美元）圖 2：中國半導體設備市場規模及在全球市場占比（單位：億美元）資料來源：SEMI（含預測），中信證券研究部 資料來源：SEMI，中信證券研究部 國內主要國內主要下游下游晶圓廠擴產進展晶圓廠擴產進展更新：我們預計更新：我們預計 20222023 年年中芯國際、合肥長鑫、中芯國際、合肥長鑫、華

18、虹集團、長江存儲均為擴產主力華虹集團、長江存儲均為擴產主力。按照計劃來看，國內近些年較快擴產的主要本土廠商包括長江存儲、中芯國際、合肥長鑫、華虹集團（包括華虹無錫、華虹宏力、華力微、華力集成等）；各廠主要擴產計劃梳理如下：1）長江存儲：長江存儲：3D NAND Flash 存儲器國內龍頭存儲器國內龍頭 IDM，三期總產能規劃，三期總產能規劃 30 萬片萬片/月。月。長江存儲一期項目于 2018 年投產，2019 年產能達到 2 萬片/月，2020 年擴產至約 5 萬片/月，我們預計一期結束 2022 年有望達到 10 萬片/月產能，二期土建已于 2020 年 6 月開工，加上未來三期項目合計產

19、能規劃共 30 萬片/月。2）中芯國際：中國大陸晶圓代工龍頭中芯國際：中國大陸晶圓代工龍頭，深圳、北京京城、上海，深圳、北京京城、上海東方東方項目依次擴產，項目依次擴產，已披露產能規劃未來有望新增約已披露產能規劃未來有望新增約 40 萬片萬片/月月。我們預計 2022 年下半年深圳 12 英寸（滿產將達 4 萬片/月，現潔凈室已就緒）、北京中芯京城項目有望從零起步產能爬坡，上海臨港（中芯東方）廠房于 2022 年初已經動工，有望于 2023 年上半年建成。2023 年京城廠產能有望持續爬坡（一期滿產將達 10 萬片/月，總計兩期20 萬片/月）、臨港廠房建成并有望進入產能爬坡（滿產 10 萬片

20、/月）。此外 8 寸方面，天津、深圳、上海廠均有繼續擴產空間；在 12 英寸先進制程（14nm）方面，若后續設備獲取順利，上海中芯南方廠區還有繼續擴產可能，現有一期潔凈室支持 3.5 萬片/月（現產能 1.5 萬片/月），預留空地支持二期新增 3.5 萬片/月產能。3）華虹無錫：華虹無錫：12 英寸成熟制程頭部廠商，英寸成熟制程頭部廠商，2022 年持續擴產，新項目有望上馬，有年持續擴產，新項目有望上馬，有望擴張望擴張 10 萬片以上月產能。萬片以上月產能。我們預計華虹無錫一期（Fab 7）產能從 2022 年 6.5萬片/月擴張至約 9.5 萬片/月（12 英寸），2022 年底有望開始新建

21、二期（Fab 9），公司預計產能規模將超過一期（Fab 7）。我們預計 2023 年二期土建并開始采購設備。4）華力集成：華力集成：12 英寸先進制程頭部廠商，后續有望新建英寸先進制程頭部廠商，后續有望新建 Fab 8。我們預計產能逐步擴張至滿產 4 萬片/月。根據華虹集團 2021 全球供應商年會新聞稿，華力于 2021年啟動建設 Fab 8，新增約 4 萬片/月先進制程產能。566.2645.3597.5711.910261140 1134.2-10%0%10%20%30%40%50%02004006008001000120020172018201920202021 2022E 2023E

22、全球半導體設備市場規模(億美元)增長率(%)82.3131.1134.5187.2296.214.5%20.3%22.5%26.3%28.9%0%5%10%15%20%25%30%35%05010015020025030035020172018201920202021中國半導體設備市場規模(億美元)中國市場占比 8 5）長鑫存儲：長鑫存儲：DRAM 存儲器國內龍頭存儲器國內龍頭 IDM，三期總產能規劃，三期總產能規劃 37.5 萬片萬片/月。月。我們預計產能將從 2021 年初的 4 萬片/月擴張至 20222023 年 12.5 萬片/月，同時20222023 年有望啟動二期建設（12.5

23、萬片/月）。長鑫北京項目廠房已建成，亦有望進入擴產階段。圖 3：中國大陸半導體生產線分布圖（2020 年 4 月）資料來源：SEMI，中信證券研究部 部分部分晶圓廠晶圓廠完成完成招標招標情況情況進展進展：從 2022 年 16 月國內部分晶圓廠完成招標情況來看，華虹無錫/上海積塔分別完成 197/201 臺工藝設備招標，貢獻了統計范圍內 83%的招標數量，福建晉華/時代電氣分別完成 25/24 臺工藝設備招標，上述四家廠商貢獻了統計范圍內90%的招標數量。長江存儲在 2022 年 16 月暫未披露招標情況。16 月，統計范圍內晶圓廠分別完成招標 36/83/63/138/90/68 臺工藝設備

24、招標，月度之間分布較為均勻。表 1：2022 年 16 月部分國內晶圓廠工藝設備完成招標情況概覽 1 月月 2 月月 3 月月 4 月月 5 月月 6 月月 1-6 月月合計合計 華虹無錫華虹無錫 30 69 35 41 16 6 197 刻蝕 9 4 3 4 1 21 光刻 6 1 7 薄膜沉積 9 6 3 3 1 22 清洗/去膠 22 11 1 2 36 熱處理 5 4 20 4 1 34 CMP 5 4 1 1 11 過程控制 14 6 14 7 41 涂膠顯影 9 9 9 離子注入 5 10 1 16 華力微電子華力微電子 1 1 2 刻蝕 1 1 薄膜沉積 1 1 華力集成華力集成

25、 1 3 1 5 刻蝕 1 1 2 薄膜沉積 1 1 量測 1 1 離子注入 1 1 上海積塔上海積塔 1 4 18 80 54 44 201 刻蝕 1 14 7 8 30 光刻 1 1 4 6 薄膜沉積 1 10 23 4 38 清洗/去膠 3 1 11 5 22 42 熱處理 15 29 3 47 CMP 1 5 6 過程控制 8 4 1 13 涂膠顯影 1 3 3 7 離子注入 3 9 12 福建晉華福建晉華 2 2 3 8 7 3 25 刻蝕 1 2 3 薄膜沉積 1 1 1 3 熱處理 2 1 3 過程控制 1 2 3 5 11 涂膠顯影 2 1 3 離子注入 1 1 2 燕東微電子

26、燕東微電子 2 7 1 2 7 19 光刻 4 4 清洗/去膠 1 1 3 5 熱處理 2 1 3 過程控制 2 1 2 5 離子注入 2 2 華虹宏力華虹宏力 1 1 2 光刻 1 1 清洗 1 1 蘇州園芯蘇州園芯 1 1 2 過程控制 1 1 刻蝕 1 1 時代時代電氣電氣 5 8 6 5 24 刻蝕 2 4 1 1 8 光刻 1 1 薄膜沉積 2 2 4 清洗/去膠 1 1 1 3 熱處理 1 1 2 4 過程控制 2 1 3 涂膠顯影 1 1 上海新微上海新微 1 1 過程控制 1 1 合計合計 36 83 63 138 90 68 478 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部

27、注：時間以中標結果公告時間劃分 10 設備廠商中標更新：設備廠商中標更新：各廠商中標結果陸續釋出各廠商中標結果陸續釋出，國產，國產替代有望加快替代有望加快 國內在半導體設備各細分領域涌現出一批優秀公司。國內在半導體設備各細分領域涌現出一批優秀公司。由于半導體設備種類繁多，制造原理各異，在各細分領域中已形成具備一定規模和替代技術實力的國產細分龍頭廠商，但與海外廠商相比，國內企業技術實力與收入體量相差仍大。國內廠商中，包括北方華創、中微公司、盛美上海等廠商已進行橫向平臺化布局，包括屹唐股份、拓荊科技、華海清科、芯源微、至純科技、精測電子、中科飛測、爍科中科信等公司在國內細分領域領先。表 2：國內部

28、分半導體設備廠商情況 公司公司 2021 年半導體設年半導體設備收入（億元）備收入（億元）2020 年半導體設年半導體設備收入（億元）備收入（億元）2021年占國產年占國產市場份額市場份額 2020 年占國產年占國產市場份額市場份額 主要產品主要產品 應用領域應用領域 北方華創 79.5 48.7 20.6%20.0%刻蝕、薄膜沉積、氧化擴散、清洗設備等 集成電路、分立器件、LED、光伏、面板 中微公司 31.1 22.7 8.1%9.3%刻蝕、薄膜沉積設備等 集成電路、分立器件、LED 盛美上海 15.5 10.1 4.0%4.2%清洗、電鍍、爐管設備等 集成電路、分立器件 屹唐股份 23.

29、1 9.5%去膠、刻蝕、快速熱處理 集成電路、分立器件 拓荊科技 7.6 4.4 2.0%1.8%薄膜沉積設備（PECVD）集成電路、分立器件、光伏、LED 華海清科 8.1 3.9 2.1%1.6%化學機械拋光(CMP)設備 集成電路、分立器件 芯源微 8.1 3.2 2.1%1.3%涂膠顯影、清洗、去膠 集成電路、分立器件、光伏 至純科技 7.0 2.2 1.8%0.9%高純工藝系統、清洗設備 集成電路、分立器件、平板顯示、光伏、LED 等 精測電子 1.4 0.7 0.4%0.3%光學檢測設備 面板、LED、集成電路、分立器件等 萬業企業 0.8 0.2 0.2%0.1%離子注入機 光伏

30、、集成電路 睿 勵 科 學儀器 n/a n/a 光學檢測設備、量測設備 集成電路、分立器件、光伏、LED 上 海 微 電子 n/a n/a 光刻機，且已經能夠提供90nm 工藝設備 集成電路、分立器件等 爍 科 中 科信 n/a n/a 離子注入機、快速退火爐 集成電路、分立器件、光伏 中科飛測 n/a n/a 光學檢測設備 集成電路、分立器件 華峰測控 8.8 4.0 2.3%1.6%自動化測試系統 集成電路、分立器件 長川科技 15.1 8.0 3.9%3.3%分選機、測試機 集成電路、分立器件 半 導 體 設備 廠 商 合計 385.5*242.9*資料來源：各公司公告，中國電子專用設備

31、協會（含測算），中信證券研究部 *注：2020、2021 年國內半導體設備廠商半導體設備收入為中國電子專用設備工業協會測算，并非表中數值加總 設備廠商中標情況更新：設備廠商中標情況更新：根據我們統計，北方華創、中微公司、盛美上海、拓荊科技、華海清科、芯源微等公司 2022 年 16 月分別中標 62/15/15/12/10/27 臺工藝設備，數量分別達到 2021 年全年的 58%/79%/65%/44%/56%/123%，各月份之間分布不均。由于招標統計范圍僅覆蓋部分晶圓廠，部分大客戶如中芯國際、長鑫存儲等并未披露招標情況，中標結果僅反映設備公司部分訂單 11 表 3：部分國內半導體工藝設備

32、中標情況概覽 2019 年 2020 年 2021 年 2022 年 16 月 1 月 2 月 3 月 4 月 5 月 6 月 1-6 月合計 北方華創北方華創 68 87 106 1 1 14 34 12 62 刻蝕 14 20 19 6 13 1 20 薄膜沉積 3 15 14 1 5 7 13 清洗 17 4 20 1 1 2 4 熱處理 34 48 53 2 21 2 25 中微公司中微公司 24 40 19 1 1 3 2 8 15 刻蝕 24 40 19 1 1 3 2 8 15 盛美上海盛美上海 22 32 23 13 1 1 15 清洗 21 31 22 12 12 熱處理 1

33、 1 1 電鍍 1 1 1 1 濕法刻蝕 1 1 拓荊科技拓荊科技 9 24 27 1 11 12 薄膜沉積 9 24 27 1 11 12 華海清科華海清科 11 31 18 3 7 10 CMP 11 31 18 3 7 10 芯源微芯源微 6 24 22 3 7 15 2 27 涂膠顯影 3 13 11 2 2 15 19 清洗 3 11 11 1 5 2 8 至純科技至純科技 7 3 1 1 清洗 7 3 1 1 屹唐股份屹唐股份 33 43 43 2 10 1 1 14 清洗/去膠 24 31 31 9 1 10 熱處理 3 6 7 2 1 1 4 刻蝕 6 6 5 0 精測半導體精

34、測半導體 6 1 1 1 1 3 過程控制 6 1 1 1 1 3 中科飛測中科飛測 12 13 8 1 1 4 2 8 過程控制 12 13 8 1 1 4 2 8 爍科中科信爍科中科信 2 4 1 1 離子注入 2 4 1 1 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：時間以中標結果公告時間劃分，由于招標統計范圍僅覆蓋部分晶圓廠，部分大客戶如中芯國際、長鑫存儲等并未披露招標情況，中標結果僅反映設備公司部分訂單。設備國別比較設備國別比較：美日設備占比最高，國產占比呈顯著：美日設備占比最高，國產占比呈顯著上升趨勢上升趨勢 從行業格局來看，從行業格局來看，美日歐廠商美日歐廠商在半導體設備領域

35、具備傳統優勢，占據在半導體設備領域具備傳統優勢，占據半導體設備全球半導體設備全球前前 15 名席位名席位。國際主流廠商中，應用材料、泛林、東京電子在薄膜沉積、刻蝕領域具備領先地位，科天在過程控制（檢測、量測）設備處于領導地位，均穩居全球前五位置。據我們測算，2021 年年中國大陸中國大陸廠商營收在全球市場占比廠商營收在全球市場占比約約 2.5%。12 表 4：全球半導體設備廠商排名 排排名名 公司名稱公司名稱（英文）（英文）公司名稱公司名稱（中文）（中文）國家國家/地區地區 主要產品領域主要產品領域 2020 年營收年營收（億美元）（億美元）2021 年營收年營收（億美元）（億美元）2021

36、年年增長增長 2021 年年 全球份額全球份額 1 Applied Materials 應用材料 美國 沉積、刻蝕、離子注入、化學機械研磨等 163.7 241.72 47.66%19.45%2 ASML 阿斯麥 荷蘭 光刻設備 154 217.75 41.40%17.52%3 Tokyo Electron 東京電子 日本 沉積、刻蝕、勻膠顯影設備等 113.2 172.78 52.63%13.90%4 Lam Research 泛林 美國 刻蝕、沉積、清洗等 119.3 165.24 38.51%13.29%5 KLA 科天 美國 硅片檢測、測量設備 54.4 81.65 50.09%6.5

37、7%6 Advantest 愛德萬測試 日本 自動測試設備 25.3 39.07 54.43%3.14%7 Teradyne 泰瑞達 美國 自動測試設備 22.6 37.03 63.85%2.98%8 SCREEN 迪恩士 日本 刻蝕、清洗設備 23.3 36.32 55.88%2.92%9 SEMES 細美事 韓國 清洗、光刻、封裝設備 10.6 24.86 134.53%2.00%10 Hitachi High-Technologies 日立高新 日本 沉積、刻蝕、檢測設備、封裝貼片設備等 17.2 24.53 42.62%1.97%11 ASM International 先域 荷蘭 沉

38、積、封裝鍵合設備等 15.2 20.24 33.16%1.63%12 Nikon 尼康 日本 光刻設備 10.9 19.98 83.30%1.61%13 ASM Pacific Techonology ASM 太平洋 新加坡 后段制程、SMT 工藝設備 10.3 17.39 68.83%1.40%14 Kokusai Electric 國際電氣 日本 熱處理設備 14.6 16.38 12.19%1.32%15 DISCO 迪斯科 日本 晶圓切割設備 15.9 21.67 36.29%1.74%TOP15 合計 770.5 1136.61 47.52%91.44%其他 153.6 106.39

39、-30.74%8.56%設備廠商總計設備廠商總計 924.1 1243 34.51%100.00%資料來源：VLSI Research，中信證券研究部 注：部分公司營收中包含了平板顯示等泛半導體領域設備，與 SEMI 統計口徑不同 我們選取了三座典型晶圓廠長江存儲、我們選取了三座典型晶圓廠長江存儲、華力集成、華虹無錫的招標數據，對比設備的華力集成、華虹無錫的招標數據，對比設備的國產化比例和海外占比。國產化比例和海外占比。長江存儲：各中標供應商按照總部地區劃分，美日長江存儲：各中標供應商按照總部地區劃分，美日占比最高，占比最高，國產化比率國產化比率持續提升持續提升至至22%。從近五年長江存儲招投

40、標項目累計數量來看，美國、日本廠商中標項目數量占比分別達 43.4%、29.5%，反映出兩地區廠商仍占據主流地位。五年累計招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 15.7%，分年度看，2021 年長江存儲 415 項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 22.2%，過去幾年呈現逐漸上升趨勢，相應美國廠商中標項目數量占比呈現下降趨勢。13 圖 4：長江存儲近五年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的長江存儲 20172022 年招標數據，數據截至 2022 年 7月 4 日 圖 5：長江存儲近五年歷年部分

41、設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地區統計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的長江存儲 20172022 年招標數據，數據截至 2022 年 7月 4 日 華力集成：美日華力集成：美日占比最高，中國占比最高，中國大陸大陸 2022 年年占比占比兩成兩成。從近六年華力集成招投標項目累計數量來看，美國、日本廠商中標項目數量占比分別達 41.0%、21.8%，反映出兩地區廠商仍占據主流地位。六年累計招標中，中國大陸廠商設備中標項目數量占比 19.3%，分年度看，2020年華力集成164項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比27.9%；2021 年華力集成

42、 38 項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 23.7%；2022 年（截至 7 月 4 日）華力集成 5 項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 20%，穩定在兩成左右。圖 6：華力集成近六年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華力集成 20162022 年招標數據，數據截至 2022 年 7月 4 日 圖 7：華力集成近六年歷年部分設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地區統計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華力集成 20162022 年招標數據，

43、數據截至 2022 年 7月 4 日 華虹無錫：美日華虹無錫：美日占比最高，占比最高，國產化國產化占比占比達達 23%。從近四年華虹無錫招投標項目累計數量來看，美國、日本廠商中標項目數量占比分別達 34.5%、27.1%，反映出兩地區廠商仍占據主流地位。中國大陸廠商設備中標項目數量占比 20.5%，分年度看，2020 年華力集成 166 項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 23.5%；2021 年華力集成 160 項43.44%29.52%15.71%3.47%2.77%1.85%1.68%1.56%美國日本中國大陸韓國荷蘭中國臺灣英國馬來西亞58.7%42.0%46.4%39.7%3

44、1.8%29.8%22.2%25.8%31.5%30.1%4.0%12.5%14.3%16.8%22.2%0%20%40%60%80%100%120%20172018201920202021美國日本中國大陸韓國荷蘭中國臺灣英國馬來西亞41.02%21.78%19.52%3.82%3.39%3.11%7.36%美國日本中國大陸中國臺灣荷蘭德國其他75.0%28.6%43.9%44.7%36.4%34.2%20.0%15.0%25.4%26.3%20.1%16.4%18.4%40.0%10.0%15.9%13.7%20.8%27.9%23.7%20.0%0%20%40%60%80%100%120%

45、2016201720182019202020212022美國日本中國大陸中國臺灣荷蘭德國其他 14 設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 21.3%；2022 年（截至 7 月 4 日）華力集成 128 項設備招標中，中國大陸廠商中標項目數量占比 22.7%，近兩年國產廠商占比呈現上升趨勢。圖 8：華虹無錫近四年部分設備招標項目累計數量占比（按供應商總部國家/地區統計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華虹無錫 20182022 年招標數據，數據截至 2022 年 7月 4 日 圖 9：華虹無錫近四年歷年部分設備招標項目數量占比（按供應商總部國家/地區統

46、計）資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華虹無錫 20182022 年招標數據，數據截至 2022 年 7月 4 日 從具體廠商排名來看，部分國內廠商設備獲采購數量已居于前列。從具體廠商排名來看，部分國內廠商設備獲采購數量已居于前列。長江存儲：中標長江存儲：中標供應商供應商中，中，北方華創、北方華創、屹唐股份、屹唐股份、中微公司、中微公司、盛美上海盛美上海位列國產供應位列國產供應商前列。商前列。美國廠商（泛林、應用材料、科天、Onto、泰瑞達等）、日本廠商（東京電子、國際電氣、迪恩士、愛德萬等）仍是采購主流。國內廠商方面，公開招標數據顯示，20172022 年

47、，北方華創在長江存儲共中標 56 次、143 臺設備，屹唐股份同期在長江存儲共中標 48 次、102 臺設備，中微公司同期在長江存儲共中標 37、59 臺設備，盛美上海同期在長江存儲共中標 29 次、35 臺設備。34.50%27.05%20.52%4.26%2.74%2.28%2.28%6.38%美國日本中國大陸荷蘭以色列英國馬來西亞其他56.7%30.5%39.2%39.4%22.7%16.7%32.2%26.5%25.0%25.8%3.3%18.4%23.5%21.3%22.7%0%20%40%60%80%100%120%20182019202020212022美國日本中國大陸荷蘭以色列

48、馬來西亞英國其他 15 圖 10：長江存儲 20172022 年設備招標各廠商中標項目數量排名 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的長江存儲 20172022 年招標數據 華力集成：中標華力集成：中標供應商供應商中，盛美上海、中，盛美上海、北方華創北方華創等等位列國產供應商前列。位列國產供應商前列。國內廠商方面，公開招標數據顯示，20162022 年盛美上海在華力集成共中標 17 次、21 臺設備，北方華創同期在華力集成共中標 11 次、22 臺設備，屹唐股份同期在華力集成共中標 10 次、12 臺設備，上海天雋機電設備有限公司同期在華力集成共中標 9 次、4

49、2 臺設備（均為研磨液供應設備），杭州廣立微電子設備有限公司同期在華力集成共中標 8 次、14 臺設備（均為 EDA 軟件或晶圓電性測試儀），中微公司同期在華力集成共中標 7 次、15 臺設備。2722422168377565648454240383729292423222019191716141412050100150200250300泛林Lam Research應用材料Applied Materials東京電子Tokyo Electron國際電氣KOKUSAI ELECTRIC科天KLA-Tencor北方華創迪恩士Screen屹唐股份愛德萬AdvantestOnto Innovation泰

50、瑞達Teradyne阿斯麥ASML中微公司賽默飛Thermo Fisher盛美上海Edwards華海清科Mirae日立高新Hitachi High-Tech拓荊科技北京京儀東京精密ACCRETECHSEMICS是德科技KeysightDISCOQualitau 16 圖 11：華力集成 20162022 年設備招標各廠商中標項目數量排名 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華力集成 20162022 年招標數據 華虹無錫：中標華虹無錫：中標供應商供應商中，盛美上海、中，盛美上海、北方華創北方華創、中微公司等、中微公司等位列國產供應商前列。位列國產供應商前列。國

51、內廠商方面，公開招標數據顯示，20182022 年盛美上海在華虹無錫共中標 27 次、33臺設備，北方華創同期在華虹無錫共中標 18 次、25 臺設備，中微公司同期在華虹無錫共中標 11 次、14 臺設備，華海清科同期在華虹無錫共中標 11 次、13 臺設備，屹唐股份同期在華虹無錫共中標 11 次、25 臺設備，拓荊科技同期在華虹無錫共中標 7 次、7 臺設備。圖 12：華虹無錫 20182022 年設備招標各廠商中標項目數量排名 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 注：數據范圍為相關網站公布的華虹無錫 20182022 年招標數據 111685930222217151411111111

52、11109987020406080100120應用材料Applied Materials泛林Lam Research東京電子Tokyo Electron迪恩士Screen科天KLA-Tencor阿斯麥ASML盛美上海Nova Measuring Instruments是德科技KeysightEdwards北方華創日立高新Hitachi High-Tech賽默飛Thermo Fisher國際電氣KOKUSAI ELECTRIC屹唐股份上海天雋機電Mentor杭州廣立微中微公司80696749322718181615131111111199870102030405060708090應用材料Appl

53、ied Materials泛林Lam Research東京電子Tokyo Electron科天KLA-Tencor迪恩士Screen盛美上海北方華創阿斯麥ASMLSumitomo Heavy Industries Ion Technology吉姆西半導體科技（無錫）有限公司日立高新Hitachi High-TechNova Measuring Instruments屹唐股份華海清科中微公司ASM InternationalDISCOEdwards拓荊科技 17 設備類型比較：薄膜沉積、過程控制設備類型比較：薄膜沉積、過程控制、離子注入、涂、離子注入、涂膠顯影膠顯影等等尚有較大替代空間尚有較大替

54、代空間 從從晶圓廠內晶圓廠內各工藝環節來看，各工藝環節來看，薄膜沉積薄膜沉積、光刻、刻蝕、光刻、刻蝕設備是產線中設備是產線中總總價值量最高的價值量最高的三三類類半導體設備，均占全球半導體設備市場的半導體設備，均占全球半導體設備市場的 20%以上以上。晶圓廠內半導體設備按照類型可大致分為薄膜沉積、光刻、刻蝕、過程控制、自動化制造和控制、清洗、涂布顯影、去膠、化學機械研磨（CMP）、快速熱處理/氧化擴散、離子注入、其他晶圓級設備等類別，其中薄膜沉積、光刻、刻蝕、過程控制占比最大。圖 13：晶圓廠半導體制造流程及相關半導體設備示意圖 資料來源：半導體制造技術（Michael Quirk），中信證券研

55、究部 圖 14：2021 年半導體設備各細分類型市場銷售額占比 資料來源：Gartner，中信證券研究部 21.9%21.3%20.4%11.2%4.8%4.7%3.8%3.8%2.6%2.5%2.2%0.8%薄膜沉積光刻刻蝕過程控制自動化制造和控制清洗涂膠顯影其他晶圓級設備CMP快速熱處理/氧化擴散離子注入去膠 18 以下我們分設備類型，以下我們分設備類型，統計統計各類細分設備中國際和國內廠商中標情況。各類細分設備中國際和國內廠商中標情況。1、刻蝕：國產化率、刻蝕：國產化率 22%，中微公司、北方華創、屹唐股份三強崛起，中微公司、北方華創、屹唐股份三強崛起 長江存儲：長江存儲：國產刻蝕設備主

56、要采購自中微公司、北方華創、屹唐股份。國產刻蝕設備主要采購自中微公司、北方華創、屹唐股份。在長江存儲20172022 年刻蝕設備招標中，中微公司設備中標數量位列第三，累計 58 臺，僅次于泛林，高于東京電子、應用材料，體現出中微公司在刻蝕設備領域達到國際水平的技術競爭力。北方華創、屹唐股份僅次于應用材料，分別錄得 26 臺、18 臺。圖 15：長江存儲 20172022 設備招標刻蝕設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 從刻蝕細分類型來看，中微公司主要中標設備包括通孔刻蝕、接觸孔刻蝕、介質（氧化硅等）刻蝕、溝槽刻蝕等，其中 2020 年首次中標溝槽刻蝕；北方華創主要

57、中標設備包括硅槽刻蝕、鋁刻蝕等；屹唐股份主要中標設備為介質（氮化硅、氮氧化硅等）刻蝕、鈍化層刻蝕等。表 5：長江存儲 20172022 設備招標國產刻蝕設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 中微公司 頂層通孔刻蝕設備 2 2017-11-09 接觸孔刻蝕 2 2017-11-09 介質等離子蝕刻設備 2 2018-04-17 超深接觸孔刻蝕 1 2018-09-14 穿通陣列區接觸孔刻蝕 1 2018-09-14 氧化硅刻蝕 1 2018-09-14 介質等離子蝕刻設備 1 2018-09-20 通孔（via）刻蝕設備 5 2018-11-12 接觸孔刻蝕設

58、備 1 2019-03-11 通孔（via）刻蝕設備 1 2019-03-19 超深接觸孔刻蝕 1 2019-03-19 氧化硅刻蝕 1 2019-03-19 介質等離子氧化層蝕刻設備 2 2019-04-04 介質等離子孔洞蝕刻設備 2 2019-04-04 2395855392618156050100150200250300 19 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 介質等離子掩膜蝕刻設備 2 2019-04-04 超深接觸孔刻蝕 V1 oxide ETCH 1 2019-11-01 氧化硅刻蝕 CPL Etch 1 2019-11-01 通孔（via）刻蝕設備

59、 1 2019-11-01 通孔（via）刻蝕設備 2 2020-01-02 非晶碳和氧化硅刻蝕 2 2 2020-01-02 非晶碳和氧化硅刻蝕 5 2020-01-02 氧化硅刻蝕 2 2020-08-28 氧化硅刻蝕-2 1 2020-08-28 溝槽刻蝕設備 1 2020-08-28 孔刻蝕設備-13 1 2020-08-28 孔刻蝕設備-16 2 2020-08-28 孔刻蝕設備-17 2 2020-08-28 刻蝕設備-1 1 2020-09-30 刻蝕設備-3 1 2020-09-30 刻蝕設備-2 1 2020-09-30 刻蝕設備-4 2 2021-09-29 刻蝕設備-6

60、1 2021-09-29 刻蝕設備-6 1 2021-09-29 刻蝕設備-1 2 2021-09-29 刻蝕設備-5 1 2021-09-29 刻蝕設備-2 2 2021-09-29 北方華創 硅槽刻蝕設備 3 2019-03-29 多晶硅等離子蝕刻設備 1 2019-07-26 硅槽刻蝕設備 2 2019-10-12 硅槽刻蝕設備 3 2020-01-10 鋁刻蝕設備 1 2020-10-16 硅槽刻蝕設備（Silicon etch）4 2020-10-16 硅槽刻蝕設備（Silicon etch）3 2020-10-16 鋁刻蝕設備 1 2020-10-16 刻蝕設備 2 2021-05

61、-07 刻蝕設備-4 4 2021-05-08 刻蝕設備 2 2021-11-05 屹唐股份 等離子蝕刻機 1 2017-09-06 介質等離子蝕刻設備 1 2019-03-29 氮氧化硅隔離槽刻蝕設備 2 2019-04-04 氮化硅側墻刻蝕 2 2019-04-04 介質等離子蝕刻設備 1 2019-11-22 鈍化層干法蝕刻 Pad Dry Etch 2 2020-01-02 氮化硅側墻刻蝕 1 2020-08-28 硅/二氧化硅刻蝕設備 2 2020-08-28 20 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 刻蝕設備 1 2020-12-14 刻蝕機 2 202

62、1-06-25 干法刻蝕機 2 2021-06-25 干法刻蝕 1 2021-09-17 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：中微公司中標數量位列第二，僅次于泛林，高于東京電子、應用材料。華力集成：中微公司中標數量位列第二，僅次于泛林，高于東京電子、應用材料。過去五年華力集成招標期間，中微公司共中標 15 臺，北方華創中標 1 臺。其中中微公司中標設備包括光阻刻蝕、銅互連溝槽刻蝕、鈍化膜刻蝕、通孔刻蝕、多晶硅刻蝕等，北方華創中標設備為多晶硅 STI 刻蝕。圖 16：華力集成 20162022 設備招標刻蝕設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 6：

63、華力集成 20162022 設備招標國產刻蝕設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 中微公司 光阻回刻等離子機臺（光阻刻蝕、銅互連溝槽刻蝕）設備 2 2017-12-22 氧化膜等離子體刻蝕機（鈍化膜刻蝕、通孔刻蝕）設備 3 2017-12-22 多晶硅等離子刻蝕機設備 Poly Plasma Etch 1 2018-08-27 鈍化膜等離子體刻蝕機 Passivation1 Etch(Cu)3 2019-08-12 銅互連溝槽等離子刻蝕機臺 Trench Etch 2 2020-04-18 多晶硅等離子刻蝕機 SAB Etch/PR EB 1 2020-08

64、-01 銅互連溝槽刻蝕等離子機臺 Trench ETCH 3 2020-08-01 北方華創 多晶硅等離子刻蝕機（STI Etch）1 2018-06-29 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：中微公司位列第二，僅次于泛林，高于迪恩士、東京電子。華虹無錫：中微公司位列第二，僅次于泛林，高于迪恩士、東京電子。中微公司共中標 14 臺，北方華創中標 6 臺，其中中微公司中標設備包括鈍化膜刻蝕、氧化膜刻蝕、介質側墻刻蝕等，北方華創中標設備包括多晶硅刻蝕、淺溝槽刻蝕等。4115133221111051015202530354045 21 圖 17：華虹無錫 20182022 設備招標刻

65、蝕設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 7：華虹無錫 20182022 設備招標國產刻蝕設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 中微公司 鈍化膜等離子體刻蝕機 1 2019-03-19 氧化膜等離子體刻蝕機 1 2019-03-19 鈍化膜等離子體刻蝕機 1 2019-03-19 氧化膜等離子體刻蝕機 1 2019-03-19 介質側墻等離子體刻蝕機 1 2019-04-16 氧化膜等離子體刻蝕機 1 2019-09-24 鈍化膜等離子體刻蝕機 1 2019-09-24 鈍化膜等離子體刻蝕機 1 2020-04-16 氧化膜等離

66、子體刻蝕機 2 2020-04-16 刻蝕機 1 2020-12-28 氧化膜等離子體刻蝕機 3 2022-04-07 氧化膜離子刻蝕設備 1 2022-06-30 北方華創 多晶硅等離子刻蝕機 1 2019-03-19 多晶硅等離子刻蝕機 1 2019-09-24 淺溝槽等離子體刻蝕機 2 2020-04-15 多晶硅等離子刻蝕機 1 2021-01-05 多晶柵等離子體刻蝕機 1 2021-01-05 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：刻蝕設備方面，中微公司、北方華創、屹唐股份分列國內前三，其中中微公司工藝覆蓋范圍相對較廣，其主力出貨類型為 CCP（電容耦合等離子刻蝕）

67、，面向介質刻蝕較多，近期 ICP（電感耦合等離子刻蝕）逐步發力，未來工藝范圍有望進一步拓寬；北方華創主要工藝覆蓋為多晶硅、淺溝槽、鋁刻蝕等類型，主要面向金屬、硅等導體刻蝕為主；屹唐股份在長江存儲獲得大量采購，主要面向介質刻蝕。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 137 臺，晶圓廠招標設備總數 630 臺，由此計算國產化率約 21.7%（按照臺數占比，下同）。與國外廠商相比，國產刻蝕設備在刻蝕精度、工藝覆蓋率等方面還存在進一步提升空間。511411961110102030405060 22 2、薄膜沉積：國產化率、薄膜沉積：國產化率 5.7%，拓荊科技、北方華創、盛美上海為國產前，拓

68、荊科技、北方華創、盛美上海為國產前三強三強 長江存儲：薄膜沉積設備主要采購日美設備，包括東京電子、國際電氣、泛林、應用長江存儲：薄膜沉積設備主要采購日美設備，包括東京電子、國際電氣、泛林、應用材料等。材料等。國產廠商中，拓荊科技、北方華創分別中標 19 臺、15 臺，其中拓荊科技中標設備主要為 PECVD（等離子增強化學氣相沉積），北方華創中標設備主要為 PVD（物理氣相沉積）。圖 18：長江存儲 20172022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 8：長江存儲 20172022 設備招標國產薄膜沉積設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名

69、稱 數量數量 招標時間招標時間 拓荊科技 前端等離子體增強方式氮化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2019-03-11 后端等離子體增強方式氮氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2019-03-25 后端等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2019-03-25 前端等離子體增強方式氮氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2019-11-22 后端等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2020-01-10 后端等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2020-01-15 后端等離子體增強方式氮氧化硅薄膜化學氣

70、相沉積設備 1 2020-07-26 化學氣相沉積設備-2 1 2021-02-26 化學氣相沉積設備 1 2021-02-26 化學氣相沉積設備 1 2021-04-09 化學氣相沉積設備 B 1 2021-04-09 化學氣相沉積設備 T 1 2021-04-09 化學氣相沉積設備 1 2021-08-13 沉積設備 1 2021-09-09 化學氣相沉積設備 1 2021-10-21 化學氣相沉積設備-F 1 2021-10-21 化學氣相沉積設備-B 1 2021-10-21 北方華創 鋁墊物理氣相沉積機臺 2 2018-01-30 21418818318119156105010015

71、0200250 23 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 鋁墊物理氣相沉積機臺 1 2019-03-29 鉭阻擋層-銅種籽層物理氣相沉積機臺 2 1 2020-01-10 鉭阻擋層-銅種籽層物理氣相沉積機臺 1 2020-01-10 鉭阻擋層-銅種籽層物理氣相沉積機臺 1 2020-01-10 鋁墊物理氣相沉積機臺 1 2020-09-01 氧化硅生長設備 1 2021-04-13 物理氣相沉積機臺 1 2021-05-08 沉積設備 2 2021-05-08 沉積機臺 2 2021-11-05 沉積機臺 1 2021-11-05 沉積機臺 1 2021-11-05

72、 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：應用材料中標最多，國產包括拓荊科技、北方華創、盛美上海，分別中標華力集成：應用材料中標最多，國產包括拓荊科技、北方華創、盛美上海，分別中標5/4/1 臺。臺。其中拓荊科技中標設備為 PECVD，北方華創中標設備為濺射設備，盛美上海中標設備為銅電鍍設備。圖 19：華力集成 20162022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 9：華力集成 20162022 設備招標國產薄膜沉積設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 拓荊科技 等離子體增強方式二氧化硅薄膜化學氣

73、相沉積設備 PEOX 1 2018-08-24 等離子體增強方式二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 PEOX 1 2018-08-24 等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2019-08-21 等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2020-07-13 等離子體增強方式以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅薄膜化學氣相沉積設備 1 2021-11-09 北方華創 氮化鈦、鉭、鋁濺射設備（APL）1 2018-06-29 鈦、氮化鈦濺射設備（MHM）1 2018-06-29 鈦、氮化鈦濺射設備 1 2020-08-06 6732754211

74、101020304050607080 24 射頻氮化鉭、銅濺射設備 1 2020-08-06 盛美上海 銅電鍍設備（ECP）1 2019-02-14 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：主要采購應用材料、泛林，國產廠商包括北方華創、拓荊科技、江蘇芯夢，華虹無錫：主要采購應用材料、泛林，國產廠商包括北方華創、拓荊科技、江蘇芯夢，分別中標分別中標 8/5/1 臺。臺。其中，北方華創中標設備為 PVD，拓荊科技中標設備為 PECVD，江蘇芯夢中標設備為化學鍍設備。圖 20：華虹無錫 20182022 設備招標薄膜沉積設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表

75、 10：華虹無錫 20182022 設備招標國產薄膜沉積設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 北方華創 金屬硬掩膜氮化鈦沉積設備 1 2019-03-19 金屬氮化鈦濺射掩膜層設備 1 2020-04-15 物理氣相薄膜沉積設備（鈦、氮化鈦、氮化鉭和鋁銅）1 2020-04-15 金屬氮化鈦濺射掩膜層設備 1 2020-12-28 物理氣相薄膜沉積設備（鈦、氮化鈦、氮化鉭和鋁銅）1 2020-12-28 金屬氮化鈦濺射掩膜層設備 2 2022-03-16 物理氣相薄膜沉積設備（鈦、氮化鈦、氮化鉭和鋁銅）1 2022-03-16 拓荊科技 等離子體增強方式化學

76、氣相薄膜沉積設備（后段以硅烷作反應物的二氧化硅）1 2019-03-19 等離子體增強方式化學氣相薄膜沉積設備（后段以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅）1 2019-03-19 等離子體增強方式化學氣相薄膜沉積設備（后段氮化硅）1 2020-04-21 等離子體增強方式化學氣相薄膜沉積設備（前段以硅酸四乙酯作反應物的二氧化硅）1 2020-11-17 等離子體增強方式化學氣相薄膜沉積設備（后段以硅烷作反應物的氮化硅）1 2022-02-17 江蘇芯夢 全自動鎳鈀金化學鍍設備 1 2021-09-16 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：薄膜沉積設備方面，拓荊科技、北方華創、盛美上

77、海分列中標數量國內前三，但三家廠商設備類型有明顯差異，其中拓荊科技主要為 PECVD（等離子增強化學氣相沉積），北方華創主要為 PVD（物理氣相沉積），盛美上海涉及電鍍設備，三家廠商均是對應44338542105101520253035404550 25 細分設備（PECVD、PVD、電鍍）領域的國內龍頭，產業地位突出。中微公司等目前也在布局薄膜沉積設備領域。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 58 臺，晶圓廠招標設備總數 1024 臺，由此計算國產化率約 5.7%。與海外廠商相比，國產廠商在薄膜沉積領域工藝覆蓋類型方面尚不完善，仍有較大發展空間。3、過程控制：國產化率、過程控制：

78、國產化率 3.6%，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器國內領先內領先 長江存儲：過程控制設備主要采購美、日設備，包括長江存儲：過程控制設備主要采購美、日設備，包括 Onto（由（由 Nanometrics 和和 Rudolph Technologies 合并）、科天、日立高新、應用材料、賽默飛等。合并）、科天、日立高新、應用材料、賽默飛等。國產廠商中，中科飛測、上海精測半導體、睿勵科學儀器分別中標 7 臺、6 臺、2 臺，其中中科飛測中標設備主要為光學表面三維形貌量測設備，精測半導體中標設備主要為膜厚光學關鍵尺寸量測儀，睿勵科學儀器中標設備為介質薄膜測量系

79、統。圖 21：長江存儲 20172022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 11：長江存儲 20172022 設備招標國產過程控制設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 中科飛測 光學表面三維形貌量測設備 2 2019-03-22 光學表面三維形貌量測設備 1 2019-10-18 光學表面三維形貌量測設備 1 2020-01-10 光學表面三維形貌量測設備-2 1 2020-09-25 量測設備 2 2021-09-28 精測半導體 集成式膜厚光學關鍵尺寸量測儀 3 2020-01-17 集成式膜厚光學關鍵

80、尺寸量測儀-2 3 2020-08-17 睿勵科學儀器 介質薄膜測量系統 2 2017-11-13 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：華力集成：Nova Measuring、科天中標最多，國產僅睿勵科學儀器中標。、科天中標最多，國產僅睿勵科學儀器中標。其中 Nova Measuring 為以色列量測設備公司，共計中標 45 臺，中標產品包括化學機械研磨厚度在線測量設備、光學線寬測量儀設備、硅片厚度測量儀、X 射線光電子能譜分析量測設備等。睿勵科學儀器于 2019 年 11 月中標的 1 臺設備為后段膜厚測量儀設備(BEOL)。1027841262413876655544332

81、222222020406080100120 26 圖 22：華力集成 20162022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 12：華力集成 20162022 設備招標國產過程控制設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 睿勵科學儀器 后段膜厚測量儀設備(BEOL)/THK Measurement(BEOL)1 2019-11-21 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：主要采購科天、日立高新，國產廠商包括吉姆西半導體科技、無錫卓海。華虹無錫：主要采購科天、日立高新，國產廠商包括吉姆西半導體科技、無錫

82、卓海。其中，吉姆西半導體科技 8 臺中標設備為膜厚測量儀，無錫卓海 1 臺中標設備為套刻精度檢測機。從兩家公司官網我們了解到，吉姆西半導體科技主要業務為半導體再制造設備和研磨液供應系統，再制造設備品牌涵蓋應用材料、泛林、日新、東京電子、Nanometrics、Mattson 等；無錫卓?？萍紝Ｗ雽w前道檢測與量測設備領域的研發、制造、修理、技術服務，再制造設備品牌涵蓋科天、日立高新、Ruldoph、Quantox、尼康等。圖 23：華虹無錫 20182022 設備招標過程控制設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 13：華虹無錫 20182022 設備招標國產過

83、程控制設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 吉 姆 西 半導體科技 膜厚測量儀（后段厚膜）1 2019-04-16 橢偏膜厚測量儀（后段）2 2020-04-15 橢偏膜厚測量儀（后段）3 2020-12-28 45341815141165433332051015202530354045507126228766653322201020304050607080 27 橢 偏 膜 厚 測 量 儀（后 段）/Spectroscopic Ellipsometer Film Thickness Measurement（Cu）2 2022-02-17 無錫卓海 套刻精度

84、檢測機/Overlay 1 2021-02-08 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：過程控制設備方面，中科飛測、精測半導體、睿勵科學儀器屬于國內布局領先企業，其中中科飛測主要產品為光學表面三維形貌量測設備等光學檢測設備，精測半導體、睿勵科學儀器主要產品均為膜厚量測設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 25 臺，晶圓廠招標設備總數 703 臺，由此計算國產化率約 3.6%，國產廠商設備僅覆蓋膜厚量測、光學形貌量測等類型，品類尚不齊全，存在較大市場空間尚待開拓。4、氧化擴散、氧化擴散/熱處理設備：國產化率熱處理設備：國產化率 28%，北方華創優勢較為明顯，北方華

85、創優勢較為明顯 長江存儲：北方華創中標僅次于東京電子，屹唐股份、成都萊普科技亦獲得采購。長江存儲：北方華創中標僅次于東京電子，屹唐股份、成都萊普科技亦獲得采購。其中北方華創共計中標 100 臺，中標產品涵蓋氧化、退火、合金等設備。屹唐股份中標 8 臺，主要為退火設備；成都萊普科技于 2021 年 9 月中標 2 臺，為退火設備。圖 24：長江存儲 20172022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 14：長江存儲 20172022 設備招標國產氧化擴散/熱處理設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 北

86、方華創 立式常壓氧化設備 1 2018-11-16 立式常壓氧化設備 2 2019-01-11 立式高溫退火設備 6 2019-01-11 立式常壓氧化設備 8 2019-03-29 立式高溫退火設備-2 5 2019-03-29 氣體驅離及源極退火設備 2 2019-03-29 立式氧化爐管設備 1 2019-05-17 金屬退火設備 3 2019-10-12 立式常壓氧化設備 3 2019-10-12 立式高溫退火設備 1 2019-10-12 立式常壓氧化管式爐 1 2019-12-13 立式高溫退火設備 3 2020-01-10 1291003014820204060801001201

87、40 28 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 立式合金爐管設備 2 2020-01-10 立式高溫退火設備 1 2020-01-10 立式合金爐管設備 1 2020-10-16 立式高溫退火設備 13 2020-10-16 金屬退火設備 1 2020-10-16 立式合金爐管設備-2 1 2020-10-16 立式高溫退火設備 12 2020-10-16 退火設備 3 2020-12-25 立式高溫退火設備 1 2021-04-21 合金爐管設備 2 2021-05-07 立式常壓氧化設備 1 2021-05-07 立式常壓氧化設備-B 14 2021-05-08

88、 氧化設備 5 2021-06-04 爐管 1 2021-06-04 退火設備 1 2021-11-05 退火設備 1 2021-11-05 退火設備 1 2021-11-05 爐管設備 1 2021-11-05 氧化設備 1 2021-11-05 氧化設備 1 2021-11-05 屹唐股份 快速熱處理設備 1 2017-08-07 高溫快速熱退火設備 1 2019-01-11 快速熱退火設備 1 2020-01-10 低溫熱退火設備 1 2020-01-10 退火設備 2 2021-06-25 成都萊普科技股份有限公司 退火設備 2 2021-09-15 資料來源：中國國際招標網，中信證券

89、研究部 華力集成：東京電子、應用材料等企業領先，北方華創、屹唐股份、盛美上海亦獲得華力集成：東京電子、應用材料等企業領先，北方華創、屹唐股份、盛美上海亦獲得采購。采購。其中北方華創共計中標 4 臺，中標產品涵蓋退火、合金、氧化爐設備；屹唐股份（Mattson）中標 2 臺，為快速熱退火/快速熱氧化設備；盛美上海中標 1 臺，為低壓高溫氧化爐設備。29 圖 25：華力集成 20162022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 15：華力集成 20162022 設備招標國產氧化擴散/熱處理設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數

90、量 招標時間招標時間 北方華創 單片退火設備 1 2016-12-26 烘烤/合金退火設備 Bake/Alloy Anneal 1 2018-06-29 常壓中溫氧化爐設備 SAC/PAD 1 2018-06-29 烘烤合金退火設備 1 2020-08-06 屹唐股份 尖峰快速退火&快速熱退火（前段）設備 1 2018-01-26 快速熱退火&快速熱氧化（前段）設備 1 2018-01-26 盛美上海 低壓高溫氧化爐設備/LP HTO 采購 1 2020-08-01 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：東京電子獲采購最多，國產廠商包括北方華創、屹唐股份、上海微電子等。華虹無錫：

91、東京電子獲采購最多，國產廠商包括北方華創、屹唐股份、上海微電子等。其中，北方華創中標 11 臺設備，包括合金退火爐、真空烘烤爐等；屹唐股份中標 4 臺，為快速熱退火設備；上海微電子中標 4 臺，為背面激光退火設備。圖 26：華虹無錫 20182022 設備招標氧化擴散/熱處理設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 24108422110510152025309726114441020406080100120 30 表 16：華虹無錫 20182022 設備招標國產氧化擴散/熱處理設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 北方華創 合金退

92、火爐 1 2019-03-19 合金退火爐 1 2019-03-19 真空烘烤爐 2 2020-03-10 合金退火爐 3 2020-04-15 合金退火爐 2 2020-11-17 退火爐 1 2021-01-06 合金退火爐（前道）2 2022-03-16 屹唐股份 快速熱退火設備（后段）1 2020-04-27 快速熱退火設備 1 2020-04-27 快速熱退火設備 1 2020-11-05 快速熱退火設備(高溫)1 2022-04-07 上海微電子裝備（集團）股份有限公司 背面激光退火設備 1 2019-08-06 背面激光退火設備 1 2019-09-24 全自動 300mm Ta

93、iko 晶圓激光退火設備 2 2022-02-17 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：氧化擴散/熱處理設備方面，北方華創中標設備數量靠前，尤其是在長江存儲中獲采購數量較大。北方華創相關設備主要以各類氧化爐、退火爐、合金爐等為主；除北方華創外，屹唐股份、盛美上海等公司亦有相關爐管產品；上海微電子面向 IGBT 等應用開發了激光退火設備，與爐管設備有所區別。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 136 臺，晶圓廠招標設備總數 482 臺，由此計算國產化率約 28.2%。5、清洗：國產化率、清洗：國產化率 38%，盛美上海中標設備數量國產最多，僅次于日本，盛美上海中標設

94、備數量國產最多，僅次于日本迪恩士迪恩士 長江存儲：盛美上海中標設備數僅次于日本廠商迪恩士，國產中標廠商還包長江存儲：盛美上海中標設備數僅次于日本廠商迪恩士，國產中標廠商還包括芯矽科括芯矽科技、北方華創、屹唐股份。技、北方華創、屹唐股份。其中盛美上海共中標 35 臺，中標產品主要包括各類型單片式清洗機；芯矽科技共計中標 5 臺，中標產品為零部件清洗機；北方華創共中標 2 臺制程擋控片蝕刻回收清洗機；屹唐股份亦于 2021 年中標 2 臺清洗設備。31 圖 27：長江存儲 20172022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 17：長江存儲 20172

95、022 設備招標國產清洗設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 盛美上海 單片清洗機 1 2017-06-29 單片式鎢制程化學清洗機 2 2017-12-28 制程控片回收清洗機 3 2018-03-27 12 寸晶圓單片式晶背清洗機 1 2018-09-14 12 寸晶圓單片式硅晶延前&無定型碳后清洗機 1 2018-09-14 單片清洗機 1 2019-03-18 12 寸晶圓單片式輕聚合物化學清洗機 2 2019-03-29 12 寸晶圓單片式晶背清洗機 1 2019-04-04 12 寸晶圓單片式清洗機 1 2019-04-04 12 寸晶圓單片式清

96、洗機-2 1 2019-04-04 12 寸晶圓單片式晶背清洗機 1 2019-06-28 12 寸鎢后段清洗機 1 2019-12-27 12 寸晶圓單片式前段空檔片化學清洗機 1 2019-12-27 單片式標準&臭氧清洗機 1 2020-07-16 單片式標準&臭氧清洗機 1 2020-07-16 12 寸晶圓單片式輕聚合物化學清洗機 1 2020-07-16 12 寸鎢后段清洗機 1 2020-08-14 12 寸銅后段清洗機（含臭氧）1 2020-08-14 12 寸鎢后段清洗機-2 1 2020-08-14 12 寸鎢后段清洗機-3 1 2020-08-14 12 寸銅后段清洗機

97、1 2020-08-14 12 寸晶圓單片式輕聚合物化學清洗機 1 2020-08-18 12 寸晶圓單片式銅空檔片化學清洗機 1 2020-09-04 12 寸晶圓單片式鎢空檔片化學清洗機 1 2020-09-04 清洗機 1-C 3 2021-04-09 清洗機-W 1 2021-04-09 清洗機-T 1 2021-04-09 594135241565444322222010203040506070 32 清洗機-H 1 2021-04-09 清洗機 1 2021-09-17 芯矽科技 Parts Cleaner 半導體零件清洗機 2 2020-07-16 零部件清洗機 3 2020-1

98、1-03 北方華創 制程擋控片蝕刻回收清洗機 2 2018-03-27 屹唐股份 清洗設備 1 2021-05-24 清洗設備 1 2021-05-24 北京京儀 半導體零件清洗機 2 2020-12-04 半導體零件清洗機 2 2020-10-21 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：盛美上海中標僅次于日本迪恩士，北方華創、芯源微亦獲得采購。華力集成：盛美上海中標僅次于日本迪恩士，北方華創、芯源微亦獲得采購。其中盛美上海共計中標 19 臺，中標產品涵蓋前段、后段工藝的清洗設備；北方華創中標 13 臺，均為部件清洗設備；芯源微中標 3 臺，為刷片清洗設備。圖 28：華力集成 2

99、0162022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 18：華力集成 20162022 設備招標國產清洗設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 盛美上海 單片兆聲波清洗設備 1 2016-12-26 單片式清洗設備 5 2018-01-02 前段控檔片回收設備(前段 Oxide)1 2018-03-12 鋁刻蝕后清洗及機械研磨后清洗設備/post Al etch Wet clean and post wafer edge triming clean 1 2018-04-18 前段控檔片回收設備(前段 HK)/HK R

100、ecycle 1 2018-12-17 后段控檔片回收設備(Cu)/Recycle(BE/Cu)1 2019-09-17 刷片清洗設備（后端銅工藝）/Scrubber/Bevel Clean(CU)1 2019-09-17 前段控檔片回收設備(前段 Oxide&Poly（Bench）)/Recycle(前段Oxide&Poly（Bench）)1 2019-09-17 刷片清洗設備（后端銅工藝）/Scrubber/Bevel Clean(CU)1 2019-10-22 機械研磨后清洗設備/Post wafer edge triming clean 1 2020-01-19 單片式濕法清洗設備/F

101、EOL single WET clean 1 2020-07-17 后段 Cu 聚合物剝離設備/Post Polymer Removal(BEOL-Cu)1 2020-07-18 4119191333211051015202530354045 33 前段混合式聚合物剝離設備/Hybrid Polymer Removal(FEOL)1 2020-07-18 后段 Cu 聚合物剝離設備 1 2020-08-22 刷片清洗設備 1 2020-08-22 北方華創 爐管清洗裝置（水平式）1 2018-04-09 部件清洗槽/機 12 2018-04-09 芯源微 刷片清洗設備（前端）/Scrubber

102、 Bevel Clean(CU)1 2019-10-22 刷片清洗設備 1 2020-06-12 刷片清洗設備 Scrubber Bevel Clean 1 2020-09-15 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：迪恩士、盛美上海分列前兩位，國產廠商還包括華虹無錫：迪恩士、盛美上海分列前兩位，國產廠商還包括上海稷以科技有限公司上海稷以科技有限公司。其中，盛美上海中標 24 臺設備涵蓋前后段制程，涉及銅線聚合體剝離、鋁線及通孔清洗、多晶硅氧化膜硅片再生、擴散爐前清洗等環節，產品應用較為多樣；上海稷以科技有限公司于 2021 年 9 月首次中標華虹無錫清洗設備 1 臺，具體產品為

103、 300mm 薄片等離子背面清洗機。圖 29：華虹無錫 20182022 設備招標清洗設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 19：華虹無錫 20182022 設備招標國產清洗設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 盛美上海 銅硅片再生設備（銅后段工藝）1 2019-03-19 多晶硅/氧化膜硅片再生設備 1 2019-03-19 背面清洗設備 1 2019-03-19 金屬硅片再生設備（后段工藝）1 2019-03-19 銅線聚合體剝離設備(后段工藝)1 2019-03-19 爐前清洗設備 1 2019-08-06 鋁線及通孔清

104、洗設備（后段工藝）1 2020-04-21 銅線聚合體剝離設備 1 2020-04-21 刷片機 1 2020-04-21 多晶硅氧化膜硅片再生設備 1 2020-04-21 刷片機 1 2020-11-17 刷片機（銅后段）1 2020-11-17 擴散爐前清洗設備（柵氧后）1 2020-11-17 2524106211051015202530 34 擴散爐前清洗設備（柵氧后）1 2020-12-28 刷片機（前段）2 2020-12-28 鋁線及通孔清洗設備 1 2020-12-28 刷片機（銅后段）1 2020-12-28 銅線聚合體剝離設備 1 2020-12-28 鋁線及通孔清洗設備

105、（后段工藝）1 2022-02-17 銅線聚合體剝離設備(后段工藝)3 2022-02-17 擴散爐前清洗設備（柵氧前標準版）1 2022-02-17 上海稷以科技有限公司 300mm 薄片等離子背面清洗機 1 2021-09-07 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：清洗設備方面，盛美上海在選取的三家晶圓廠中設備中標數量位列第二，僅次于日本迪恩士。盛美上海清洗設備工藝覆蓋面較廣，基本涵蓋前、中、后段工藝，除盛美上海以外，國內至純科技、北方華創、芯源微、屹唐股份等企業在該領域均有所布局，積極推進國產化。盛美上海以超/兆聲波方法為特色，可搭配二流體清洗，并推出槽式濕法、刷洗設備

106、，根據公司官方公眾號，截至 2021 年 10 月，其濕法設備交付 2000 腔，累計出貨超過 300 臺；至純科技產品包括槽式濕法工作站和單片式濕法設備，其中單片式濕法設備為旋轉噴淋 Spin-Spray 類型，對標 SCREEN、LAM 等企業，根據公司公告及產業調研，截至 2021 年三季度末，公司濕法設備累計交付超過 100 臺，客戶已涵蓋中芯寧波、中芯紹興、中芯天津、華為、燕東微電子、上海集成電路研發中心、力積電等；芯源微產品包括單片式清洗機及 Scrubber 刷洗設備等，在中芯國際、上海華力、廈門士蘭集科等多客戶處通過工藝驗證，獲得多家 Fab 廠批量重復訂單。從三座晶圓廠累計招

107、標情況統計，國產設備中標總數 114 臺，晶圓廠招標設備總數 381 臺，由此計算國產化率約 37.8%。當前國產設備主要在后端制程為主，且部分用于處理控片、擋片，在正片、前端制程應用相對有限，未來仍存在較大發展空間。6、去膠：國產化率、去膠：國產化率 74%，屹唐股份、盛美上海國產入圍，屹唐股份、盛美上海國產入圍 長江存儲：屹唐股份中標數量位列第一。長江存儲：屹唐股份中標數量位列第一。屹唐股份共計中標 74 臺，數量超過韓國 PSK，中標產品涵蓋前、中、后段干法去膠設備。屹唐股份為中標范圍內唯一一家國產廠商。圖 30：長江存儲 20172022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計 資料來源：

108、中國國際招標網，中信證券研究部 741201020304050607080屹唐股份PSK 35 表 20：長江存儲 20172022 設備招標國產去膠設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 屹唐股份 中段干法去膠 2 2017-11-09 前段干法去膠 3 2017-11-09 后段干法去膠 2 2017-11-09 干法去膠設備（W）1 2018-11-15 干法去膠設備（FEOL）1 2018-11-15 干法去膠設備（W）6 2019-03-19 干法去膠設備（BEOL）1 2019-04-04 干法去膠設備（FEOL）8 2019-04-04 干法去膠

109、設備（FEOL）1 2019-11-01 干法去膠設備（W）4 2019-11-01 干法去膠設備（BEOL）1 2019-10-31 干法去膠設備（W）3 2020-01-02 干法去膠設備（W）3 2020-05-27 干法去膠設備（FEOL）1 2020-07-16 去膠設備 3 6 2020-09-29 去膠設備 10 2020-09-29 去膠設備 1 2020-12-01 去膠機 1 2021-06-25 去膠機 1 2021-06-25 去膠設備 1 2021-06-25 去膠機 1 2021-06-25 去膠機 1 2021-06-25 去膠機 7 2021-06-25 去膠機

110、 1 2021-06-25 去膠設備 5 2021-09-09 去膠設備 1 2021-09-09 去膠設備 1 2021-09-09 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：屹唐股份中標數量位列第一。華力集成：屹唐股份中標數量位列第一。屹唐股份共計中標 10 臺，中標產品為等離子去膠設備，涵蓋前、中、后段去膠工藝。36 圖 31：華力集成 20162022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 21：華力集成 20162022 設備招標國產去膠設備明細 公司名稱 設備名稱 數量 招標時間 屹唐股份 鎳等離子體去膠機 1 2017-06-

111、16 等離子體去膠機（后段）設備 1 2017-12-29 等離子體去膠機（中段）設備 3 2017-12-29 等離子去膠機（前段）/ASHER 1 2018-09-17 等離子體去膠機 Asher 1 2019-08-26 等離子體去膠機 Asher（BSI）1 2019-09-27 等離子體去膠機 Asher（Ni）1 2019-09-27 等離子體去膠機 Asher(FEOL)1 2020-08-08 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：迪恩士獲采購較多，國產廠商包括屹唐股份、盛美上海。華虹無錫：迪恩士獲采購較多，國產廠商包括屹唐股份、盛美上海。其中，屹唐股份中標 21

112、 臺設備，均為等離子去膠設備；盛美上海中標 9 臺，均為前段光刻膠剝離設備。圖 32：華虹無錫 20182022 設備招標去膠設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 108024681012屹唐股份泛林Lam Research2117930510152025屹唐股份迪恩士Screen盛美上海泛林Lam Research 37 表 22：華虹無錫 20182022 設備招標國產去膠設備明細 公司名稱 設備名稱 數量 招標時間 屹唐股份 等離子體去膠機 1 2020-01-21 等離子去膠機 5 2020-04-27 等離子去膠機 4 2020-12-28 等離子去膠機

113、1 2021-02-22 等離子去膠機 2 2021-08-09 等離子去膠機 7 2022-04-07 等離子去膠機 1 2022-06-17 盛美上海 前段光刻膠剝離單片設備 1 2020-04-21 前段光刻膠剝離設備 1 2020-11-17 前段光刻膠剝離設備 1 2020-12-28 前段光刻膠剝離設備 1 2021-02-22 前段光刻膠剝離單片設備 1 2022-02-17 光刻膠剝離設備(標準版)4 2022-02-17 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：去膠設備方面，屹唐股份、盛美上海等公司入圍，兩家設備類型有所區別。其中，屹唐股份主要產品為各類等離子體

114、干法去膠設備，其收購的 Mattson 在去膠領域具有長期技術積累，國產化率相對較高，盛美上海產品為濕法光刻膠剝離設備。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 114 臺，晶圓廠招標設備總數 154 臺，由此計算國產化率約 74.0%。7、化學機械拋光：國產化率、化學機械拋光：國產化率 23%，華海清科為國內細分龍頭，華海清科為國內細分龍頭 長江存儲：應用材料、華海清科中標最多。長江存儲：應用材料、華海清科中標最多。其中華海清科共計中標 34 臺，僅次于應用材料，中標產品主要為層間介質層化學機械拋光機、氧化硅化學機械拋光機、晶圓硅面化學機械拋光機等。圖 33：長江存儲 20172022

115、 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 76343324501020304050607080應用材料Applied Materials華海清科DISCO信紘科技ATLANTA 38 表 23：長江存儲 20172022 設備招標國產化學機械拋光設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 華海清科 氧化硅化學機械拋光機 2 2019-03-25 層間介質層化學機械拋光機 2 2019-03-25 層間介質層化學機械拋光機 1 2019-08-30 氧化硅化學機械拋光機 2 2020-01-10 層間介質層化學機械拋光機

116、 1 2020-01-10 晶圓硅面化學機械拋光機 3 2020-01-10 氧化硅化學機械拋光機 3 2020-08-14 晶圓硅面化學機械拋光機 1 2020-08-14 晶圓硅面化學機械拋光機-2 2 2020-08-14 層間介質層化學機械拋光機-2 1 2020-08-14 氧化硅化學機械拋光機（Bond Oxide）-2 1 2020-08-14 層間介質層化學機械拋光機 1 2020-08-14 氧化硅化學機械拋光機(Bond Oxide)1 2020-08-14 拋光機 1 2020-12-14 拋光機-C 2 2021-04-13 拋光機 1 2021-04-30 拋光機 1

117、 2021-06-16 拋光機-C 1 2021-07-09 拋光機 1 2021-07-09 拋光機 1 2021-09-09 拋光機 3 2021-09-09 拋光機 1 2021-09-16 拋光機 1 2021-09-16 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：應用材料、華力集成：應用材料、荏原制作所荏原制作所領先，國內華海清科中標。領先，國內華海清科中標。華海清科共計中標 4 臺，中標產品涵蓋硅研磨設備、銅化學機械研磨設備、氧化硅化學機械研磨設備和硅片背面氧化膜化學機械研磨設備。39 圖 34：華力集成 20162022 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計 資料

118、來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 24：華力集成 20162022 設備招標國產化學機械拋光設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 華海清科 硅研磨設備 1 2018-04-13 銅化學機械研磨設備 1 2019-11-12 氧化硅化學機械研磨設備 1 2020-05-11 硅片背面氧化膜化學機械研磨設備 1 2020-07-21 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：應用材料、華海清科獲采購較多。華虹無錫：應用材料、華海清科獲采購較多。華海清科共計中標 13 臺設備，化學機械拋光工藝涵蓋銅、硅片再生、淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜、鎢等工藝

119、環節，應用領域較為多樣；吉姆西半導體科技中標 6 臺，為氧化膜化學機械拋光設備。圖 35：華虹無錫 20182022 設備招標化學機械拋光設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 25：華虹無錫 20182022 設備招標國產化學機械拋光設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 華海清科 化學機械拋光設備（銅）1 2019-03-19 化學機械拋光設備（硅片再生）1 2019-03-19 化學機械拋光設備（淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜）1 2020-04-16 化學機械拋光設備（鎢）2 2020-04-16 20114051015202

120、5應用材料Applied Materials荏原制作所華海清科18136102468101214161820應用材料Applied Materials華海清科無錫吉姆西DISCO 40 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 化學機械拋光設備（鎢）1 2020-09-30 化學機械拋光設備（鎢）1 2020-11-17 化學機械拋光設備（鎢）1 2021-01-06 化學機械拋光設備（鎢）1 2021-01-06 化學機械拋光設備（淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜）1 2021-01-06 化學機械拋光設備（鎢）1 2022-02-09 化學機械拋光設備（銅）2 2022-0

121、2-09 吉 姆 西 半導體科技 化學機械拋光設備（氧化膜）2 2020-04-15 化學機械拋光設備（氧化膜）1 2020-05-13 化學機械拋光設備（氧化膜）1 2020-11-17 化學機械拋光設備（氧化膜）1 2020-12-28 化學機械拋光設備（氧化膜）1 2022-02-17 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：化學機械拋光設備方面，華海清科為國內細分龍頭，化學機械拋光設備涵蓋銅、硅片再生、淺溝槽絕緣氧化膜&多晶硅膜、鎢等多類材料。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 57 臺，晶圓廠招標設備總數 245 臺，由此計算國產化率約 23.3%。與海外廠

122、商相比，在工藝覆蓋率方面，國內廠商有進一步提升空間。8、離子注入：國產化率、離子注入：國產化率 3.1%，爍科中科信國產獲采購，爍科中科信國產獲采購 長江存儲：應用材料、亞舍立（長江存儲：應用材料、亞舍立（Axcelis）中標較多。）中標較多。應用材料為離子注入領域全球龍頭，共計中標 43 臺，中標產品涵蓋高束流、中束流等類型；亞舍立 Axcelis 中標 9 臺，主要為高能離子注入設備。圖 36：長江存儲 20172022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：應用材料、住友重工、亞舍立等企業領先，國產爍科中科信獲得采購。華力集成：應用材

123、料、住友重工、亞舍立等企業領先，國產爍科中科信獲得采購。應用材料中標設備涵蓋高電流、中電流和高能量離子注入設備；住友重工中標設備包括高電流和中電流離子注入設備；亞舍立中標設備為中電流和高能量離子注入機；爍科中科信于2019 年中標 1 臺中束流離子注入機。439205101520253035404550應用材料Applied Materials亞舍立科技Axcelis Technologies漢辰科技股份有限公司 41 圖 37：華力集成 20162022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 26：華力集成 20162022 設備招標國產離子注

124、入設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 爍科中科信 中束流離子注入機 1 2019-01-14 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：住友重工、應用材料獲采購最多，國產廠商爍科中科信獲得采購。華虹無錫：住友重工、應用材料獲采購最多，國產廠商爍科中科信獲得采購。其中，住友重工、應用材料、亞舍立分別中標 30 臺、25 臺、6 臺離子注入機；爍科中科信于 2020年中標 1 臺，為中電流離子注入設備。圖 38：華虹無錫 20182022 設備招標離子注入設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 27：華虹無錫 20182

125、022 設備招標國產離子注入設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 爍科中科信 中電流離子注入設備 1 2020-01-09 中電流離子注入設備 1 2022-03-22 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：離子注入設備方面，爍科中科信在華虹無錫、華力集成均獲得中標，中標設備均為中束流離子注入設備。凱世通半導體亦為國內離子注入機國產化主力廠商，低能大束流和高能離子注入機陸續交付客戶。從三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數3274105101520253035應用材料Applied MaterialsSumitomo HeavyIndu

126、stries IonTechnology Co.,Ltd.亞舍立科技Axcelis Technologies爍科中科信30256205101520253035Sumitomo HeavyIndustries IonTechnology Co.,Ltd.應用材料Applied Materials亞舍立科技Axcelis Technologies爍科中科信 42 5 臺，晶圓廠招標設備總數 161 臺，由此計算國產化率約 3.1%，該領域尚存在較大國內外差距，替代空間廣闊。9、涂膠顯影：國產化率、涂膠顯影：國產化率 1%，芯源微實現國產零突破，芯源微實現國產零突破 長江存儲：主要采購自東京電子，部

127、分迪恩士、漢民科技。長江存儲：主要采購自東京電子，部分迪恩士、漢民科技。尚未采購國產廠商設備。圖 39：長江存儲 20172022 設備招標涂膠顯影設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華力集成：東京電子獲采購數量領先，芯源微實現零的突破。華力集成：東京電子獲采購數量領先，芯源微實現零的突破。其中，國產廠商芯源微中標 1 臺，為防反射層勻膠機設備/BARC Coater。圖 40：華力集成 20162022 設備招標涂膠顯影設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 28：華力集成 20162022 設備招標國產涂膠顯影設備明細 公司名稱公

128、司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 芯源微 防反射層勻膠機設備/BARC Coater 1 2018-06-07 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 華虹無錫：華虹無錫：18 臺招標涂膠顯影設備全部采購自東京電臺招標涂膠顯影設備全部采購自東京電子，尚未采購國產廠商設備。子，尚未采購國產廠商設備。52110102030405060東京電子Tokyo Electron漢民科技Hermes Epitek迪恩士Screen1711024681012141618東京電子Tokyo Electron芯源微馗鼎奈米科技股份有限公司 43 圖 41：華虹無錫 20182022 設備招標

129、涂膠顯影設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 總結：總結：涂膠顯影設備方面，東京電子獲采購較多，國產設備公司中僅芯源微入圍。芯源微在華力集成中標設備為勻膠機，國產化尚存在較大發展空間。除上述晶圓廠外，芯源微還在中芯紹興、上海積塔、青島芯恩等晶圓廠獲得批量招標采購，產品包括聚合物涂膠顯影機、背面涂膠顯影機、KrF 勻膠顯影機、I-line 勻膠顯影機等，公司在國內涂膠顯影設備領域具有一定稀缺性。從前述三座晶圓廠累計招標情況統計，國產設備中標總數 1 臺，晶圓廠招標設備總數 100 臺，由此計算國產化率約 1.0%。10、光刻：國產化率、光刻：國產化率 1.1%，阿斯麥

130、絕對壟斷，上海微實現國產零突，阿斯麥絕對壟斷，上海微實現國產零突破破 光刻機方面，各晶圓廠均主要采購阿斯麥產品，少量采購日系廠商佳能、尼康。光刻機方面，各晶圓廠均主要采購阿斯麥產品，少量采購日系廠商佳能、尼康。國產廠商中，上海微電子裝備于 2021 年初于長江存儲中標一臺光刻機。當前在光刻機領域，后續廠與龍頭廠商阿斯麥之間差距仍較為明顯。從三座晶圓廠累計招標情況來看，國產設備中標總數 1 臺，晶圓廠招標設備總數 93 臺，國產化率約 1.1%，國產化率尚低。圖 42：長江存儲 20172022 設備招標光刻設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 表 29：長江存儲 2

131、0172022 設備招標國產去膠設備明細 公司名稱公司名稱 設備名稱設備名稱 數量數量 招標時間招標時間 上海微電子裝備 光刻機 1 2021-01-09 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 27051015202530東京電子Tokyo Electron41121051015202530354045阿斯麥ASML佳能Canon上海微電子裝備 44 圖 43：華力集成 20162022 招標光刻設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 圖 44：華虹無錫 20182022 招標光刻設備各廠商中標數量合計 資料來源：中國國際招標網，中信證券研究部 14110246810121416阿斯麥ASML尼康東京電子Tokyo Electron2120510152025阿斯麥ASML尼康