MOS管High-k材料用量有所增多 DRAM 線寬越細,High-k 材料用的越多。未來隨著半導體技術的發展,對 High-K 材料的需求將攀升。隨著制程微縮,電容的深寬比倍數增加,需要單位價值量更高的 High-k 材料降低高深寬比刻蝕產生的各種缺陷。 其它 下載Excel 下載圖片 原圖定位