額 75%。據 Gartner 統計（2020 年），①濺射 PVD 設備市場：應用材料（AMAT）基本實現壟斷，市場份額高達 86%；②等離子體 CVD 市場：應用材料（AMAT）全球占比約為 49%，其次為泛林半導體（Lam）的 34%，兩者占據了全球 83%的市場份額；③ALD 市場：兩大龍頭先晶半導體（ASM）和東京電子（TEL）占據 46%和 29%的市場份額。其中 ASM 是全球唯一實現用 ALD 工藝沉積高 k 金屬柵極產業化應用的廠商。