? 單元數量多、軟件調度復雜、集成度高：涂膠顯影機大多采用單元模塊結構，主要由盒站單元 CS、盒站機械手臂 CSR、工藝機器人手臂 PSR、涂膠單元 COT、顯影單元 DEV、熱烘/冷卻 OVEN 單元、對中單元 CA 等部分構成。一臺涂膠顯影機往往包括 18 個以上功能模塊，以及增粘單元/涂膠單元等 150 多個單元，需要在一小時內完成 9000 余次晶圓傳送，內部機械結構復雜。