精度、速度、無故障運行時間等是固晶機重要的質量參數。固晶質量會直接影響后續焊線等環節，且影響產能和芯片良率，因此客戶在選擇時較為謹慎，通常會對關鍵參數進行比較。無故障運行時間需經長期觀察和專業統計，核實、論證難度較高，各廠商很少披露。諸多國產固晶機在精度、速度方面與外資品牌仍有差距。以 IC 固晶機為例，據睿工業，國產IC 固晶機精度多分布于±10-15μm，速度約在 18-35K；外資代表品牌 IC 固晶機精度多分布于±3-10μm，速度約 30-40K9（不同統計機構間的具體統計數值可能因樣本不同而有所區別，此處引用的數值主要用于反映品牌間存在的差距）。行業內也會以精度對固晶機予以區分，如精度在±3~5μm，通?？梢暈槌呔裙叹C；中高精度固晶機的精度則約在±25μm。國際化代表品牌除 ASMPT、Besi 外，還有 MRSI、雅馬哈等。據深圳市寶安區半導體協會發布的《IC 類半導體固晶機技術規范》，基本參數表中，系統功能的定位精度為±1mil（±25μm）。除系統功能相關參數外，《IC 類半導體固晶機技術規范》對晶片 XY 工作臺、圖像識別系統等相關參數也有所要求，技術要求涉及加工及裝配、固晶模塊、軟件模塊、光學模塊、電路模塊、氣路模塊等多領域?？梢?，評估固晶機的質量也是綜合化的考量。