國外代表性企業 MEMS 加速度計指標情況如下表所示。HG4930 為 Honeywell 已量產性能最優的硅基 MEMS 陀螺儀組成的慣性測量單元。Colibrys 的 MS1030 是目前已知可以購買的較優性能的單軸導航級模擬輸出 MEMS 加速度計。ADI 公司的 ADXL357 為目前世界上較高性能的單片三軸 MEMS 加速度計芯片之一。