芯片高集成下，2025 年半導體用 ALD 總市場規模有望達到 40~46 億美元。跟隨先進制程邏輯和存儲芯片逐漸走向三維，NAND 向 500 層以上邁進、3D DRAM 逐步走向市場，先進邏輯也從 Fin-FET 轉向 GAA，在小面積上高集成的趨勢將提升 ALD 的市場空間。2022 年，單片式 ALD 設備規模 26億美元，預計到 2025 年，市場規模有望達到 31~37 億美元，22-25 年 CAGR達到 4.5~9.2%。2022 年，全球多片式 ALD 設備規模為 8.3 億美元，預計到2025 年，多片式 ALD 設備規模將達到 9 億美元。