調制器的方案包括馬赫-曾德爾調制器（MZM）/微環諧振器（MRM），MZM是現階段主流方案，未來高集成度MRM是趨勢。(1)MZM基于雙波導臂干涉原理，通過電信號改變波導折射率實現光強調制，其優勢在于全帶寬工作（支持C/L/O波段）和高工藝容差（對制造誤差不敏感），且通過行波電極設計可實現單通道200Gbps以上的高速調制。然而MZM的尺寸較大（通常>2mm）、功耗較高（反向偏置載流子耗盡型需高驅動電壓）限制了其在超緊湊場景的應用。 (2) MRM基于微環諧振腔的波長選擇性，通過改變諧振條件實現調制，MRM的制造工藝較復雜，其核心優勢是超小尺寸（半徑可<10μm）和低功耗（驅動電壓僅需1-2V）。MRM的高密度潛力使可能成為下一代硅光芯片的核心方案。