（1）光刻機組成中最重要的是照明系統、投影物鏡系統和工件臺系統，光刻機集中了目前電子、光學、精密器械和控制領域最尖端的知識。其主要由照明、投影物鏡、工件臺、掩膜臺、對準與測量、傳輸等系統組成。除此之外還有光刻計算和掩膜優化為光刻機提供相關支持。