中微 MOCVD 設備產品性能已經達到國際領先，2021 年零部件國產化率達到 80%以上。中微 MOCVD 設備經過國內外頭部廠商驗證，設備產能，沉積厚度均勻性，控溫設計等均已達到國際領先水平，公司設備優化速度迅速，2007 年設備波長均勻性為 1.51nm，2021 年推出的 Prismo UniMax®型號波長均勻性已提升至 0.71nm，達到國際領先水平。根據公司公告，公司國產化零部件價值占比達到 81%，日產零部件占比 10%，美產零部件占比 5%，實現高度國產化，供應鏈安全穩定。