3）IBM 業務：為已安裝的光刻機提供設備升級與相關服務，受益于光刻機累計安裝量的提升。1）公司 IBM 業務（Installed Base Management）：主要為已安裝的光刻機提供設備升級與相關現場服務（net service and field option sales），以提升已售光刻機的性能、可靠性、生命周期等，實現生產價值最大化。2022 年 IBM 業務收入為 57.4 億歐元，同比增長 16%（高于公司平均水平 14%），占總收入的 27%。2）展望未來：公司在 2022年投資者日上預計，公司的 IBM（Installed Base Management）業務收入在 2025 年與 2030年將分別達到 70-80 億歐元、110-130 億歐元，對應 2022-2030 年 CAGR 為 8%-11%，主要受益于公司高端光刻機（EUV 與 ArFi 光刻機）已安裝量的增長。