形狀記憶合金是一種能記住自身形狀的一種合金，當其發生永久變形后，若加熱到某一溫變形前的形狀，具有驅動速度快、負載能力強等優勢，但與其他金屬一樣，存在疲勞和壽命問題。日本在 1984 年成功研制了 Hitachi 手，該手由 3 個 4 自由度手指和 1 個拇指構成，采用了形狀記憶合金（SMA）驅動。國內中國計量大學等也有相關研究，研發出了基于形狀記憶合金的三指靈巧手，通過增加 SMA 的使用量來實現較大驅動位移輸出。