品全球領先，根據the information network，2022年ASLM電子束檢測設備全球市占率達50%。2016年，ASML通過收購HMI（全球最大電子束檢測供應商）進入電子束檢測市場，此后相繼推出HMI eP5（OCD）、HMI eScan 600（多類缺陷）等電子束檢測設備。2020年，ASML推出全球首個多電子束晶圓缺陷檢測設備HMI eScan 1000（9電子束），定位3nm研發應用，吞吐量相比單電子束提升600%。ASML目前壟斷EUV光刻機市場，通過將其量檢測設備與EUV系統配套，電子束檢測設備競爭優勢顯著。