別為81.4%、14.2%、2.3%。相比光學檢測技術，電子束技術速率較慢、設備成本較高，然而檢測精度較高。根據MMR，2022年全球電子束檢測市場中，1nm以下應用占比過半，隨著集成電路工藝節點減小，缺陷尺寸減小、缺陷密度增加、漏檢風險逐漸提升，電子束檢測技術具有顯著的分辨率優勢，且對于電性缺陷具有獨特的識別能力，2022-2029年全球電子束檢測市場有望快速增長，CAGR預計為19.9%，2029年10nm以上應用將成為電子束技術的主要市場。