電子束檢測技術：精度高但速度相對較慢，適用于部分關鍵區域抽檢或測量。電子束檢測技術通過聚焦電子束掃描樣片表面產生樣品圖像以獲得檢測結果，檢測精度比光學檢測技術更高，但檢測速度相對較慢。在實際應用中，電子束技術一部分應用于研發環節，一部分應用在部分關鍵區域抽檢或尺寸量測等生產環節，例如納米量級尺度缺陷的復查、部分關鍵區域的表面尺度量測以及部分關鍵區域的抽檢等，主流設備種類包括：電子束缺陷復檢（DR-SEM）、電子束缺陷檢測、電子束關鍵尺寸測量（CD-SEM）。2021 年應用材料半導體電子束檢測設備營收約 10.8 億美元，全球市占率近 50%，處于領先地；同時為了突破電子束檢測產能限制問題，頭部設備廠商也在攻克研發多電子束方案。