異質結PECVD與HWCVD運營成本對比(元/W) HWCVD 具備成本優勢。熱絲 CVD 實現微晶需要增大電流而 PECVD 則需要加大射頻可能產生駐波效應。相比之下,熱絲 CVD 并無等離子體濺射損傷,H2 等特氣耗量也顯著低于 PECVD 路線,疊加無繞鍍、無粉塵優勢將大大提升有效工作時間。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位