2020-2023 年，全球 0.13μm 及以上工藝節點前道單片式物理清洗機市場規模預計將分別達到 1.24 億美元、1.45 億美元、1.51 億美元及 1.43 億美元，國內（含臺灣地區）0.13μm 及以上工藝節點前道單片式物理清洗機預計市場規模將達到 0.42 億美元、0.50 億美元、0.53 億美元及 0.51 億美元。