行業深度報告 Cat-CVD 工藝沉積效果更佳，但設備運行成本還有待優化。由 Cat-CVD 工藝沉積的非晶硅/晶硅界面為 0.6nm，僅為 PECVD 的 1/3，對應的少子壽命也更長，鈍化效果更好。這主要是由于 Cat-CVD 可更高效地分解 H2，從而產生更高密度的氫原子對硅表面的懸掛鍵進行鈍化，最終實現減少載流子復合，更好提升電池效率。此外，Cat-CVD 對于源氣體的利用率在 80%以上，而 PECVD 目前僅為 10%-20%，而且 Cat-CVD 理論上可在熱絲兩側同時沉積，生產速度更快。Cat-CVD 關鍵部件是 Ta 絲，長時間使用會出現老化問題，熱絲表面開裂使其電阻率和表面狀態發生變化。因此，Ta絲需要定期更換，更換周期小于一個月，這增加了 Cat-CVD 設備的運行成本。未來