CVD硅碳制備工藝(流化床法) 步驟 1:原料破碎多孔碳物料經過破碎、研磨和篩分,制得小顆粒多孔碳反應原料;步驟2:流態化硅沉積反應:小顆粒多孔碳反應原料置于攪拌流化床反應器中,通入硅源與載氣混合氣體進行化學氣相沉積,制得硅基中間體;步驟 3:流態化碳沉積反應:向硅基中間體通入碳源與載氣的混合氣體進行化學氣相碳沉積,以改善和強化硅材料的結構。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位