技術創新推動，CVD 業務蓬勃發展。北方華創布局拓展 DCVD 和 MCVD 兩大系列產品，實現金屬硅化物、金屬柵極、鎢塞沉積、高介電常數原子層沉積等工藝設備的全方位覆蓋，關鍵技術指標均達到業界領先水平。截至 2023年底，北方華創已實現 30余款 CVD產品量產應用，累計出貨超 1000 腔。