半導體零部件行業系列報告之二：閥門國產替代方興未艾優質廠商有望快速放量-230506（28頁）.pdf

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1、 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 行行業業 研研 究究 行行業業深深度度研研究究報報告告 證券研究報告證券研究報告 industryId 電子電子 推薦推薦 (維持維持 ）重點公司重點公司 重點公司 EPS 評級 2023E 2024E 新萊應材 2.02 2.72 增持 來源：興業證券經濟與金融研究院 relatedReport 相關報告相關報告 【興證電子】周報：國內晶圓廠逆周期投資進一步確定，算力升級推動硬件需求量價齊升2023-04-23 【興證電子】周報：半導體自主可控持續推進，存儲周期即將見底2023-04-16 【興證電子】射頻電源：

2、刻蝕&PECVD 設備核心零部件，國產替代迫在眉睫2023-04-10 emailAuthor 分析師：分析師：李雙亮李雙亮 S0190520070005 王佩麟王佩麟 S0190522080002 投資要點投資要點 summary 閥門為真空和流體系統核心零部件之一，要求極為嚴苛。閥門為真空和流體系統核心零部件之一，要求極為嚴苛。閥門是半導體真空系統和流體系統中的核心元件，起到開閉、控制流量/流向、調節壓力等作用。閥門種類眾多，如真空閥按作用可分為隔離閥、控制閥、傳輸閥等，按工作方式則包括閘閥、角閥、蝶閥、擺閥、球閥等；流體系統中則需要用到隔膜閥、調壓閥、波紋管閥、單向閥等。半導體對閥門要求

3、極為嚴苛，對密封性、真空度、潔凈度等參數指標都有極高要求，尤其是流體系統中的隔膜閥等產品，要求超高純、耐腐蝕、流體控制精度高等，在材料的選擇、表面處理等方面都給廠商帶來了較大的難度。全球市場空間巨大，海外廠商主導全球市場空間巨大，海外廠商主導。全球半導體閥（不含調壓閥 regulators）市場規模近21億美元，市場空間較大，其中各類真空閥合計約十多億美元，隔膜閥約 5+億美元，其余為單向閥等。此外。若再加上流體系統中應用較多的調壓閥，則整體市場規模將比21億美元要再高出不少。半導體閥市場整體上由海外廠商主導，真空閥領域主要是瑞士 VAT 一家獨大，占據全球七成以上份額，而流體系統的隔膜閥、調

4、壓閥等產品主要由美國 Swagelok、美國Parker Hannifin、日本 Fujikin 等廠商主導，國內廠商整體上市占率還相對較小，尤其是在流體系統閥門還處于剛突破的起步階段。半導體閥國產替代方興未艾，優質廠商有望迎來快速放量。半導體閥國產替代方興未艾，優質廠商有望迎來快速放量。當前趨勢下美國不斷加大對我國半導體產業的限制，尤其是半導體設備進口受到明顯影響，而作為半導體設備上游的零部件環節，其供應穩定性也在逐漸面臨越來越大的風險，因此設備廠商對于零部件自主可控的緊迫性也愈發凸顯。半導體閥作為目前國產化率還相對較低的關鍵零部件，尤其是流體系統閥門市場美國廠商地位突出，更是亟待國產替代。

5、國內部分優質廠商如新萊應材不斷突破，正面臨著國產替代加速的良機，有望迎來快速放量。投資建議投資建議：半導體閥門作為真空系統和流體系統中的核心零部件之一，全球市場空間巨大，且主要是海外廠商主導，尤其是流體系統閥門市場中美國廠商地位突出，當前環境下面臨著國產替代的良好機遇。部分優質國產廠商突破良好，推薦新萊應材新萊應材，真空閥在主流客戶實現良好替代，氣體閥實現國產替代突破、迎來快速放量。建議關注晶盛機電（興證機械組覆蓋）、九天真空（未上市）等。風險提示：風險提示：中美貿易摩擦加劇、下游擴產及資本開支不及預期、細分行業競爭加劇。title 半導體零部件行業系列報告之二半導體零部件行業系列報告之二閥閥

6、門門：國產替代方興未艾，優質廠商有望快速放量國產替代方興未艾，優質廠商有望快速放量 createTime1 2023 年年 05 月月 06 日日 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -2-行業深度研究報告行業深度研究報告 目目 錄錄 引言.-4-1、真空閥：真空系統核心零部件，瑞士 VAT 主導市場.-6-1.1、真空閥：真空系統核心零部件，主要起隔離/控制/傳輸作用.-6-1.2、真空閥要求嚴苛，瑞士 VAT主導市場.-9-1.3、國際龍頭梳理.-11-1.3.1、瑞士 VAT公司.-11-2、流體系統閥門：流體系統核心元件，美廠占據重要地位.-1

7、2-2.1、半導體工藝設備供氣和氣路系統中廣泛應用的關鍵元件.-12-2.2、流體系統閥門要求更顯嚴苛，美國廠商占據重要地位.-16-2.3、全球龍頭廠商梳理.-18-2.3.1、Swagelok.-18-2.3.2、Fujikin.-19-3、國產替代緊迫性凸顯，優質廠商有望突破放量.-20-3.1、國產設備廠商成長空間巨大，零部件國產替代正當時.-20-3.2、半導體閥門國產替代方興未艾，尤其流體閥門國產化空間極大.-21-3.3、優質國產廠商梳理.-22-3.3.1、新萊應材.-22-3.3.2、晶盛機電.-25-3.3.3、九天真空.-25-4、投資建議.-26-5、風險提示.-27-

8、圖目錄圖目錄 圖 1、各種閥門圖示.-4-圖 2、我國定義的常見閥門種類及代號.-4-圖 3、最常用的真空閥及應用.-6-圖 4、閘閥產品圖示.-7-圖 5、閘閥的應用示例.-7-圖 6、角閥產品圖示.-7-圖 7、角閥的應用示例.-7-圖 8、擺閥產品圖示.-8-圖 9、擺閥的應用示例.-8-圖 10、碟閥產品圖示.-8-圖 11、碟閥的工作原理.-8-圖 12、球閥產品圖示.-8-圖 13、球閥的應用示例.-8-圖 14、傳輸閥產品圖示.-9-圖 15、傳輸閥的應用示例.-9-圖 16、2021年全球真空閥市場中瑞士 VAT的市場份額.-10-圖 17、全球真空閥主要廠商與市場份額情況.-

9、11-圖 18、VAT所處產業鏈及服務市場和客戶.-11-圖 19、2022年 VAT收入業務結構.-12-圖 20、2022年 VAT收入地區結構.-12-FZiX2VlX8ZBVlY3UjZ9Y6MdN7NsQoOtRpMiNrRqNjMnNwO7NmMmMvPnOrQxNpPqQ 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -3-行業深度研究報告行業深度研究報告 圖 21、典型 IC 制造廠的氣體分配系統.-12-圖 22、Fab 廠特氣系統輸送路徑.-12-圖 23、Gas Cabinets 圖示.-13-圖 24、多功能閥箱圖示.-13-圖 25、G

10、as Box圖示.-13-圖 26、隔膜閥產品圖示.-14-圖 27、隔膜閥工作原理.-14-圖 28、調壓閥產品圖示.-14-圖 29、調壓閥工作原理.-14-圖 30、單向閥產品圖示.-15-圖 31、部分單向閥內部結構圖.-15-圖 32、波紋管閥產品圖示.-15-圖 33、波紋管閥內部結構圖.-15-圖 34、Swagelok 的嵌入式閥組系統設計可使 Gas Box 更小型化.-16-圖 35、Swagelok 提供產品圖示.-18-圖 36、Swagelok 面向半導體行業的產品.-18-圖 37、Fujikin產品.-19-圖 38、Fujikin產品.-19-圖 39、中芯國際

11、擴產及資本開支整理及預測.-20-圖 40、全球半導體設備市場規模地區結構.-21-圖 41、2020年半導體零部件供應商及自給率.-21-圖 42、新萊應材發展歷程.-22-圖 43、新萊應材產品圖示.-23-圖 44、新萊應材主要下游.-23-圖 45、新萊應材產品結構.-23-圖 46、新萊應材下游結構.-23-圖 47、新萊應材真空產品.-24-圖 48、新萊應材 UHP超高潔凈產品圖示.-24-圖 49、晶盛機電主營業務布局.-25-圖 50、晶盛機電精密零部件業務.-25-圖 51、九天真空發展歷程.-26-圖 52、九天真空核心業務.-26-圖 53、九天真空真空閥產品.-26-

12、表目錄表目錄 表 1、常見閥門分類.-5-表 2、真空的壓力范圍劃分.-5-表 3、真空閥按作用劃分.-6-表 4、真空產品材料選擇的指標要求.-9-表 5、半導體真空閥需滿足的要求.-10-表 6、氣體系統元件需滿足的要求.-16-表 7、ALD 對流體系統閥門提出的挑戰.-17-表 8、半導體閥的國內外供應商梳理.-22-表 9、板塊公司估值.-27-請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -4-行業深度研究報告行業深度研究報告 報告正文報告正文 引言引言 閥門作為一種常見機械裝置，除工業生產、生活等應用領域外，也普遍應用于各種半導體設備之中，是其真空

13、系統和流體系統中核心的系統元件之一。閥門作為隔斷/接通管路、控制流體流量/壓力/流向的裝置，可以起到啟閉作用、調節作用、節流作用等。圖圖 1、各種各種閥門圖示閥門圖示 資料來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 根據我國國家標準，閥門類型主要有閘閥、截止閥、節流閥、蝶閥、球閥、止回閥、控制閥（調節閥）、隔膜閥、旋塞閥、排污閥、柱塞閥、減壓閥、蒸汽疏水閥、排氣閥、安全閥等。圖圖 2、我國定義的我國定義的常見閥門種類常見閥門種類及代號及代號 資料來源：國家標準委，興業證券經濟與金融研究院整理 閥門分類方式眾多，1）按驅動方式驅動方式可分為：請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀

14、正文之后的信息披露和重要聲明 -5-行業深度研究報告行業深度研究報告 自動閥自動閥，自動閥依靠介質自身力量驅動，如節流閥、止回閥、減壓閥、疏水閥、安全閥等；驅動閥驅動閥，通過手動、電動、氣動、液動等方式驅動，如截止閥、節流閥、閘閥、碟閥、球閥、旋塞閥等。2）按用途用途可分為：開斷用開斷用，用來接通或切斷管路介質，如截止閥、閘閥、球閥、蝶閥等。調節用調節用，用來調節介質的壓力和流量，如調節閥、減壓閥。止回用止回用，用來防止介質倒流，如止回閥。分配用分配用，用來改變介質流向、分配介質，如三通旋塞、分配閥、滑閥等。安全閥安全閥，在介質壓力超過規定值時，用來排放多余的介質，保證管路系統及設備安全，如安

15、全閥、事故閥。其它特殊用途其它特殊用途，如疏水閥、放空閥、排污閥等。表表 1、常見閥門分類常見閥門分類 分類分類 定義定義 截斷閥類 閘閥 啟閉件（閘板）由閥桿帶動，沿閥座（密封面）做升降運動，用于截斷或接通介質流 截止閥 啟閉件（閘瓣）由閥桿帶動，沿閥座（密封面）做升降運動，用于截斷或接通介質流 隔膜閥 啟閉件（隔膜）由閥桿帶動，沿閥桿軸線做升降運動，用于截斷或接通介質流 旋塞閥 啟閉件（塞子）繞其軸線旋轉，用于截斷或接通介質流 球閥 啟閉件（球體）由閥桿帶動，并繞閥桿的軸線做旋轉運動，用于截斷或接通介質流 蝶閥 啟閉件（碟板）由閥桿帶動，并繞閥桿的軸線做旋轉運動，用于截斷或接通介質流 調節

16、閥類 節流閥 啟閉件（閥瓣）改變通道截面積從而控制或調節介質流量與壓力 止回閥類 止回閥 依靠介質本身的流動自動開閉閥瓣，用于阻止介質倒流 安全閥類 安全閥 啟閉件受外力作用處于常閉狀態，用于超壓安全保護 分流閥類 疏水閥 用于將蒸汽系統中的凝結水、空氣和二氧化碳氣體盡快排出 調壓閥類 減壓閥 依靠介質本身的能量使出口壓力自動保持穩定 資料來源：華經情報網，興業證券經濟與金融研究院整理 此外，閥門按公稱壓力可分為真空閥、低壓閥、中壓閥、高壓閥、超高壓閥等，真空還可以進一步劃分為低真空、中真空、高真空、超高真空、極高真空等。按介質溫度可分為普通閥門、高溫閥門、超高溫閥門、低溫閥門、超低溫閥門等，

17、具體數值界限視不同國家或情景下標準不同可能會有所差異。表表 2、真空的壓力范圍真空的壓力范圍劃分劃分 分類分類 壓力范圍壓力范圍 低真空 105Pa102Pa 中真空 102Pa10-1Pa 高真空 10-1Pa10-5Pa 超高真空 10-5Pa10-8Pa 極高真空 10-8Pa以下 資料來源：Ulvac官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -6-行業深度研究報告行業深度研究報告 1、真空閥真空閥：真空系統核心零部件，瑞士真空系統核心零部件，瑞士 VAT 主導市場主導市場 1.11.1、真空閥真空閥：真空系統核心零

18、部件，主要起隔離真空系統核心零部件，主要起隔離/控制控制/傳輸作用傳輸作用 如上文所述，真空的通俗定義指的是空間中的壓力低于標準大氣壓力時的狀態。真空閥指的是用在真空系統中的閥門，其作用通常為隔離真空區域（如工藝腔室）或控制氣體進出量。由于真空環境基本貫穿半導體制造過程始終，因此真空閥在半導體設備中也有著普遍而廣泛的應用。真空閥和普通閥門在類型上沒有本質區別，按作用劃分主要有隔離閥、控制閥（調節閥）、傳輸閥、泄壓閥/排氣閥、氣體計量閥、止回閥等，在半導體設備的真空系統中尤其是隔離閥、控制閥、傳輸閥應用較多；其中，隔離閥和控制閥根據工作方式又包括閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等。表表 3、真空閥按

19、作用劃分真空閥按作用劃分 分類分類 按啟閉件按啟閉件 作用作用 隔離閥 閘閥、角閥、蝶閥、擺閥、球閥等 隔絕/接通管路 控制閥 擺閥、蝶閥、角閥、球閥等 控制壓力和流量 傳輸閥 可以當作閘板連接兩個密封腔室，起到介質傳輸作用 泄壓閥/排氣閥 一種特殊的安全閥，在系統行為出現偏差時進行快速泄壓/排氣 止回閥 為真空系統提供可靠的介質倒流保護，防止真空系統污染 快速關閉閥 一種特殊的保護閥，在發生泄漏時，可以防止不受控制的壓力上升或污染的氣體流入工藝區 資料來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 具體來看，隔離閥起隔絕/接通作用，如可用于連接真空泵，在其運作與否時起到禁止/允許氣體進入真

20、空泵系統的作用；控制閥主要起到控制氣體流量和壓力的作用；傳輸閥則可用于晶圓在腔體之間或腔體和 Load Lock 之間的傳輸。圖圖 3、最常用的最常用的真空閥真空閥及應用及應用 資料來源：VAT 年報，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -7-行業深度研究報告行業深度研究報告 從實際應用來看，隔離閥采用最多的主要為角閥和閘閥。閘閥閘閥的啟閉件為閘板，閘板運動方向與介質流動方向垂直，通過閘板的升降可以起到隔絕/接通作用，通常只作全開/全閉狀態，是隔離閥的理想選擇，而較少用作控制作用。閘閥可用于腔體和真空泵之間。圖圖 4、閘閥

21、產品圖示閘閥產品圖示 圖圖 5、閘閥的應用示例閘閥的應用示例 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 角閥角閥的氣體通路通常呈直角，主要可用于真空系統中的排氣管路和抽氣系統等的連接，如用于主泵（通常為分子泵）和前級泵（通常為干泵）之間（即前級管路）或腔體和前級泵之間（即粗抽或預真空管路）。角閥常作為隔離閥，尤其適用于嚴苛的環境下，并具有出色的可靠性，也可具備控制作用。圖圖 6、角角閥產品圖示閥產品圖示 圖圖 7、角角閥的應用示例閥的應用示例 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新萊應材官網，興業證券

22、經濟與金融研究院整理 控制閥用在真空腔體和分子泵之間，起到調節流量和壓力的作用?？刂崎y采用最多的主要為擺閥（鐘擺閥），而蝶閥等也可以起到控制作用。擺閥擺閥的啟閉件通過如鐘擺般的旋轉運動來實現隔離和控制作用，具有設計緊湊、振動小、啟閉平穩、能有效避免產生顆粒的特點，被廣泛用作控制閥。請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -8-行業深度研究報告行業深度研究報告 圖圖 8、擺閥擺閥產品圖示產品圖示 圖圖 9、擺閥擺閥的應用示例的應用示例 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：htc真空官網，興業證券經濟與金融研究院整理 蝶閥蝶閥的閥瓣

23、呈圓盤形，圍繞其中軸旋轉，旋角大小便是閥門的開閉度，既可作為隔離閥，提供與閘閥同樣可靠的真空隔離的同時對占用空間要求較低，適用于緊湊空間的隔離；又可作為控制閥，實現快速精確的調節。圖圖 10、碟閥產品圖示碟閥產品圖示 圖圖 11、碟閥的工作原理碟閥的工作原理 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 此外，球閥球閥的啟閉件是帶有圓形通道的球體，繞垂直于通道的軸線旋轉，球體隨閥桿轉動從而達到啟閉通道的目的。球閥適用的壓力范圍廣，從高真空到低真空等均可使用，同時在帶有腐蝕性介質的或者高溫的系統中也均可適用。圖圖 12、球閥球閥產品圖

24、示產品圖示 圖圖 13、球閥球閥的的應用示例應用示例 數據來源：華光閥門官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -9-行業深度研究報告行業深度研究報告 傳輸閥傳輸閥是用于連接真空腔室的長方形截面的閥門，可將物體（如晶圓）從一個腔室傳送到另一個腔室，尤其是在傳輸腔和工藝腔之間需要用到，因此傳輸閥是多腔室系統的理想選擇。圖圖 14、傳輸閥產品圖示傳輸閥產品圖示 圖圖 15、傳輸閥傳輸閥的應用示例的應用示例 數據來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新

25、萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 1.1.2 2、真空閥要求嚴苛，瑞士真空閥要求嚴苛，瑞士 VATVAT 主導市場主導市場 真空系統包括各種不同的零部件，如腔體、泵、閥等等，基本都有著嚴苛的參數指標要求和較高的研發生產難度，僅在材料選擇上便需要結合應用、環境條件及要實現的真空度而考慮諸多因素。且還需要進行復雜而精密的焊接、表面處理、清潔等工藝，都需要行業中較長時間的積累。表表 4、真空產品材料選擇的指標要求真空產品材料選擇的指標要求 指標指標 具體要求具體要求 機械強度 在整個操作溫度范圍內要保證足夠的機械強度，除了要保證其結構的完整性，還必須確保功能表面的變形不會對其功能特性造成影響

26、。高氣密性 滲透的快慢取決于材料、氣體類型以及環境條件特別是溫度。使用彈性體密封件的情況下，其滲透性必須予以考慮。低固有蒸氣壓、高熔沸點 固有蒸氣壓太高會限制最終的真空度。除了油和潤滑脂的真空兼容性，在合金中，必須考慮金屬固有的蒸氣壓或其在合金中的分壓。清潔表面、低雜質氣體含量、易脫氣 任何暴露于環境空氣中的表面都會覆蓋上一層吸附層。以化學或物理形式吸附在材料表面或材料間隙內的氣體分子，一旦解吸（當在它們從表面分離時）也是氣體來源的一部分。要實現高的極限壓力，必須使用具有低解吸率的材料?？篃釠_擊性能好、膨脹率適應性好 不同熱膨脹將鋁密封件與不銹鋼法蘭組合的最高允許溫度限制在 150C 左右。經

27、常在過高溫度之后，在冷卻過程中發生密封效果惡化的情況。耐腐蝕性、耐化學性 很多真空鍍膜過程需要化學性質活潑的過程氣體。因此，有必要考慮所使用的流體是否會影響到部件或密封件。尤其是薄壁部件，如金屬波紋管，容易受到腐蝕。如有必要，應該通過測試來確定其使用壽命。資料來源：普發真空官網資料，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -10-行業深度研究報告行業深度研究報告 而具體到真空閥產品來看，優異的密封性、精確的流量控制、最小的顆粒產生、最小的振動和沖擊、穩定性和可重復性等也都是至關重要的特性，尤其是在半導體制造這種對于工藝環境的純

28、度、化學和物理穩定性有極高要求的領域，其要求會比標準真空閥更高。表表 5、半導體真空閥需滿足的要求半導體真空閥需滿足的要求 要求要求 具體介紹具體介紹 最小化的顆粒產生 高性能真空閥經過優化，不會通過其外殼、機械裝置或密封件的材料放出顆粒，也不會通過其開閉或控制運動的摩擦放出顆粒。這是通過對所用材料的特殊選擇和處理，以及通過設計細節來實現的，這些細節可以最大限度地減少或在某些情況下完全消除顆粒的釋放。最小化的振動和沖擊 閥門的開閉會產生運動脈沖，范圍從輕微振動到可感知的沖擊不等，會對敏感的制造過程造成負面影響。高性能真空閥主要通過控制所謂的運動曲線來最大限度地減少這些脈沖。中性的化學和物理行為

29、 真空閥由于自身的幾何形狀，其開閉行為的發生或者流路的變窄或變寬會改變流體的阻力和流速，并影響工藝流體的濃度、分布、混合等。高性能真空閥經過優化，以盡可能補償此類影響或使其可控。精確且可重復的穩定性 標準真空閥在每個開閉行為中會表現出波動，并在使用中可能表現出與定義的性能值有所偏差。高性能真空閥在很長的使用間隔內始終表現出相同的行為、且性能值波動范圍極窄，可以穩定真空過程并最大限度地降低過程控制的復雜性。資料來源：VAT 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 據瑞士 VAT 公司整理，2021 年 VAT 公司占全球半導體真空閥的份額約 75%，假設 2022 年其市占率保持穩定，結合公司 20

30、22 年半導體真空閥 7.165 億瑞士法郎（按 1.05 匯率假設約為 7.5 億美元），則全球半導體真空閥市場規模約 10 億美元；類似地，可測算出全球泛半導體真空閥市場規模約 12.7億美元。真空閥市場格局集中，除了瑞士 VAT占據主導地位以外，MKS公司（美國）、V-TEX（日本）、CKD（日本）、SMC（日本）、Ulvac（日本）等廠商也都占據一定的市場份額。圖圖 16、2021 年全球年全球真空閥真空閥市場中瑞士市場中瑞士 VAT 的的市場份額市場份額 資料來源：VAT 投資者關系資料，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露

31、和重要聲明 -11-行業深度研究報告行業深度研究報告 圖圖 17、全球全球真空閥主要廠商與市場份額情況真空閥主要廠商與市場份額情況 資料來源：VAT 投資者關系資料，興業證券經濟與金融研究院整理 1.1.3 3、國際龍頭梳理、國際龍頭梳理 1.1.3.13.1、瑞士、瑞士 V VATAT 公司公司 瑞士 VAT作為全球真空閥龍頭，2022年實現收入 11.45億瑞士法郎，其中閥門產品收入9.33億瑞士法郎，服務收入2.13億瑞士法郎。閥門產品收入進一步劃分，則半導體為最大下游應用，收入為 7.17 億瑞士法郎，其余則為先進工業、顯示&太陽能應用。圖圖 18、VAT 所處產業鏈及服務市場和客戶所

32、處產業鏈及服務市場和客戶 資料來源：VAT 投資者關系資料，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -12-行業深度研究報告行業深度研究報告 圖圖 19、2022 年年 VAT 收入業務結構收入業務結構 圖圖 20、2022 年年 VAT 收入地區結構收入地區結構 數據來源：VAT 財報，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：VAT 財報，興業證券經濟與金融研究院整理 VAT 公司擁有全面的隔離閥、控制閥、傳輸閥、快速關閉閥等產品組合，可為各種應用領域提供最佳解決方案，其真空閘閥、角閥、蝶閥、擺閥等產品為各領域的真空閥解決方

33、案設定了標準。公司在隔離閥、控制閥、傳輸閥都有較高的行業地位，尤其是控制閥和傳輸閥領域占據行業領先份額。2、流體系統流體系統閥閥門門：流體系統核心元件，美廠占據重要地位流體系統核心元件，美廠占據重要地位 2 2.1.1、半導體工藝設備供氣和氣路系統中廣泛應用的關鍵元件半導體工藝設備供氣和氣路系統中廣泛應用的關鍵元件 除在真空系統中大量應用外，閥門同樣是半導體行業高純流體系統中核心的系統元件，主要起著流體的開關截止、流體的流量調節、流體的流向改變等三大作用。在半導體制造工藝設備內部的氣體管路系統中和半導體工藝設備的供氣系統中，均需要大量的高純閥門參與控制。其中，供氣系統指的是電子氣體由氣源送往工

34、藝設備端的系統，具體來看，電子氣體先由氣柜（Gas Cabinets）出來經過分配，然后通過多功能閥箱/閥盤（Valve Manifold Boxes/Panels）及二次配閥盤（Hookup），通往工藝設備端，在這個過程中的幾個主要環節基本都需要用到閥門產品。圖圖 21、典型典型 IC 制造廠的氣體分配系統制造廠的氣體分配系統 圖圖 22、Fab 廠廠特氣系統輸送路徑特氣系統輸送路徑 數據來源：Swagelok公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：Swagelok公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -1

35、3-行業深度研究報告行業深度研究報告 在這里面，氣柜（Gas Cabinets）為特氣源提供壓力控制和流量監測、并具備更換氣瓶能力，多功能閥箱則是將特氣分配到不同工藝設備的裝置，均需用到隔膜閥、單向閥、調壓閥等閥門。此外，Fab 廠中的大宗氣體系統（Bulk Gas）、二次配閥盤/盒等也均用到閥門。圖圖 23、Gas Cabinets 圖示圖示 圖圖 24、多功能閥箱圖示多功能閥箱圖示 數據來源：Swagelok公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：Swagelok公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 而氣體經過閥箱/閥盤后，則通過工藝設備端內的氣路系統通入工藝腔內，然后參與各種晶圓

36、工藝反應。具體來看，半導體工藝設備內部的氣路系統主要由 Gas Box、Gas Box 至反應腔的氣路，以及最終進入反應腔之前的閥門構成，這一氣路系統內同樣會用到高純閥門產品。在這里面，Gas Box 作為半導體設備內的核心組成部分之一，其功能是將各路工藝氣體集成在一個空間環境內，并按工藝需求對不同氣體進行傳輸、分配和混合，對個別關鍵工藝氣體進行精確的流量控制，根據工藝不同步驟的設定實現對工藝氣體進行開關控制等功能。因此，Gas Box 的功能決定了其內部集成了閥門，包括隔膜閥、單向閥等。圖圖 25、Gas Box 圖示圖示 資料來源：Swagelok 公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 請

37、務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -14-行業深度研究報告行業深度研究報告 具體產品來看，流體系統中常用的閥門主要有：隔膜閥隔膜閥，是用橡膠、PTFE 等軟質材料制成的隔膜作為啟閉件，把閥體內腔和閥蓋內腔隔開的閥門，通過操作機構控制隔膜的移動便可以達到隔絕和調節作用。隔膜閥的優點在于，閥蓋、閥桿等零件與介質通路隔開，因此零件不會受到介質侵蝕和沖擊，且不會發生介質內漏；同時，隔膜閥結構簡單，易于維修和更換；且隔膜和閥體均可以采用不同材料，能理想控制多種工作介質，尤其適合帶化學腐蝕性或懸浮顆粒的介質。圖圖 26、隔膜閥產品圖隔膜閥產品圖示示 圖圖 27、隔

38、膜閥工作原理隔膜閥工作原理 數據來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：泵閥商務網，興業證券經濟與金融研究院整理 調壓閥調壓閥（Regulators）可以把從鋼瓶等來源排出的氣體或液體的壓力降低到設備所需的較低值。調壓閥有一個傳感元件（如活塞或隔膜），一側承受由彈簧或氣壓施加的力，另一側承受流體系統承受的力。其中，減壓調壓閥通過轉動閥桿/手柄，對可調彈簧進行調整來設定所需的出口壓力；背壓調壓閥則可設定所需的進口壓力。圖圖 28、調壓閥調壓閥產品圖示產品圖示 圖圖 29、調壓閥工作原理調壓閥工作原理 數據來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：S

39、wagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -15-行業深度研究報告行業深度研究報告 單向閥單向閥，也稱止回閥，是一種使流體保持恒定方向流動并防止反向流動的閥門。流體正向流動時，單向閥的閥瓣被流體壓力推開，但反向流動時閥瓣在背壓的作用下與閥座緊密接觸以防止回流。圖圖 30、單向單向閥產品圖示閥產品圖示 圖圖 31、部分單向部分單向閥內部結構圖閥內部結構圖 數據來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 波紋管閥波紋管閥，是以波紋管

40、作為閥桿密封元件的閥門，波紋管和閥桿焊在一起，隨閥桿而帶動閥頭升降，起到啟閉作用。采用波紋管密封結構后，可以將介質和大氣隔離開來，因此有著極佳的密封性，可避免介質從閥桿處泄露。雖然，隨著晶體管的不斷微縮，制造過程中避免受到污染顯得至關重要，流體系統元件逐漸從波紋管閥向結構更簡單、活動部件更少、零件與介質隔開的隔膜閥發展，但波紋管閥憑借絕佳的密封性也仍有用武之地。圖圖 32、波紋管閥產品圖示波紋管閥產品圖示 圖圖 33、波紋管閥內部結構圖波紋管閥內部結構圖 數據來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正

41、文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -16-行業深度研究報告行業深度研究報告 2 2.2 2、流體系統閥門要求更顯嚴苛，美國廠商占據重要地位流體系統閥門要求更顯嚴苛，美國廠商占據重要地位 流體系統對閥門有著極為嚴苛的要求，包括潔凈度要求高、材質純度要求高、應對腐蝕和快速吹掃無殘留要求高、流體控制精度要求高等。比如，由于半導體工藝設備需要大量工藝氣體參與反應，其中氯化氫、三氯化硼、溴化氫等均具有強腐蝕性，管路和閥門很容易腐蝕并進而導致泄露等情況，因此對材料的選擇和其表面電化學的處理都有嚴格要求。表表 6、氣氣體系統元件需滿足的要求體系統元件需滿足的要求 要求要求 具

42、體介紹具體介紹 材料選擇 往往須采用超高純 VIM/VAR 精煉處理的不銹鋼材料，它的雜質成份碳、硫、錳需嚴格控制。材料要求 需滿足內部濕度分析控制、總有機碳（TOC）分析控制，離子污染成分控制等相關 ASTM/Semi 行業標準。內表面處理 需要使用電拋光和鈍化處理以獲得良好的抗腐蝕性和快速吹掃能力。資料來源：Swagelok 公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 再比如，Gas Box 作為氣路系統的核心部件之一，內部包含各種介質的控制氣路，其內工藝氣體的響應時間、流量控制對工藝都起到至關重要的作用，因此內部需要可靠穩定的流體系統元件，高純閥門需要滿足體積緊湊、滿足 SEMI 標準的泄露率

43、和潔凈度要求等，部分應用下還需要能耐環境高溫。且，制程演進帶來的變化是需要使用更多新材料、特殊氣體，對 Gas Box 提出了小型化（尺寸不變情況下具備更多氣路）、靈活性（氣體管路進出口位置有更多選擇）的要求，這其中也離不開對閥門的更高要求。圖圖 34、Swagelok 的嵌入式閥組系統設計可使的嵌入式閥組系統設計可使 Gas Box 更小型化更小型化 資料來源：Swagelok 公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -17-行業深度研究報告行業深度研究報告 再比如，ALD（Atomic Layer Depositi

44、on，原子層沉積）作為當下及未來制程節點微縮及復雜器件幾何形狀上沉積薄層材料的關鍵技術，對流體系統元件也提出了新的挑戰。部分龍頭廠商如 Swagelok 甚至專門推出了 ALD 閥門系列，以應對ALD 對壽命、耐高溫等方面的要求。且隨著越來越多的 High k 材料的引入，ALD 工藝需要系統更低的壓力，更高的溫度，未來需要更大的流量（例如閥門 CV要求普遍在目前流量的 2-3倍），也會需要高純特殊合金材料來應用于閥體。表表 7、ALD 對流體系統閥門提出的挑戰對流體系統閥門提出的挑戰 要求要求 具體介紹具體介紹 超長的使用壽命 由于 ALD 工藝需要幾十到幾百個脈沖來實現薄膜沉積，所以普通隔

45、膜閥幾百萬次開關的壽命無法滿足使用要求，需高頻次更換，只有滿足幾千萬次或者上億次開關的隔膜閥使用壽命才能滿足 ALD 工藝要求。高溫介質 ALD 工藝的前驅體介質需要加熱到一定程度才能達到一定工藝所需壓力，所以閥門耐高溫也是特性之一；部分工況需要 ALD 閥門整體沉浸在高溫環境（200 度以上）中保證溫度均勻實現工藝穩定，包括閥門本體，氣動頭，位置感應器均需要耐高溫?？焖夙憫?，反復制動 ALD 工藝相比 CVD 和 PVD 反應的時間會比較長，在大規模量產中設備的 throughput（生產速度）是一個重要指標，且工藝循環次數多，單次開關要求快速，精準，對每次閥門的響應速度，短時間反復制動有著

46、極高的要求。流量的一致性 ALD 工藝中的每一層膜都非常薄，對不同批次閥門流量一致性提出非常高的挑戰，需要更小的（比如3%）的閥與閥之間的流量偏差度才能適用；完成 ALD 工藝薄膜需要多路前驅體，且經過精確控制其流量，所以對單個閥門的不同時段的流量的一致性要求也非常高。資料來源：Swagelok 公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 細分市場規模方面，據 LP information 統計，2022 年全球半導體閥門（含真空閥，但不含調壓閥 regulators）市場規模約 20.9 億美元，其中隔膜閥市場占比較大，規模約 5.2億美元，而如前所述各類真空閥市場規模約 10億美元，其余則為單向

47、閥等產品。若在加上流體系統中應用較多的調壓閥的市場，則全球半導體閥（含調壓閥）會比 20.9億美元要再高出不少。而在行業的主要參與者方面，除了 VAT、MKS 等廠商在真空閥市占率較高外，Swagelok（美國）、Fujikin（日本）、Parker Hannifin（美國）等廠商在流體系統中的隔膜閥、調壓閥等產品有著較高的市場地位。請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -18-行業深度研究報告行業深度研究報告 2 2.3 3、全球龍頭廠商梳理、全球龍頭廠商梳理 2 2.3 3.1.1、S Swagelokwagelok 美國 Swagelok（世偉洛克

48、）公司成立于 1947 年，目前是一家年銷售額約 20億美元的私營企業，致力于為油氣、化工、半導體、清潔能源等各個行業提供流體系統產品、組裝和服務。公司提供閥門、調壓閥、接頭、軟管、卡套管及卡套管附件、壓力表和其他測量裝置、過濾器、焊接系統、檢漏液、潤滑劑、密封劑、快速接頭、機械密封支持系統、取樣系統、分析子系統以及微型模塊化系統等產品。圖圖 35、Swagelok 提供產品圖示提供產品圖示 資料來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 針對半導體行業，Swagelok可提供閥門、調壓閥、接頭、軟管和柔性卡套管、過濾器、焊接系統、彎管器等產品和服務。尤其是在半導體制造所需的超

49、高純（UHP）閥門方面，Swagelok具備多種型號的隔膜閥、波紋管密封閥、單向閥、調壓閥、ALD 閥等產品，為半導體流體系統提供全面高質量的解決方案，是半導體流體系統閥門的全球領先供應商之一。圖圖 36、Swagelok 面向半導體行業的產品面向半導體行業的產品 資料來源：Swagelok 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -19-行業深度研究報告行業深度研究報告 2 2.3.23.2、F Fujikinujikin 日本 Fujikin（富士金）公司成立于 1930 年，在以閥門為核心的超精密流體控制系統方面處

50、于行業領先地位，涵蓋半導體、太空開發、氫能利用、制藥和食品、鋰電池等多個領域。公司截至 2022年 3月 31日的財年收入約為 1707億日元（約合人民幣 80+億元）。圖圖 37、Fujikin 產品產品 資料來源：Fujikin 官網，興業證券經濟與金融研究院整理 在半導體領域，Fujikin可提供的產品主要包括：閥門產品，如隔膜閥、單向閥、波紋管閥等各種閥門；接頭產品；流體系統，包括 IGS（Integrated Gas System，集成氣體系統）、FCS（Flow Control System，流量控制系統）等。圖圖 38、Fujikin 產品產品 資料來源：Fujikin 官網，興

51、業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -20-行業深度研究報告行業深度研究報告 3、國產替代緊迫性凸顯，優質廠商有望突破放量、國產替代緊迫性凸顯，優質廠商有望突破放量 3 3.1 1、國產設備廠商成長空間巨大，、國產設備廠商成長空間巨大，零部件國產替代正當時零部件國產替代正當時 存儲廠短期擴產部分受限，中長期產能提升空間巨大存儲廠短期擴產部分受限，中長期產能提升空間巨大。美國在 2022 年 10 月公布了對我國半導體產業的進一步制裁，其中重點新增限制了存儲先進制程的制造能力。長江存儲和長鑫存儲是國內在存儲芯片 3D NAND

52、、DRAM 領域各自的代表廠商，經過多年的技術積累后，長江存儲已經實現 232L 3D NAND 工藝的量產，長鑫存儲已經實現 19nm DRAM工藝的量產，其中，尤其主要是長江存儲在被限制后短期擴產確實受到一定影響。但國內存儲廠商產能在全球占比依然極小，和國內市場需求嚴重不匹配，中長期來看產能提升空間十分巨大。邏輯先進制程擴產受限，成熟制程擴產確定性依然較強邏輯先進制程擴產受限，成熟制程擴產確定性依然較強。中芯國際自 2020 年被美國加入實體清單后，戰略方向逐漸向成熟制程擴產傾斜，本次限制節點對其并無進一步影響。中芯國際 2021 年以來先后發布公告將分別在北京、深圳、上海、天津加大投資進

53、行成熟制程擴產，且 2022 年業績說明會上重申了擴產的意志和決心，對 2023 年資本開支也給出了和 2022 年高基數相當的指引，因此預計中芯國際未來 2-3 年擴產節奏和資本開支依然會較為樂觀。圖圖 39、中芯國際擴產及資本開支整理及預測、中芯國際擴產及資本開支整理及預測 資料來源：中芯國際公告，興業證券經濟與金融研究院整理 自主可控持續推進，國產化比例有望快速提升自主可控持續推進，國產化比例有望快速提升。美國不斷加深對國內半導體產業的限制，并拉攏日本和荷蘭也跟進限制，但從目前限制的實際范圍和力度來看不必過于悲觀。以尤為關鍵的光刻機環節為例，據ASML官網公布，在具體細則出臺之前，公司自

54、己將會受到出口管制的“最先進工具”定義為 TWINSCAN NXT：2000i及之后的浸沒式光刻機，而不被限制的 1980 Di已經可以滿足邏輯成熟制程和 3D NAND 先進制程需求。而且，限制的不斷加深進一步凸顯了自主可控的重要性和緊迫性，國內晶圓廠存儲廠近年在擴產過程中正逐漸提升產線中設備的國產化比例，預計未來會進一步較快提升。因此，國產設備廠商國產化空間依然較大，在國產化加速下仍有望保持較快增長。請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -21-行業深度研究報告行業深度研究報告 2021年全球千億美元的半導體設備市場中，中國大陸地區市場規模約為 29

55、6億美元，但其中有較多來自于外資企業。我們預計，隨著大陸本土晶圓廠持續快速擴產，以及外資晶圓廠由于各種因素導致在大陸擴產投資趨于萎縮，中長期來看大陸地區的設備市場規模將主要由本土晶圓廠采購形成，且自主可控大勢所趨下設備整體國產化率有望達到顯著較高級別，對應設備國產化空間巨大。圖圖 40、全球半導體設備市場規模地區結構全球半導體設備市場規模地區結構 資料來源：SEMI、Wind，興業證券經濟與金融研究院整理 更為重要的是，國內設備廠商在快速成長的同時，也在積極尋求上游供應鏈的自主可控，零部件國產替代浪潮已然掀起。目前半導體零部件供應格局以海外廠商為主，國內自給率較低，既因產業壁壘高、市場碎片化，

56、也因為國內下游半導體設備產業不發達，國內零部件廠商缺乏技術基礎、發展性價比不高。圖圖 41、2020 年半導體零部件供應商及自給率年半導體零部件供應商及自給率 資料來源：芯謀研究，興業證券經濟與金融研究院整理 3 3.2 2、半導體閥門國產半導體閥門國產替代方興未艾替代方興未艾，尤其流體閥門，尤其流體閥門國產化空間極大國產化空間極大 當前趨勢下美國不斷加大對我國半導體產業的限制，尤其是半導體設備進口受到 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -22-行業深度研究報告行業深度研究報告 明顯影響，而作為半導體設備上游的零部件環節，其供應穩定性也在逐漸面臨越來

57、越大的風險，因此設備廠商對于零部件自主可控的緊迫性也愈發凸顯。而從當前的國產化情況來看，目前國內晶圓廠產線中半導體閥門的采購仍較大程度上依賴于海外廠商。具體來看，真空閥市場主要由瑞士VAT主導，流體閥主要由美國 Swagelok、美國 Parker Hannifin、日本 Fujikin等廠商主導，相對來說流體閥要求更為嚴苛、且美廠主導格局下國產替代緊迫性尤為明顯。而國內已有廠商具備良好國產替代基礎，如新萊應材已在閘閥等多種真空閥產品對國內主流客戶實現國產化供應，在隔膜閥等氣體閥也已實現銷售突破并迎來快速放量。表表 8、半導體閥的國內外供應商梳理半導體閥的國內外供應商梳理 半導體閥門半導體閥門

58、 具體閥門類別具體閥門類別 全球龍頭廠商全球龍頭廠商 國內廠商國內廠商 真空閥 隔離閥（閘閥、角閥、蝶閥、球閥、擺閥等）VAT（瑞士）、MKS（美國）、V TEX（日本）等 新萊應材、九天真空等 控制閥（擺閥、蝶閥、角閥、球閥等）傳輸閥 流體閥 隔膜閥 Swagelok（美國）、Parker Hannifin（美國）、Fujikin（日本）等 新萊應材、晶盛機電等 調壓閥 單向閥 波紋管閥 資料來源：各公司官網，興業證券經濟與金融研究院整理 3 3.3 3、優質國產廠商梳理、優質國產廠商梳理 3 3.3 3.1.1、新萊應材新萊應材 新萊應材于 1991 年成立于中國臺灣，于 2000年總部遷

59、至昆山，2011 年深交所上市。公司最初主營業務為應用于食品、生物醫藥、泛半導體領域的潔凈應用材料和高純及超高純應用材料業務，其后通過外延并購方式拓展了應用于食品飲料領域的無菌包材及灌裝機業務。圖圖 42、新萊應材發展歷程新萊應材發展歷程 資料來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -23-行業深度研究報告行業深度研究報告 公司業務按下游可以劃分為三個主要領域：泛半導體領域，產品為高純及超高純應用材料，主要包括真空系統（高/超高真空的法蘭、管件、閥、腔體等）和氣體系統（超高純管道管件、閥等）；生物醫藥領域，

60、產品包含管路系統、無菌閥門、無菌泵、管式換熱器、過濾器等；食品安全領域，產品分為無菌包材、無菌紙盒灌裝機、潔凈材料（如管路系統、衛生級閥門、衛生級泵）等。圖圖 43、新萊應材產品圖示新萊應材產品圖示 圖圖 44、新萊應材主要下游新萊應材主要下游 數據來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新萊應材官網，興業證券經濟與金融研究院整理 目前公司下游應用中食品類占比最高，2022H1高達50.5%，其中無菌包材和食品設備分別占 38.7%和 6.3%，其余產品則主要為潔凈應用材料；而醫藥類（產品主要為潔凈應用材料）占比 23.6%；泛半導體業務（產品為高純及超高純應用材料）占比

61、25.9%。圖圖 45、新萊應材新萊應材產品結構產品結構 圖圖 46、新萊應材新萊應材下游結構下游結構 數據來源：新萊應材年報，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：新萊應材年報，興業證券經濟與金融研究院整理 新萊應材在半導體領域的業務主要包括真空產品（真空法蘭、管件、閥、腔體等）和氣體產品（管道管件、接頭、閥等），具體來看：公司真空系列真空系列的品牌名為“AdvanTorr”，產品主要包括高真空和超高真空的法蘭、管件、鋼瓶、傳輸閥、鋁合金閘閥、閘閥、角閥、腔體、加熱帶、視窗、無氧銅墊片等。公司產品選用優質不銹鋼材料，可用于半導體、顯示、LED、薄膜太陽能電池、氫能源、鋰電、科研機構等領域，

62、主要應用于薄膜技術（蒸發、濺射、請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -24-行業深度研究報告行業深度研究報告 PECVD、MOCVD、ALD等），并覆蓋表面分析技術和離子注入系統。圖圖 47、新萊應材真空產品新萊應材真空產品 資料來源：公司官網，興業證券經濟與金融研究院整理 而在氣體氣體產品產品，公司“NanoPure”品牌產品主要包括超高純管道管件、面密封接頭（VCR）、微型管道、卡套接頭、減壓閥、超高純隔膜閥、卸荷閥、微粒過濾器、止回閥、針閥、球閥等，并在積極拓展新產品。圖圖 48、新萊應材新萊應材 UHP 超高潔凈產品圖示超高潔凈產品圖示 資料來

63、源：公司官網，興業證券經濟與金融研究院整理 半導體真空系統和氣體系統均是國產化率較低、競爭格局較好的細分行業，新萊應材作為國內在兩個行業都處于領先地位的優質廠商，在行業有著多年的積累和經驗，產品品類齊全，客戶方面更是和 AMAT、Lam Research、北方華創等海內外設備龍頭以及長江存儲、長鑫存儲等海內外知名 fab 廠都有多年的良好合作關系。公司在真空閥領域已實現較好的國產替代基礎，而對部分氣體閥等產品的供應屬國內稀缺，預計將是細分領域國產替代的排頭兵，未來成長空間巨大。此外，新萊應材還積極拓展開發新產品，在真空系統方面開拓真空泵產品，在氣體系統方面開發 MFC、過濾器等產品，完善公司業

64、務布局，可為下游客戶提供更為全面完整的服務，有望增強公司競爭力，并進一步打開公司成長天花板，成 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -25-行業深度研究報告行業深度研究報告 為公司未來新的增長驅動點。3 3.3.23.2、晶盛機電晶盛機電 晶盛機電主營業務產品為應用于光伏和半導體集成電路產業上游晶體生長及加工設備，并基于多年來對硬脆晶體材料生長及加工技術和工藝的理解，延伸布局至藍寶石材料、碳化硅材料以及相關產業鏈核心的輔材耗材，如石英坩堝、金剛線、精密零部件等領域。公司業務涉及半導體、光伏設備領域以及半導體材料細分領域的藍寶石材料和碳化硅材料等。精密零

65、部件領域，晶盛機電建立了以半導體閥門、管件、磁流體等精密零部件產品體系，以配套半導體和光伏設備所需關鍵零部件及需求，保障供應鏈的穩定和安全。其中在閥門產品方面，晶盛機電子公司與日本 Primet 合作，于 2022 年 4月實現首批隔膜閥產品的認證通過及量產，客戶包括中芯集成、七星流量計、AMAT、TEL 等。圖圖 49、晶盛機電主營業務布局晶盛機電主營業務布局 圖圖 50、晶盛機電精密零部件業務晶盛機電精密零部件業務 數據來源：晶盛機電年報，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：晶盛機電年報，興業證券經濟與金融研究院整理 3 3.3.33.3、九天真空、九天真空 九天真空成立于 2002

66、年，是國家高新技術企業，中國真空行業重點企業。公司主要業務以真空閥、薄膜規、真空部件、真空系統集成為主的四大核心業務，自主研發真空系列產品數千余種，是國內產品線齊全的真空技術企業。九天真空的產品廣泛應用于科研院所、半導體、電子通訊、新材料、新能源、人工智能、生物醫療等各國家戰略性支柱行業，累計服務客戶上萬家。九天真空承擔了科技部、工信部、發改委重大扶持項目 5 個，承擔國家集成電路02重大專項 3個，其中包括“高真空變通導擺動插板閥”等項目。在真空閥產品 請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -26-行業深度研究報告行業深度研究報告 方面，九天真空可提供

67、插板閥（閘閥）、翻板閥（蝶閥）、調節閥、擋板閥（角閥）、充氣閥等產品。圖圖 51、九天真空發展歷程九天真空發展歷程 資料來源：公司官網，興業證券經濟與金融研究院整理 圖圖 52、九天真空核心業務九天真空核心業務 圖圖 53、九天真空真空閥產品九天真空真空閥產品 數據來源：九天真空公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 數據來源：九天真空公眾號，興業證券經濟與金融研究院整理 4、投資建議投資建議 半導體閥門作為真空系統和流體系統中的核心零部件之一，全球市場空間巨大，且主要是海外廠商主導，尤其是流體系統閥門市場中美國廠商地位突出，當前環境下面臨著國產替代的良好機遇。部分優質國產廠商突破良好，推薦新萊

68、應材，請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -27-行業深度研究報告行業深度研究報告 真空閥在主流客戶實現良好替代，氣體閥實現國產替代突破、迎來快速放量。建議關注晶盛機電（興證機械組覆蓋）、九天真空（未上市）等優質公司。表表 9、板塊板塊公司估值公司估值 股票代碼股票代碼 證券簡稱證券簡稱 收盤價收盤價（元）（元）總市值總市值（億元）（億元）歸母凈利潤（億元）歸母凈利潤（億元）PE 2022A 2023E 2024E 2025E 2022A 2023E 2024E 2025E 300260.SZ 新萊應材 67.81 153.6 3.45 4.48 6.

69、33 7.81 44.6 34.3 24.3 19.7 300316.SZ 晶盛機電 67.02 877.1 29.24 43.94 54.85 66.39 30.0 20.0 16.0 13.2 資料來源：Wind，興業證券經濟與金融研究院整理 注：盈利預測均引用 Wind 一致預期；收盤價日期為 2023/05/05。5、風險提示、風險提示 中美貿易摩擦加劇中美貿易摩擦加?。喝裘绹捌渌麌疫M一步限制國內半導體產業鏈，則下游晶圓廠擴產及設備廠訂單可能會受到不利影響。下游擴產及資本開支不及預期：下游擴產及資本開支不及預期：若國內晶圓廠快速擴產下，供求關系迅速平衡甚至逆轉，中長期擴產及資本開支

70、不及預期，則設備及零部件長期市場空間可能小于預期。細分行業競爭加?。杭毞中袠I競爭加?。喝粑磥頂导覐S商都在細分領域實現不錯突破，相關廠商可能存在份額低于預期的風險。請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明請務必閱讀正文之后的信息披露和重要聲明 -28-行業深度研究報告行業深度研究報告 分析師聲明分析師聲明 本人具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格并登記為證券分析師，以勤勉的職業態度，獨立、客觀地出具本報告。本報告清晰準確地反映了本人的研究觀點。本人不曾因，不因，也將不會因本報告中的具體推薦意見或觀點而直接或間接收到任何形式的補償。投資評級說明投資評級說明 投資建議的評級標準投資建議的評級標

71、準 類別類別 評級評級 說明說明 報告中投資建議所涉及的評級分為股票評級和行業評級（另有說明的除外）。評級標準為報告發布日后的12個月內公司股價（或行業指數）相對同期相關證券市場代表性指數的漲跌幅。其中：A股市場以滬深300指數為基準；新三板市場以三板成指為基準；香港市場以恒生指數為基準；美國市場以標普500或納斯達克綜合指數為基準。股票評級 買入 相對同期相關證券市場代表性指數漲幅大于15%增持 相對同期相關證券市場代表性指數漲幅在5%15%之間 中性 相對同期相關證券市場代表性指數漲幅在-5%5%之間 減持 相對同期相關證券市場代表性指數漲幅小于-5%無評級 由于我們無法獲取必要的資料，或

72、者公司面臨無法預見結果的重大不確定性事件，或者其他原因，致使我們無法給出明確的投資評級 行業評級 推薦 相對表現優于同期相關證券市場代表性指數 中性 相對表現與同期相關證券市場代表性指數持平 回避 相對表現弱于同期相關證券市場代表性指數 信息披露信息披露 本公司在知曉的范圍內履行信息披露義務?？蛻艨傻卿?內幕交易防控欄內查詢靜默期安排和關聯公司持股情況。使用本研究報告的風險提示及法律聲明使用本研究報告的風險提示及法律聲明 興業證券股份有限公司經中國證券監督管理委員會批準，已具備證券投資咨詢業務資格。，本公司不會因接收人收到本報告而視其為客戶。本報告中的信息、意見等均僅供客戶參考，不構成所述證券

73、買賣的出價或征價邀請或要約，投資者自主作出投資決策并自行承擔投資風險，任何形式的分享證券投資收益或者分擔證券投資損失的書面或口頭承諾均為無效，任何有關本報告的摘要或節選都不代表本報告正式完整的觀點，一切須以本公司向客戶發布的本報告完整版本為準。該等信息、意見并未考慮到獲取本報告人員的具體投資目的、財務狀況以及特定需求，在任何時候均不構成對任何人的個人推薦?？蛻魬攲Ρ緢蟾嬷械男畔⒑鸵庖娺M行獨立評估，并應同時考量各自的投資目的、財務狀況和特定需求，必要時就法律、商業、財務、稅收等方面咨詢專家的意見。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，本公司及/或其關聯人員均不承擔任何法律責任。本報告所載資料的

74、來源被認為是可靠的，但本公司不保證其準確性或完整性，也不保證所包含的信息和建議不會發生任何變更。本公司并不對使用本報告所包含的材料產生的任何直接或間接損失或與此相關的其他任何損失承擔任何責任。本報告所載的資料、意見及推測僅反映本公司于發布本報告當日的判斷，本報告所指的證券或投資標的的價格、價值及投資收入可升可跌，過往表現不應作為日后的表現依據；在不同時期，本公司可發出與本報告所載資料、意見及推測不一致的報告；本公司不保證本報告所含信息保持在最新狀態。同時，本公司對本報告所含信息可在不發出通知的情形下做出修改，投資者應當自行關注相應的更新或修改。除非另行說明，本報告中所引用的關于業績的數據代表過

75、往表現。過往的業績表現亦不應作為日后回報的預示。我們不承諾也不保證，任何所預示的回報會得以實現。分析中所做的回報預測可能是基于相應的假設。任何假設的變化可能會顯著地影響所預測的回報。本公司的銷售人員、交易人員以及其他專業人士可能會依據不同假設和標準、采用不同的分析方法而口頭或書面發表與本報告意見及建議不一致的市場評論和/或交易觀點。本公司沒有將此意見及建議向報告所有接收者進行更新的義務。本公司的資產管理部門、自營部門以及其他投資業務部門可能獨立做出與本報告中的意見或建議不一致的投資決策。本報告并非針對或意圖發送予或為任何就發送、發布、可得到或使用此報告而使興業證券股份有限公司及其關聯子公司等違

76、反當地的法律或法規或可致使興業證券股份有限公司受制于相關法律或法規的任何地區、國家或其他管轄區域的公民或居民，包括但不限于美國及美國公民（1934 年美國證券交易所第 15a-6 條例定義為本主要美國機構投資者除外）。本報告的版權歸本公司所有。本公司對本報告保留一切權利。除非另有書面顯示，否則本報告中的所有材料的版權均屬本公司。未經本公司事先書面授權，本報告的任何部分均不得以任何方式制作任何形式的拷貝、復印件或復制品，或再次分發給任何其他人，或以任何侵犯本公司版權的其他方式使用。未經授權的轉載，本公司不承擔任何轉載責任。特別聲明特別聲明 在法律許可的情況下，興業證券股份有限公司可能會持有本報告中提及公司所發行的證券頭寸并進行交易，也可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行業務服務。因此，投資者應當考慮到興業證券股份有限公司及/或其相關人員可能存在影響本報告觀點客觀性的潛在利益沖突。投資者請勿將本報告視為投資或其他決定的唯一信賴依據。興業證券研究興業證券研究 上上 海海 北北 京京 深深 圳圳 地址：上海浦東新區長柳路36號興業證券大廈15層 郵編：200135 郵箱： 地址：北京市朝陽區建國門大街甲6號SK大廈32層01-08單元 郵編：100020 郵箱： 地址：深圳市福田區皇崗路5001號深業上城T2座52樓 郵編：518035 郵箱：