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1、1證券研究報告作者：行業評級：上次評級：行業報告|請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明專用設備專用設備強于大市強于大市維持2024年03月04日（評級）分析師 朱曄SAC執業證書編號：S1110522080001分析師 張鈺瑩 SAC執業證書編號：S1110523080002半導體射頻電源專題：激蕩頻波，馭勢而行！半導體射頻電源專題：激蕩頻波，馭勢而行！行業專題研究摘要2請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明射頻電源：高技術壁壘核心零部件射頻電源：高技術壁壘核心零部件射頻電源是可以產生300KHz-300MHz頻率的高頻交流電源，雖然射頻的頻段很寬，但半導體設備用的射頻電源工作頻率一般處于

2、2MHz 至 60MHz 之間。核心技術難點在于參數穩定性、控制精度與阻抗匹配。隨著技術的不斷發展，市場將逐漸向高頻、高功率、小型化和能效方向發展。射頻電源應用：射頻電源應用：1）半導體：刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等。2）光伏：PECVD、RPD等。3）面板：TFT陣列、CELL成盒制作等。半導體射頻電源市場：國外頭部企業壟斷半導體射頻電源市場：國外頭部企業壟斷、市場集中度較高市場集中度較高2022年全球半導體射頻電源市場銷售額達到了7.26億美元，預計2029年將達到14.57億美元，年復合增長率（CAGR）為11.18%（2023-2029）。中國市場（含中國臺灣地區）2022年市

3、場規模為96.6百萬美元，約占全球的13.31%。2022年，全球第一梯隊廠商主要有萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社，占有大約52.95%的市場份額。海外半導體射頻電源公司如何發展：海外半導體射頻電源公司如何發展：MKS：向半導體行業提供環形等離子體源的領導者，面向FinFET開發自適應脈沖技術，以一致的脈沖提供射頻功率。AE：擁有更穩定的eVerest系列射頻等離子體發生器、更快更準的Navigator II系列射頻匹配網絡，專有算法PowerInsight應對匹配網絡生命周期的不確定性。深耕全射頻傳輸系統，為多種工藝提供不同產品匹配方案。DAIHEN：1986年開始生產半

4、導體制造設備用的射頻發生器，使用內部等離子體評估室進行技術開發（如脈沖輸出和頻率調諧）、產品性能評估以及功能改進。相關標的：相關標的：英杰電氣、愛科賽博、北方華創等。風險提示風險提示：技術與產品研發風險、市場開拓風險、需求波動風險等。文中所提愛科賽博業績預告數據僅為初步核算數據，準確的財務數據以公司正式披露的年報為準。VY2VZZAYPYEYUW6M8Q9PsQqQoMsOkPoOnOfQpPqO7NqRnNNZnOnQNZqRvM射頻電源：射頻電源：高技術壁壘核心零部件高技術壁壘核心零部件13請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 電源：電源：給電氣或電子設備提供電力的裝置，主要作用是將電網

5、、發電機、電池等發出的一次電能轉換為可供用電設備使用的二次電能。電源按輸出類型可分為直流電源和交流電源，而交流電源按照頻率大小可以分為中頻電源、射頻電源、微波電源。射頻電源：射頻電源：可以產生300KHz-300MHz頻率的高頻交流電源，雖然射頻的頻段很寬，但半導體設備用的射頻電源工作頻率一般處于 2MHz 至 60MHz 之間。射頻電源應用領域射頻電源應用領域：射頻電源主要用于PECVD、HDPCVD、PEALD、干法刻蝕、去膠、PVD、干法清洗等設備中，起到激發等離子體、選擇刻蝕方向等作用。LED與太陽能光伏行業、科學研究、射頻感應加熱、醫療美容及常壓等離子體消毒清洗等領域也有應用。資料來

6、源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，中科英智公眾號，天風證券研究所41 1.1.1 射頻電源（射頻電源（RFRF PowerPower SupplySupply）：高技術壁壘核心零部件：高技術壁壘核心零部件圖：射頻電源應用場景圖：射頻電源應用場景 射頻電源分類：射頻電源分類：根據采用的功率放大器類型不同，可分為電子管射頻電源與晶體管射頻電源電子管射頻電源與晶體管射頻電源（又稱為全固態射頻電源又稱為全固態射頻電源）。電子管射頻電源：電子管射頻電源：電子管本身存在很多問題，包括體積大，在某些精密領域限制了應用；壽命不足晶體管射頻電源的一半；制造工藝復雜。因此隨著晶體管的發展，電子管逐漸被淘汰。晶體

7、晶體管射頻電源管射頻電源：與電子管相比，晶體管射頻電源的體積要小很多，同時它的損耗低、壽命長、產生很少的熱量。資料來源：射頻電源研究綜述_馬梅彥，壹芯微科技官網，中國科學院半導體研究所公眾號，天風證券研究所51 1.1.1 射頻電源（射頻電源（RFRF PowerPower SupplySupply）：高技術壁壘核心零部件：高技術壁壘核心零部件表表：電子管射頻電源與晶體管射頻電源對比：電子管射頻電源與晶體管射頻電源對比指標指標電子管射頻電源電子管射頻電源晶體管射頻電源晶體管射頻電源穩定性強差輸出功率大小壽命壽命低：1000-2000h壽命高：大于5000h轉換效率低大于80%反射功率能承受較大

8、反射功率對反射功率較敏感體積體積較大不利于小型化體積較小利于小型化熱量多少圖：電子管結構示意圖圖：電子管結構示意圖圖：晶體管結構示意圖圖：晶體管結構示意圖 射頻信號源：射頻信號源：射頻信號源主要作用是提供射頻信號基礎頻率。放大模塊：放大模塊：信號放大模塊通過功率放大管對基礎信號進行逐級放大。每一級信號放大后，信號源產生的正弦波容易出現移相的情況，射頻信號會互相抵消，需要進行信號耦合調整（調相、調頻），調相、調頻主要依靠耦合器件來完成。匹配器：匹配器：當射頻電源的阻抗與負載的阻抗不一致時，射頻電源發出的射頻信號會被負載所反射，會對射頻電源造成傷害，并降低射頻電源的輸出效率。阻抗匹配器主要起到阻抗

9、匹配的作用，減少被反射的射頻信號。開關電源：開關電源：開關電源主要起到將交流電整流為直流電的作用，為各模塊供電?？刂颇K：控制模塊：控制模塊會不間斷對控制點的信號進行采樣、檢測和反饋，當出現超出正常范圍的信號功率變化，控制模塊會根據算法進行警報、微調?？刂颇K最重要的參數是采樣、檢測和反饋的速度，而參數的實現主要取決于芯片算力和軟件算法。顯示面板：顯示面板：顯示面板主要作用是顯示控制模塊發出的信息。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，天風證券研究所61 1.2.2 射頻電源原理及結構射頻電源原理及結構圖：圖：射頻電源工作原理射頻電源工作原理 1、核心技術難點在于參數穩定性核心技術難點在于

10、參數穩定性、控制精度與阻抗匹配控制精度與阻抗匹配 射頻電源主要技術難點在于電源波形、頻率和功率等參數穩定性的提升，以及在腔體中激發出的等離子體濃度、均勻度及相應的控制精度，穩定性與控制精度對于薄膜沉積厚度、密度、應力、速率，以及深孔刻蝕質量至關重要。由于等離子體行為在微秒以下的時間尺度上演變，射頻傳輸系統必須能夠以非常低的群延遲感知和控制事件。為此，控制通常由高速數字控制器提供復雜的DSP(數字信號處理)和反饋/前饋控制算法。資料來源：財盈半導體公眾號，MKS官網，天風證券研究所71 1.3.3 射頻電源技術難點射頻電源技術難點圖：射頻能量驅動和維持等離子體示意圖圖：射頻能量驅動和維持等離子體

11、示意圖圖：等離子體變化過程示意圖圖：等離子體變化過程示意圖 2、半導體制程微縮化發展半導體制程微縮化發展，面臨復雜工藝過程中功率輸送的一致性與準確性問題面臨復雜工藝過程中功率輸送的一致性與準確性問題 3D IC時代芯片制造工藝設備的電源系統，各工藝步驟間的功率水平、氣體流量、壓力變化不一，致使等離子體阻抗急劇變化，因此，射頻電源系統的功率傳輸與阻抗匹配的創新必須與工藝創新保持同步。阻抗匹配器將射頻信號源與負載阻抗匹配，從而保證從射頻源輸出的功率均可被等離子體負載全部吸收，即得到最大的輸出功率。匹配網絡可以提供從等離子體室到發電機的固定、離散或連續阻抗轉換。大多數匹配網絡采用步進電機驅動的真空可

12、變電容(VVC)來調節等離子體阻抗變化時的阻抗變換。由于步進電機/VVC方法與等離子體動力學相比速度較慢，因此電子匹配網絡正在興起，用于脈沖射頻、原子層沉積(ALD)和原子層蝕刻(ALE)等高速應用。資料來源：財盈半導體公眾號，伊恩埃官網，MKS官網，天風證券研究所81 1.3.3 射頻電源技術難點射頻電源技術難點圖：圖：AENI Matching Networks射頻匹配器射頻匹配器圖：四類功放器波形圖：四類功放器波形 目前國內先進等離子體設備中應用的射頻電源，其主要技術性能（如輸出功率、頻率，阻抗匹配網絡等）已和國外同類電源無甚差別，但在自動化水平、體積以及應用范疇方面還有一定差距。因而，

13、要跟上國際水平，還需進行以下工作：1、小型化：小型化：國內射頻電源采用的都是電子管或電子管、晶體管混合電路，體積較大，在對體積有要求的地方，限制了應用。因此需要采用新興的技術、新型的元器件，使射頻電源固態化，更小型化。2、阻抗自動匹配：阻抗自動匹配：國外的阻抗自動匹配網絡已產品化，設備更趨于完善。目前國內還是手動，在一般狀況下能夠滿足工藝請求，但操作時稍不留意仍會匹配不佳。用自動匹配取代手動是目前需要解決的工作重點之一。3、多類型：多類型：我國需開擴射頻電源的應用范疇，研制多性能、多種類的射頻電源，如寬頻帶電源、微波電源等，為電源的發展開創新的道路。資料來源：wattsine公眾號，合肥協同半

14、導體產業研究院公眾號，天風證券研究所91 1.4.4 射頻電源：射頻電源：產業發展瓶頸及行業趨勢產業發展瓶頸及行業趨勢參數類型參數類型描述描述功率誤差功率誤差代表實際輸出功率與目標輸出功率之間的偏差范圍，數值越小越好。頻率誤差頻率誤差代表實際輸出頻率與目標輸出頻率之間的偏差范圍，數值越小越好。正向功率與反向功率正向功率與反向功率代表射頻電源可輸出功率的范圍。功率提升速度功率提升速度代表射頻電源功率從0W提升到目標功率需要的時間。駐波比駐波比代表發射波和反射波匹配程度的參數，當發射波和反射波不匹配時，在相位相同的地方電壓最大形成波腹，在相位相反的地方電壓最小形成波節，而波腹電壓和波節電壓之比就是

15、駐波比。諧波諧波諧波無法避免，但要必須控制在=-45db的水平。雜波雜波雜波無法避免，但要必須控制在=-45db的水平。電弧管理電弧管理需要避免產生電弧，因為電弧可能導致整批晶圓報廢。表：射頻電源主要技術參數表：射頻電源主要技術參數射頻電源應用：射頻電源應用：半導體：刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等半導體：刻蝕、薄膜沉積、干法清洗、離子注入等 光伏：光伏：PECVD、RPD等等 面板：面板：TFT陣列制作、陣列制作、CELL成盒制作等成盒制作等210請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 刻蝕：刻蝕：使用化學或物理化學的方法在刻蝕對象表面去除不需要的材料，可以分為干法刻蝕（等離子刻蝕）和濕

16、法刻蝕，目前干法刻蝕在半導體刻蝕中占主流地位，市場占比超過90%?？涛g氣體（主要是CF4）通過氣路系統通入反應腔室后，被射頻電源產生的高頻率電場(通常為13.56 MHz)電離從而產生輝光放電，完成從氣體分子到離子的轉變，形成等離子體(Plasma)，提高氣體反應活性。射頻電源是等離子刻蝕設備的核心部件，為設備提供穩定的射頻源，用于電離氣態的化學刻蝕劑，直接關系到反應腔體中的等離子濃度，均勻度以及穩定度。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，財盈半導體公眾號，MKS官網，天風證券研究所112.1.1 2.1.1 射頻電源在半導體領域的應用：刻蝕射頻電源在半導體領域的應用：刻蝕圖：電感耦合等

17、離子體刻蝕（圖：電感耦合等離子體刻蝕（ICP）示意圖示意圖圖：電容耦合等離子體刻蝕圖：電容耦合等離子體刻蝕(CCP)示意圖示意圖 薄膜沉積：薄膜沉積：1、PECVD：主要通過射頻電源使工藝氣體離子化，然后離子化后的氣體通過擴散到達襯底表面，進而發生化學反應，完成薄膜生長。射頻電源是PECVD鍍膜設備的核心部件，為設備提供穩定的射頻源，以此生成輝光放電等離子體。2、HDPCVD：是一種可以同時進行薄膜沉積與刻蝕制程的技術，極大提高了生產效率。HDPCVD設備有兩個射頻電源，其中一個射頻電源（Source RF）用于產生并維持等離子體，而另一個射頻電源（Bias RF）用于控制反應腔中高能粒子的轟

18、擊力度和方向，從而實現在小于0.5m的間隙中鍍膜不產生夾斷和空洞。3、PEALD：將氣相的前驅體A與等離子活性化的前驅體B交替地通入反應室，從而實現以單原子層的形式一層層沉積具有特殊功能的薄膜。射頻電源主要為設備提供穩定的射頻源來電離前驅體氣體。4、PVD：磁控濺鍍設備通過射頻電源使工藝氣體電離，產生帶正電的離子，然后通過大功率DC電源產生電磁場，使帶正電的等離子體受到負電極的吸引，撞擊位于負極的靶材。靶材上的原子受到撞擊并脫落，最終沉積于基體表面，實現鍍膜效果。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，財盈半導體公眾號，MKS官網，天風證券研究所122.1.2 2.1.2 射頻電源在半導體領

19、域的應用：薄膜沉積射頻電源在半導體領域的應用：薄膜沉積圖：圖：HDPCVD系統示意圖系統示意圖圖：射頻電源在圖：射頻電源在PECVD設備的應用設備的應用 干法清洗干法清洗：干法清洗設備的工作原理與等離子刻蝕設備類似，實質上是一種程度較輕的等離子刻蝕。干法清洗通過射頻電源將化學氣體電離，使其更容易與待清洗材料發生反應，并形成可揮發的生成物，最后將揮發的生成物抽離反應腔完成清洗。離子注入：離子注入：離子注入是一種添加工藝，利用高能量離子束沖擊的形式，將摻雜原子打入半導體中，從而控制半導體的導電率。用離子注入的方式可以通過調整離子束電流大小和注入時間來控制摻雜物濃度，離子注入是目前最主要的摻雜方式。

20、射頻電源主要用于離子源的射頻模塊，為設備提供穩定的射頻源來產生等離子體。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，納恩科技公眾號，財盈半導體公眾號，天風證券研究所132.1.3 2.1.3 射頻電源在半導體領域的應用：干法清洗、離子注入射頻電源在半導體領域的應用：干法清洗、離子注入圖：等離子體干法蝕刻示意圖圖：等離子體干法蝕刻示意圖圖：離子注入示意圖圖：離子注入示意圖 光伏領域：光伏領域：射頻電源主要應用于PECVD及及RPD中中。面板領域：面板領域：OLED顯示面板又稱為有機電激光顯示面板，其生產工藝流程主要可以分為TFT陣列制作、CELL成盒、后段組裝。射頻電源主射頻電源主要應用于要應用于

21、TFT陣列制作和陣列制作和CELL成盒的制作流程中成盒的制作流程中。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，天風證券研究所142.2 2.2 射頻電源在光伏領域、面板領域的應用射頻電源在光伏領域、面板領域的應用表：射頻電源在光伏領域的應用表：射頻電源在光伏領域的應用工藝工藝清洗制絨清洗制絨沉積非晶硅薄膜沉積非晶硅薄膜沉積沉積TCO薄膜薄膜絲網印刷絲網印刷低溫固化低溫固化測試測試設備設備濕法設備PECVDPVD（RPD）絲網印刷設備低溫烘干機測試設備使用射頻電源使用射頻電源否是是否否否表表：射頻電源在面板領域的應用：射頻電源在面板領域的應用TFT陣列制作陣列制作工藝工藝基板清洗基板清洗鍍膜鍍膜

22、曝光曝光顯影顯影刻蝕刻蝕剝離剝離設備設備清洗機PECVD、PVD曝光機顯影機濕法刻蝕剝離機使用射頻電源使用射頻電源否是否否否否CELL成盒成盒工藝工藝TFT清洗清洗蒸鍍蒸鍍封裝封裝測試測試設備設備清洗機蒸鍍機金屬封裝、玻璃封裝、薄膜封裝AOI測試設備使用射頻電源使用射頻電源否否薄膜封裝需要否 光伏設備通常使用能提供較高頻率較高頻率（如如40KHz）的電源的電源，半導體設備的射頻電源功率在半導體設備的射頻電源功率在1KW-10KW之間之間（工作頻率一般處于工作頻率一般處于2MHz-60MHz之間之間），面板生產使用15KW-50KW的功率水平的功率水平，和無線通訊的射頻功率相比大很多，應用不同。

23、資料來源：芯片揭秘公眾號，中科英智公眾號，天風證券研究所152.32.3 半導體半導體 vsvs 光伏光伏 vsvs 面板射頻電源面板射頻電源圖：射頻電源不同頻率的應用場景圖：射頻電源不同頻率的應用場景半導體射頻電源市場：半導體射頻電源市場：國外頭部企業壟斷、市場集中度較高國外頭部企業壟斷、市場集中度較高316請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 上游上游：射頻電源的上游核心零部件如電感、變壓器等，主要依靠射頻電源廠商自主設計；其余非核心的零部件如MOSFET等主要依靠封裝廠供應。中游：中游：射頻電源市場呈現國外頭部企業壟斷、市場集中度較高的競爭格局，目前射頻電源領域尚無成熟的國內生產商。下

24、游：下游：射頻電源的下游廠商主要為半導體及泛半導體加工設備制造商，市場集中度較高。資料來源：合肥協同半導體產業研究院公眾號，天風證券研究所173.1 3.1 射頻電源產業鏈射頻電源產業鏈圖：射頻電源產業鏈圖：射頻電源產業鏈上游上游中游中游下游下游各類零部件射頻電源等離子刻蝕設備薄膜沉積等離子摻雜設備等離子清洗/去膠設備電感電阻電容二極管三極管變壓器模擬IC數字IC面板散熱器國際廠商：MKS InstrumentAdvanced EnergyDAIHEN corporationTRUMPF Httinger國際廠商：Lam ResearchTokyo ElectronApplied Materi

25、als國內廠商：北方華創中微公司國際廠商：Lam ResearchTokyo ElectronApplied Materials國內廠商：拓荊科技捷佳偉創國際廠商：Applied MaterialsAxcelis Technologies國內廠商：上海凱世通國際廠商：PSKLam Research國內廠商：屹唐半導體 根據智研咨詢數據顯示，2022年中國射頻電源行業產量約為29716臺，需求量約為38548臺，均價約為均價約為17.83萬元萬元/臺臺。以一臺12吋刻蝕機為例，有8個腔，每個腔體有上電極和下電極，每個電極有一臺射頻和一臺匹配器，共32臺射頻和匹配器。一臺刻蝕機在射頻電源和匹配器上

26、的采購需要花費幾百萬一臺刻蝕機在射頻電源和匹配器上的采購需要花費幾百萬，占一臺設備總成本的占一臺設備總成本的12%左右左右。根據英杰電氣年報相關數據，其特種電源其特種電源（含射頻電源含射頻電源）總體毛利率處于總體毛利率處于50%水平水平，自自2019年至年至2022年整體呈上升趨勢年整體呈上升趨勢。2022年，英杰電氣特種電源系統的毛利率為45.5%，特種電源裝置的毛利率為59.6%，特種電源總體毛利率為特種電源總體毛利率為52%。資料來源：智研咨詢公眾號，芯片揭秘公眾號，英杰電氣年報，天風證券研究所183.2 3.2 射頻電源定價及毛利率射頻電源定價及毛利率14.014.515.015.51

27、6.016.517.017.518.018.520152016201720182019202020212022圖：圖：2015-2022年年中國射頻電源均價走勢（萬元中國射頻電源均價走勢（萬元/臺）臺）35.0%40.0%45.0%50.0%55.0%60.0%65.0%2019202020212022特種電源系統特種電源裝置總體圖：圖：2019-2022年英杰電氣特種電源毛利率（年英杰電氣特種電源毛利率（%）射頻電源作為半導體設備的核心零部件之一，伴隨半導體CVD、刻蝕機等核心設備的市場空間同步成長，未來主要增長點在晶圓廠新增擴產晶圓廠新增擴產+存量替換市場需求存量替換市場需求。新增需求：新

28、增需求：射頻發生器是射頻電源的重要組成部分，據據Yole統計統計，2022年射頻發生器在晶圓廠零部件采購中占比達年射頻發生器在晶圓廠零部件采購中占比達10%，僅僅次于石英次于石英（11%），受益新增擴產需求受益新增擴產需求。存量替換需求：存量替換需求：射頻電源使用壽命約為5-6年，短于半導體腔體的使用壽命，需要定期進行維?；蚋鼡Q，部分晶圓廠有直接備存射頻電源的需求。資料來源：中科英智公眾號，芯謀研究公眾號，伊恩埃官網，天風證券研究所193.33.3 半導體射頻電源市場需求半導體射頻電源市場需求圖：圖：2020年中國晶圓廠商采購年中國晶圓廠商采購8-12寸晶圓設備零部件產品結構寸晶圓設備零部件產

29、品結構圖：圖：AENI RF Generator 射頻發生器射頻發生器11%10%10%9%9%8%6%3%2%2%1%29%Quatz(石英件)RF generator(射頻發生器)Pump(泵)Valve(閥)Chuck(卡盤）Shower head(噴淋頭)Edge ringGauge(測量儀器)MFC(流量計)Ceramic(陶瓷件)O-ring(密封圈)Others(其他)全球半導體射頻電源市場規模：全球半導體射頻電源市場規模：根據QYR（恒州博智）的統計及預測，2022年全球半導體射頻電源市場銷售額達到了7.26億美元，預計2029年將達到14.57億美元，年復合增長率（CAGR）

30、為11.18%（2023-2029）。地區層面，中國市場（含中國臺灣地區）在過去幾年變化較快，2022年市場規模為96.6百萬美元，約占全球的13.31%，預計2029年將達到188.52百萬美元，屆時全球占比為12.94%。未來幾年，亞太地區的重要市場地位將更加凸顯，除中國外，日本、韓國、印度和東南亞地區，也將扮演重要角色。此外，未來六年，預計德國將繼續維持其在歐洲的領先地位。全球半導體射頻電源生產地區分布：全球半導體射頻電源生產地區分布：根據共研產業咨詢披露的數據，2022年，全球半導體射頻電源重要生產區域是北美、日本，合計占據全球近60%的市場份額，其中北美占全球的36.04%，日本占全

31、球的23.17%。資料來源：QYResearch公眾號，共研產業咨詢官網，天風證券研究所203.4.13.4.1 全球半導體射頻電源：全球半導體射頻電源：20222022年年市場規模市場規模7.267.26億美元億美元圖：圖：2018-2029年年全球射頻電源市場銷售額及增長率全球射頻電源市場銷售額及增長率483.70465.64540.80641.66725.55771.49802.58891.991038.451204.081339.901456.87-3.73%16.14%18.65%13.07%6.33%4.03%11.14%16.42%15.95%11.28%8.73%-5%0%5%

32、10%15%20%02004006008001,0001,2001,4001,6002018 2019 2020 2021 2022 2023E2024E2025E2026E2027E2028E2029E市場規模（百萬美元）Y0Y（%）36.04%23.17%40.79%北美日本其他地區圖：圖：2022年全球半導體射頻電源重要生產區域分布年全球半導體射頻電源重要生產區域分布 全球半導體射頻電源市場集中度：全球半導體射頻電源市場集中度：全球范圍內，半導體射頻電源核心廠商主要包括萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社、XP Power和通快等。根據根據QYR（恒州博智恒州博智）的統計的

33、統計，2022年年，全球第一梯隊廠商主要有萬機儀器全球第一梯隊廠商主要有萬機儀器、美國優儀美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社日本大阪變壓器株式會社，占有大約占有大約52.95%的市場份額；第二梯隊廠商有通快的市場份額；第二梯隊廠商有通快、康姆艾德康姆艾德、京三制作所京三制作所、北廣科技北廣科技、愛發科愛發科、日本電子株式會社日本電子株式會社、AdtecPlasma Technology、New Power Plasma等等，共占有共占有33.99%份額份額。資料來源：QYResearch公眾號，共研產業咨詢官網，天風證券研究所21圖：圖：2022年年全球射頻電源市場集中度全球射頻電源市場

34、集中度3.4.2 3.4.2 全球半導體射頻電源：競爭格局較為集中，全球半導體射頻電源：競爭格局較為集中，CR3CR352.92%52.92%梯隊梯隊企業企業市占率市占率第一梯隊萬機儀器、美國優儀（AE）、日本大阪變壓器株式會社52.95%第二梯隊通快、康姆艾德、京三制作所、北廣科技、愛發科、日本電子株式會社、Adtec Plasma Technology、New Power Plasma等33.99%第三及其他梯隊其他企業13.06%52.95%33.99%13.06%第一梯隊第二梯隊第三及其他梯隊 國內半導體射頻電源市場規模：國內半導體射頻電源市場規模：隨著國內半導體行業的持續穩步發展，中

35、國半導體射頻電源市場規模仍將保持著強勁的增長態勢。根據共研產業咨詢的統計及預測根據共研產業咨詢的統計及預測，2022年中國半導體射頻電源市場規模為年中國半導體射頻電源市場規模為0.97億美元億美元，約占全球的約占全球的13.31%，預計預計2023年將達到年將達到1.10億美元億美元，約占全球的約占全球的14.23%。根據智研咨詢數據根據智研咨詢數據，2022年中國射頻電源行業產量約為年中國射頻電源行業產量約為29716臺臺，需求量約為需求量約為38548臺臺。國內相關企業：國內相關企業：國內射頻電源基本依賴進口，主要研發單位主要包括北京北廣科技股份有限公司主要研發單位主要包括北京北廣科技股份

36、有限公司、四川英杰電氣股份有限公四川英杰電氣股份有限公司司、江蘇神州半導體科技有限公司江蘇神州半導體科技有限公司、深圳恒運昌真空技術有限公司等深圳恒運昌真空技術有限公司等。隨著半導體設備國產化的不斷推進，國產零部件廠商逐步嶄露頭角，恒運昌、英杰電氣、北廣科技等射頻電源企業在下游設備廠商的支持下逐步成長，在射頻電源產品供應方面實現批量訂單的突破。資料來源：共研產業咨詢官網，智研咨詢公眾號，合肥協同半導體產業研究院公眾號，中科英智公眾號，天風證券研究所223.53.5 國內半導體國內半導體射頻電源：射頻電源：20222022年市場規模年市場規模0.970.97億美元，約占全球億美元，約占全球13.

37、31%13.31%0.000.200.400.600.801.001.201.401.6020222023E2024E2025E2026E圖：圖：2022-2026年中國半導體射頻電源市場規模（億美元）年中國半導體射頻電源市場規模（億美元）12.0%12.5%13.0%13.5%14.0%14.5%15.0%15.5%20222023E2024E2025E2026E圖：圖：2022-2026年中國半導體射頻電源市場全球占比（年中國半導體射頻電源市場全球占比（%）他山之石：論海外半導體射他山之石：論海外半導體射頻電源公司如何發展的？頻電源公司如何發展的？423請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申

38、明 MKS公司成立于1961年，為領先的半導體制造、電子封裝以及特殊工業應用提供基礎技術解決方案。公司運用廣泛的科學和工程能力，創造儀器、子系統、系統、過程控制解決方案和特種化學品技術，以提高過程性能、優化生產力并實現獨特創新。公司產品可分為以下三部分：公司產品可分為以下三部分：1、VSD（Vacuum Solutions Division）：提供基礎技術解決方案：提供基礎技術解決方案。VSD產品源于公司在壓力測量和控制、流量測量和控制、氣體和蒸汽輸送、氣體成分分析、電子控制技術、反應氣體產生和輸送、發電和輸送以及真空技術方面的核心競爭力。2、PSD（Photonics Solutions D

39、ivision）：提供儀器：提供儀器、組件和子系統組件和子系統。PSD產品源自公司在激光、光子學、光學、溫度傳感、精密運動控制和振動控制方面的核心競爭力。3、MSD（Materials Solutions Division）：在先進的表面改性：在先進的表面改性、化學和電解電鍍以及表面處理方面化學和電解電鍍以及表面處理方面開發領先的工藝和制造技術，產品組合包括化學、設備、軟件和服務。資料來源：MKS年報，天風證券研究所244.1 4.1 MKSMKS：半導體環形等離子體源領導者：半導體環形等離子體源領導者VSD物料輸送電源等離子體和反應性氣體壓力和真空控制直接和間接壓力測量流量和閥門技術、集成壓

40、力測量和控制子系統微波和射頻功率輸送系統、射頻匹配網絡遠程等離子體和臭氧發生器產生反應物質，促進薄膜加工的化學反應，包括沉積、蝕刻、清以及表面修飾為蝕刻、剝離和沉積過程提供動力PSD光子學產品PCB制造的激光系統MLCC測試系統激光產品連續波、納秒脈沖激光沉積和超快激光器精密運動控制、光學組件、晶圓制造系統的溫度傳感產品等柔性互連PCB加工系統、剛性PCB制造和基板加工的高密度互連方案超小型、大型芯片MLCC測試MSDPCB制造的化學工藝和生產設備表面處理的化學工藝和生產設備涂料應用的化學工藝柔性、剛柔、多層、高密度互連PCB加工，封裝基板和晶圓級封裝裝飾性、防腐保護和耐磨涂料預處理、剝離和過

41、度噴涂處理圖：圖：MKS產品矩陣產品矩陣 根據MKS年報數據，2022年年，公司公司VSD、PSD和和MSD的產品毛利率分別為的產品毛利率分別為44.4%、47.1%和和43.3%，整體毛利率為整體毛利率為44.7%。MKS射頻功率發生器射頻功率發生器（屬于屬于VSD）：為薄膜加工設備提供可靠的固態功率，是半導體制造系統的重要組成部分，用于生產現代計算機和電子設備所需的集成電路(IC)或芯片。MKS 射頻發生器與阻抗匹配網絡和 V/I 探頭相結合，形成了一個完整的射頻傳輸系統。相關產品主要包括：1）EDGE射頻等離子發生器、2）KEINOS射頻等離子發生器、3）Elite射頻等離子體發生器。資

42、料來源：MKS官網及年報，天風證券研究所254.14.1 MKSMKS：半導體環形等離子體源領導者：半導體環形等離子體源領導者圖：等離子體源的分類、半導體加工中的典型應用及圖：等離子體源的分類、半導體加工中的典型應用及MKS相應相應產品產品圖：圖：MKS總體及各部門（總體及各部門（VSD、PSD、MSD）產品毛利率）產品毛利率44.4%47.1%43.3%44.7%VSDPSDMSDTotal EDGE射頻等離子發生器射頻等離子發生器 采用最先進的射頻拓撲結構、獲得專利的內在功率放大器保護、改進的設計余量和嵌入式V-I傳感器，可實現卓越的可靠性、可重復性和準確性。發生器的頻率從發生器的頻率從4

43、00kHz到到60MHz，并擁有不同的功率水平，以滿足蝕刻應用不斷增長和多樣化的需求。EDGE射頻發生器提供開關/關閉脈沖、多級脈沖和脈沖整形，此外，還提供了許多頻率調諧選項，可根據工藝和脈沖條件將反射功率降至最低。KEINOS射頻射頻等離子發生器等離子發生器 專為在經歷快速阻抗變化的環境(如PECVD和等離子體蝕刻)中的脈沖工作應用而設計。KEINOS系列可提供高達系列可提供高達13 kW的功的功率率、高達高達50 KHz的的脈沖脈沖，多個設定點脈沖、脈沖整形和頻率調諧。資料來源：MKS官網，天風證券研究所264.1 4.1 MKSMKS：半導體環形等離子體源領導者：半導體環形等離子體源領導

44、者圖：圖：KEINOS等離子發生器等離子發生器圖：圖：EDGE射頻等離子發生器射頻等離子發生器 在半導體制造過程中，最新的超小型晶體管設計轉向非平面幾何形狀（稱為FinFET）以提供更低的漏電流，從而提高每瓦能耗的性能。對于像FinFETs這樣的超小型幾何形狀，選擇性的概念（蝕刻目標材料而不是掩模）對蝕刻過程至關重要。脈沖射頻有助于管理選擇性和蝕刻速率之間的權衡。MKS與一家OEM客戶合作研究用于FinFETs的先進蝕刻技術，開發了自適應脈沖技術自適應脈沖技術（Adaptive Pulse Technology），提供可重復的脈沖，從而實現精確的輪廓控制。通過以一致的脈沖提供射頻功率通過以一致

45、的脈沖提供射頻功率，可用于蝕刻的能量是確定的可用于蝕刻的能量是確定的，從而更好地控制關從而更好地控制關鍵尺寸并最大限度地減少周圍區域的晶格損毀鍵尺寸并最大限度地減少周圍區域的晶格損毀。資料來源：MKS官網，睞芯科技LightSense公眾號，天風證券研究所274.1 4.1 MKSMKS面向面向FinFETFinFET開發自適應脈沖技術，以一致的脈沖提供射頻功率開發自適應脈沖技術，以一致的脈沖提供射頻功率圖：圖：FinFET示意圖示意圖圖：圖：Elite 13.56 MHz射頻等離子體發生器射頻等離子體發生器 Advanced Energy（AE）主要為全球OEM（Original Equip

46、ment Manufacturers）和終端客戶提供廣泛的半導體和工業技術應用，提供廣泛的先進和嵌入式電源產品。公司的產品主要分為7類：等離子電源產品、AC-DC電源、DC-DC電源、高壓電源、高壓放大器、可控硅功率控制器、傳感與測量。等離子電源：等離子電源：包括功率輸出系統、射頻匹配網絡、射頻等離子體發生器、脈沖和直流電源系統，以及用于反應氣體的遠程等離子源。廣泛用于多種半導體薄膜工藝，包括等離子干法蝕刻、干法剝離、原子層蝕刻、原子層沉積、化學氣相沉積、物理氣相沉積、電化學沉積和離子注入。此外，這些解決方案還用于平板顯示器、太陽能電池制造、建筑玻璃鍍膜、薄膜鍍膜、光學鍍膜和硬鍍膜等行業的先進

47、材料加工。2021年6月1日，公司收購了TEGAM,Inc.(總部位于俄亥俄州日內瓦)100%的股權，為公司在半導體、工業和醫療市場的射頻電源解決方案增加了計量和校準儀器。資料來源：AE官網，AE年報，天風證券研究所284.2 4.2 Advanced EnergyAdvanced Energy：半導體射頻電源優質供應商：半導體射頻電源優質供應商圖：圖：Advanced Energy 產品矩陣產品矩陣AC-DC電源DC-DC電源高壓電源傳感與測量可控硅功率控制器等離子電源產品高壓放大器遠程等離子源脈沖和直流電源系統射頻等離子體發生器射頻匹配網絡功率輸出系統 公司的射頻等離子體發生器分為四個系列

48、：eVerest、Apex、Paramount、Paramount Plus。射頻匹配網絡分為三個系列：Navigator II、Navigator II FCi、Navio。資料來源：AE官網，天風證券研究所294.2 4.2 Advanced EnergyAdvanced Energy：半導體射頻電源優質供應商：半導體射頻電源優質供應商圖：圖：AE各各系列系列射頻射頻等離子發生器等離子發生器圖：圖：AE各各系列射頻匹配網絡系列射頻匹配網絡 特色產品特色產品eVerest系列射頻等離子體發生器：系列射頻等離子體發生器：半導體行業加速走向新的拐點，eVerest射頻發生器滿足了變革性等離子體控

49、制的需求。其可配置的多級脈沖其可配置的多級脈沖，可實現瞬時可實現瞬時調節調節。此外，高速、高精度、基于模型的頻率調諧和寬頻率掃描范圍，可提供更高的過程穩定性可提供更高的過程穩定性。能夠實現能夠實現 2 nm 的的沉積和蝕刻輪廓的新穎工藝開發沉積和蝕刻輪廓的新穎工藝開發，并能夠無縫集成到任何等離子系統并能夠無縫集成到任何等離子系統。資料來源：AE官網，天風證券研究所304.2 4.2 Advanced EnergyAdvanced Energy：更穩定的：更穩定的eVeresteVerest系列射頻等離子體發生器系列射頻等離子體發生器圖：不穩定區域（頻率或功率急劇變化）調節示意圖圖：不穩定區域（

50、頻率或功率急劇變化）調節示意圖圖：瞬時脈沖變化示意圖圖：瞬時脈沖變化示意圖 特色產品特色產品Navigator II系列系列射頻匹配網絡：射頻匹配網絡：多功能Navigator II匹配網絡提供快速、準確和可靠的匹配，可滿足高達30kW的功率要求，和高達60MHz的頻率要求?？焖倏焖?、準確：準確：配備了微處理器控制的步進電機驅動器和先進調諧算法，提供了比傳統基于模擬調諧方法更強的準確性提供了比傳統基于模擬調諧方法更強的準確性，提高提高了調諧速度了調諧速度、精度和可重復性精度和可重復性（見下方左圖見下方左圖）。高級調諧脈沖：高級調諧脈沖：使用射頻等離子體脈沖來控制離子能量是開發精確、先進的蝕刻和

51、沉積工藝的關鍵。Navigator II匹配網絡的新型輸入傳感器和相應的調諧算法允許在脈沖射頻條件下進行精確調諧新型輸入傳感器和相應的調諧算法允許在脈沖射頻條件下進行精確調諧，最高可達最高可達20khz（見下方右圖見下方右圖）。資料來源：AE官網，天風證券研究所314.2 4.2 Advanced EnergyAdvanced Energy：更快更準更快更準的的Navigator IINavigator II系列射頻匹配網絡系列射頻匹配網絡圖：圖：Navigator II系列射頻匹配網絡與傳統效果對比一系列射頻匹配網絡與傳統效果對比一圖：圖：Navigator II系列射頻匹配網絡與傳統效果對

52、比二系列射頻匹配網絡與傳統效果對比二 AE公司提供全射頻傳輸系統長達20年，有多種匹配方案可供選擇（如下圖所示）。資料來源：AE官網，天風證券研究所324.2 4.2 AEAE深耕全射頻傳輸系統，為多種工藝提供不同產品匹配方案深耕全射頻傳輸系統，為多種工藝提供不同產品匹配方案圖：圖：AE全射頻傳輸系統的產品匹配方案全射頻傳輸系統的產品匹配方案 應用挑戰：測量真空電容器的健康狀況并預測維護應用挑戰：測量真空電容器的健康狀況并預測維護 真空電容器是匹配網絡的關鍵部件，預測其剩余壽命有助于防止晶圓室和匹配網絡的意外停機和昂貴維護。理想的情況是，匹配機內的真空電容器剩余壽命完全取決于時間或能量，然而，

53、匹配網絡的生命周期在很大程度上取決于使用模式和應用程序，因為有無數獨特的設置和過程。問題應對問題應對：AE提出提出PowerInsight解決方案解決方案 Advanced Energy的專有算法PowerInsight將公司數十年的電力輸送應用知識轉化為用戶友好的儀表板，準確預測真空電容器的使用壽命，可以制定更準確的翻新計劃，并通過避免意外的停機來減少生產損失。資料來源：AE官網，天風證券研究所334.2 4.2 AEAE專有算法專有算法PowerInsightPowerInsight，應對匹配網絡生命周期的不確定性，應對匹配網絡生命周期的不確定性圖：圖：PowerInsight界面示意圖界

54、面示意圖 在半導體市場中，除蝕刻和沉積工藝，先進節點的復雜性推動了晶圓廠其他工藝步驟的增加，公司作為關鍵技術提供商積極參與其中。公司的全球服務團隊提供全面的本地維修服務，升級改造產品以延長客戶的設備使用壽命。自2019-2022年，公司在半導體設備領域的收入逐年提升，2022年，半導體設備市場的收入為9.31億美元（占比達總收入的50.5%）。公司毛利率處于公司毛利率處于40%水平水平，近幾年略有下降近幾年略有下降，主要由于稀缺零件需支付額外費用主要由于稀缺零件需支付額外費用，導致材料成本上升導致材料成本上升。公司在半導體設備市場的戰略是通過新的設計和產品來捍衛在核心應用中的地位，在市場份額較

55、低的應用中增加市場地位（如遠程等離子體源和介質蝕刻），并利用公司在嵌入式電源、高壓電源系統、關鍵傳感和控制等領域的產品組合來增加市場份額。資料來源：AE年報，天風證券研究所344.2 4.2 Advanced EnergyAdvanced Energy：半導體射頻電源優質供應商：半導體射頻電源優質供應商圖：圖：2020-2022年年AE營收及毛利率（億美元；營收及毛利率（億美元；%）圖：圖：2019-2022年年AE分市場收入（億美元）分市場收入（億美元）024681012141618202019202020212022Semiconductor EquipmentIndustrial and

56、 MedicalData Center ComputingTelecom and Networking20%22%24%26%28%30%32%34%36%38%40%02468101214161820202020212022營收毛利率 DAIHEN Corporation制造和銷售各種變壓器、配電設備、分散電源設備、焊接機、工業機器人、等離子體應用射頻發生器等。2023年，公司將原業務板塊（電力產品、焊接與機電一體化、半導體與FPD）重新劃分為三個板塊：1）能源管理能源管理、2）工廠工廠自動化自動化、3）材料加工材料加工。資料來源：DAIHENCorporation年報，天風證券研究所354

57、.3 4.3 DAIHENDAIHEN CorporationCorporation圖：圖：DAIHEN Corporation產品矩陣產品矩陣工業機器人潔凈傳輸機器人工廠自動化工廠自動化焊接機等離子切割機材料加工材料加工等離子應用的射頻發生器能源管理能源管理電力接收與配電系統變壓器控制與通訊設備充電系統分散式電力設備工業機器人潔凈傳輸機器人焊接與機電一體化焊接與機電一體化焊接機等離子切割機半導體與半導體與FPD等離子應用的射頻發生器電力產品電力產品電力接收與配電系統變壓器控制與通訊設備充電系統分散式電力設備 1919年年-1980年：年：1919年12月公司以大阪變壓器株式會社為名成立，開始

58、專業生產桿式變壓器。1934年開始生產電焊機，1973年開始生產超高壓大容量變壓器，1980年開始銷售弧焊機器人。1981年年-2000年：年：1985年公司更名為DAIHEN株式會社，確立了“可靠性與創新性”的企業理念。1986年開始生產半導體制造設備用的射頻年開始生產半導體制造設備用的射頻（RF）發生器發生器，1989年開始生產半導體晶圓轉移機器人。1998年收購歷史悠久的焊接機制造商大阪電機有限公司。2001年年-至今：至今：2003年開發100KW太陽能發電功率調節器，領先業內其他公司。2014年收購斯洛文尼亞的焊接機制造公司VARSTROJ d.d.，2015年收購Chugoku E

59、lectric Manufacturing Company 60%的股份，與CHUGOKU電力株式會社聯合運營。2016年開始銷售無線電力傳輸系統。2019年收購德國系統集成公司Laso Tech Systems GmbH，2022年收購德國系統集成公司Femitec GmbH。資料來源：DAIHENCorporation官網，天風證券研究所364.3 4.3 DAIHENDAIHEN CorporationCorporation發展歷程發展歷程 半導體與半導體與FPD業務板塊：業務板塊：雖然半導體市場預計中長期內對生成型人工智能等產品的需求將會增加，但在智能手機和個人電腦但在智能手機和個人電

60、腦(pc)需求下降的背景下需求下降的背景下，半導體企業推遲投資半導體企業推遲投資，對半導體制造用射頻發生器系統需求減少的影響較大對半導體制造用射頻發生器系統需求減少的影響較大。2023年，公司營業收入1371百萬美元，同比下降4.18%。公司半導體與FPD業務營業收入為436百萬美元（同比增長7.44%），占總營收的32%，利潤率為18.67%，相較2022年下降0.6pct。資料來源：DAIHENCorporation年報，彭博，天風證券研究所374.3 4.3 半導體企業投資推遲，半導體企業投資推遲，DAIHENDAIHEN射頻發生器系統需求受到影響射頻發生器系統需求受到影響圖：圖：201

61、9-2023年年DAIHEN營收及增長率（百萬美元；營收及增長率（百萬美元；%）圖：圖：2019-2023年半導體與年半導體與FPD業務營收及利潤率（百萬美元；業務營收及利潤率（百萬美元；%）0%5%10%15%20%25%05010015020025030035040045050020192020202120222023營業收入利潤率-8%-6%-4%-2%0%2%4%6%8%12001250130013501400145020192020202120222023營業收入YoY 高密度等離子體工藝要求可重復性、穩定性和精密的等離子體控制，以滿足完美工藝的要求。DAIHEN憑借多年在電力電子領

62、域的專業知識，開發了用于自動調諧的RF/MW發電機和匹配裝置。公司使用內部等離子體評估室進行技術開發公司使用內部等離子體評估室進行技術開發（如脈沖輸出和頻率調諧如脈沖輸出和頻率調諧）、產品性能評估以及功能改進產品性能評估以及功能改進。通過對整個射頻功率系統的性能評估（如多頻應用），公司正在開發與最先進的等離子體工藝相對應的高頻系統。此外，通過在向客戶提供評估機之前進行等離子體評估，縮短了客戶設備所需的評估周期?！癆VANCER”高度可靠的射頻功率發生器高度可靠的射頻功率發生器 在半導體領域，諸如小型化和三維應用等技術創新不斷發生，使它們更加緊湊，并在其中包含更多的功能?！癆VANCER”射頻功

63、率發生器配備了下一代半導體制造工藝所需的各種功能，如脈沖RF輸出和節能。資料來源：DAIHENCorporation官網，天風證券研究所384.3 4.3 DAIHENDAIHEN在射頻在射頻電源領域的電源領域的產品及進展產品及進展圖：“圖：“AVANCER”射頻功率發生器”射頻功率發生器圖：圖：DAIHEN內部等離子體評估室內部等離子體評估室半導體射頻電源相關標的半導體射頻電源相關標的539請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明 公司是工業電源行業起步較早、規模較大的專業電源供應商，在產品研發、技術創新方面一直保持高投入。通過多年的技術積累，已經形成從小功率到大功率已經形成從小功率到大功率、

64、從低電壓到超高壓等不同功率等級的工業電源及特種電源技術共享平臺從低電壓到超高壓等不同功率等級的工業電源及特種電源技術共享平臺。公司生產的特種電源主要有直流編程電源、加速器電源、中高頻感應電源、高壓電源、微波電源、射頻電源等。射頻電源相關產品：射頻電源相關產品：1）RHH系列射頻電源：系列射頻電源：產品分多個功率等級，多個頻率等級，滿足半導體、泛半導體行業需要。2）RLS系列射頻電源：系列射頻電源：主要應用于光伏產業、平板顯示器行業、半導體行業、化工業、實驗室、科研、制造業等。3）RMA系列匹配器：系列匹配器：可適配于 RLS 系列射頻電源使用，應用于半導體、泛半導體等行業。資料來源：英杰電氣年

65、報，天風證券研究所405 5.1.1 英杰電氣英杰電氣圖：圖：RHH系列射頻電源系列射頻電源圖：圖：RLS系列射頻電源系列射頻電源圖：圖：RMA系列匹配器系列匹配器 2022年，公司營收12.83億元，其中特種電源特種電源（特種電源裝置特種電源裝置、特種電源系統特種電源系統）營業收入為營業收入為2.19億元億元，占全部營收的占全部營收的17.04%。半導體行業產品市占率：半導體行業產品市占率：公司半導體設備端的MOCVD已經實現進口替代7-8年，在半導體等電子材料的其他多個細分行業的市占率超過50%。射頻電源方面射頻電源方面，技術上能實現替代的公司目前并不多技術上能實現替代的公司目前并不多，公

66、司屬于第一梯隊公司屬于第一梯隊。除半導體等電子材料行業外，公司電源產品還涉及幾十個細分行業，在已經形成穩定市場供求關系的行業中，公司在大多數行業的市占率超50%，這也是公司近三十年長期專注耕耘于工業電源領域，不停探索積淀的結果。射頻電源定價：射頻電源定價：不同設備功率的大小、頻率的高低，以及不同行業參數要求的不同，都會造成價格上的差異，公司主要從成本端進行定價考慮，單臺價格從幾萬到二三十萬不等單臺價格從幾萬到二三十萬不等。資料來源：英杰電氣年報，東方財富網，天風證券研究所415 5.1.1 英杰電氣英杰電氣圖：圖：2018-2022年年英杰電氣營收及利潤情況英杰電氣營收及利潤情況圖：圖：201

67、8-2022年年英杰電氣特種電源營收情況英杰電氣特種電源營收情況0%2%4%6%8%10%12%14%16%18%20%020,000,00040,000,00060,000,00080,000,000100,000,000120,000,000140,000,0002019202020212022特種電源裝置（元）特種電源系統（元）占營收比重（%）-20%0%20%40%60%80%100%120%140%0246810121420182019202020212022營業收入（億元）凈利潤（億元）營業收入同比增長凈利潤同比增長 目前，公司已經具備了半導體設備半導體設備（刻蝕機刻蝕機、PECV

68、D等等）部分機臺射頻電源的國產化替代以及量產的能力部分機臺射頻電源的國產化替代以及量產的能力，其余機臺的射頻其余機臺的射頻電源研發也正在有序推進電源研發也正在有序推進，推進進度良好推進進度良好。公司也有生產射頻電源的自動匹配器公司也有生產射頻電源的自動匹配器，其他功率器件兼具國外采購和國內供應。公司的量產能力相較其他公司有自身優勢，新建的射頻電源潔凈車間已經投入使用數月新建的射頻電源潔凈車間已經投入使用數月，目前已經進入相對繁忙的工作狀態目前已經進入相對繁忙的工作狀態。同時，公司有計劃再增加一條射頻電源生產線，以滿足后期可能的進一步放量的生產需求。射頻電源團隊保障方面，全資子公司全資子公司“英

69、杰晨暉英杰晨暉”專門負責射頻電源的生產專門負責射頻電源的生產。研發、生產、工藝、品質的保障都趨于專門化、專業化，以保證產品批量供應后的品質穩定性。射頻電源訂單情況：射頻電源訂單情況：2023年年4月月，公司射頻電源訂單量公司射頻電源訂單量200-300萬萬。截至截至2023年年9月月30日日，公司射頻電源訂單共有公司射頻電源訂單共有2500多萬多萬。截至截至2023年年10月底月底，公司射頻電源訂單已近公司射頻電源訂單已近5000萬萬。截至截至2023年年11月底月底，公司射頻電源訂單已有公司射頻電源訂單已有9000多萬多萬，其中絕大部分是半導體設備端的電源訂單，還有少部分在其他行業，訂單數量

70、級別已達批量供應階段訂單數量級別已達批量供應階段。除了一些重點客戶外，公司還在為一些客戶做定制研發，處于測試階段。公司的射頻訂單中，約有10%屬于定制訂單，將來定制研發狀況好的情況下，有形成批量訂單的可能性。資料來源：東方財富網，天風證券研究所425 5.1.1 英杰電氣英杰電氣圖：英杰電氣射頻電源訂單情況圖：英杰電氣射頻電源訂單情況 公司主要從事電力電子交換和控制設備的研發、生產和銷售，主要產品為精密測試電源主要產品為精密測試電源、特種電源和電能質量控制設備特種電源和電能質量控制設備，在電力電子行業“器件-設備-應用系統”產業鏈中位居中段，產品廣泛應用于新能源、特種裝備、民航保障、軌道交通、

71、科研實驗、半導體、數據中心等新興前沿領域。根據中國電源學會2022年出具的鑒定意見，公司測試電源相關技術關鍵性能指標已經達到或超過進口品牌。特種電源：特種電源：用于高端裝備或特種裝備特殊用電需求，主要用于航天、軌交、科研和先進制造。公司已經和某半導體裝備企業展開合作公司已經和某半導體裝備企業展開合作，為其開發為其開發 MOCVD 設備設備（用于半導體鍍膜用于半導體鍍膜）所需的特種電源設備所需的特種電源設備。資料來源：愛科賽博招股說明書，天風證券研究所435 5.2.2 愛科賽博愛科賽博圖：愛科賽博產品系列構成圖：愛科賽博產品系列構成表：愛科賽博主營業務表：愛科賽博主營業務項目項目精密測試電源精

72、密測試電源特種電源特種電源電能質量控制設備電能質量控制設備產品產品功能功能用于電氣電子設備或其關鍵部件在研發、生產、認證環節的電性能測試用于滿足高端裝備或特種裝備的特殊用電需求用于解決供配電系統的電壓與電流相關問題，保障配電網及用戶電氣設備可靠、安全、高效運行下游下游應用應用主要應用于光伏儲能、電動汽車和科研試驗等領域主要應用于特種裝備、民航保障、軌道交通、科研試驗和高端工業等領域主要應用于特種裝備、公共配電網、軌道交通、數據中心、工業企業等領域主要主要客戶客戶華為、固德威、南德認證、比亞迪、上海電器科學研究所等中航集團、航空工業、中國航天、中國鐵建等中國鐵路、南方電網、中國移動、國家電網等

73、2020年，公司特種電源業務營業收入1.82億元，占總營收49.1%，后續特種電源業務營收占比開始下滑。截至2022年底，公司特種電源業務營業收入為1.11億元，占總營收比重為19.2%。根據公司2023年業績預告，預計預計2023年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤年年度實現歸屬于母公司所有者的凈利潤13,300萬元到萬元到15,300萬元萬元，與上年同期（法定披露數據）相比，將增加6,431.13萬元到8,431.13萬元，同比增加93.63%到122.74%。公司精密測試電源公司精密測試電源、特種電源特種電源、電能質量電能質量產品的銷售收入均有不同幅度增長產品的銷售收入均有不同幅度增長。

74、資料來源：愛科賽博公司公告，Wind，天風證券研究所445 5.2.2 愛科賽博愛科賽博圖：愛科賽博分產品營收及同比增速（億元；圖：愛科賽博分產品營收及同比增速（億元；%）圖：愛科賽博營業收入產品結構占比（圖：愛科賽博營業收入產品結構占比（%）0.35 0.51 1.52 3.08 1.98 0.83 1.05 1.37 1.30 0.54 0.84 1.82 2.02 1.11 0.48 45.7%198.0%102.6%98.0%-200%-100%0%100%200%01234520192020202120222023H1測試電源電能質量控制設備特種電源測試電源YoY電能質量設備YoY特

75、種電源YoY14.7%13.7%29.2%53.2%63.7%34.9%28.3%26.3%22.5%17.4%35.3%49.1%38.8%19.2%15.4%15.1%9.2%5.4%5.2%3.5%0.0%20.0%40.0%60.0%80.0%100.0%20192020202120222023H1測試電源電能質量控制設備特種電源其他資料來源：各公司官網及公告，張通社公眾號，恒運昌股份公眾號，天風證券研究所455.3 5.3 相關相關標的標的標的標的產品產品/服務服務相關產品進展相關產品進展英杰電氣RHH系列射頻電源、RLS系列射頻電源、RMA系列匹配器公司在半導體設備端的產品研發有突

76、破，射頻電源覆蓋的頻率段以及客戶機臺類型更加寬泛，產品性能更加穩定，客戶反映良好，初步具備了替代國外電源的能力。愛科賽博高端工業電源、定制特種電源特種電源是公司最早的核心產品，公司已在市場中積累了較高的知名度，是國內多領域、專業化的特種電源生產企業。在高端工業領域，公司正在開發 MOCVD 設備（用于半導體鍍膜）所需的特種電源設備。北方華創刻蝕機、PVD、CVD、ALD、立式爐和清洗機等2020年，公司全資子公司北方華創微電子收購北廣科技射頻應用技術相關資產，有利于提高北方華創微電子射頻應用技術水平，可增強公司半導體裝備產品技術開發與應用能力。吉兆源350-450KHz低頻電源、40KHz中頻

77、電源、2MHz、13.56MHz射頻電源公司主要研發和生產射頻電源、射頻自動匹配器及濺射用直流電源，多年參與半導體設備射頻電源設計、調試和服務，于2019年9月成功開發40KHz、10KW/15KW中頻電源。恒運昌射頻電源、射頻匹配器、中頻濺射電源公司是以等離子體電源系統設計研發、智能制造為主，在半導體、光伏新能源、平板顯示、工業鍍膜等領域的重大裝備國產化提供核心零部件解決方案及技術進出口于一體的專精特新小巨人及國家級高新科技企業。伊恩埃射頻匹配器、射頻發生器、中頻電源公司是國內專業研發、生產、組裝半導體級別射頻發生器(RF Generator)、射頻匹配器(RF Match)、射頻組件的頭部

78、企業，已在諸多方面打破國外的技術壟斷和技術壁壘，擁有20多項實用型專利和國家發明專利，正逐步成為中國半導體晶圓FAB廠企的領先合作伙伴。沃特塞恩500W、1.5kW自匹配固態射頻電源沃特塞恩聯合公司旗下擁有豐富等離子體技術開發經驗的紐曼和瑞微波技術有限公司，開發了基于固態微波源的微波等離子體化學氣象沉積（MPCVD）裝備、遠程等離子設備（RPS），賦能高品質碳材料制備產業，半導體材料刻蝕和清洗等產業并實現國產化替代。勵兆科技等離子射頻電源及其配套系統、遠程等離子源(RPS)系統公司成立一年便開發出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產品，部分關鍵性能參數已達到國際先進水平。2023

79、年公司完成數千萬元人民幣Pre-A輪融資，中芯聚源參投。465.4 5.4 風險提示風險提示1、技術與產品研發風險技術與產品研發風險如果相關公司未來不能繼續保持充足的研發投入來滿足技術持續創新、升級迭代的需要；或技術及產品不能保持現有地位或新項目研發失??；或因研發前瞻性不足，未能對市場的發展趨勢做出正確判斷，將面臨不能適應市場需求而導致盈利降低甚至虧損，對持續盈利能力產生重大不利影響。2、市場開拓風險市場開拓風險為了保持業務持續穩定發展，降低單一應用領域波動對相關公司業績的影響，需不斷開發新產品、拓展新應用領域。由于不同下游應用領域在產品應用的技術特點、市場競爭格局、客戶拓展渠道等方面存在差異

80、，若新應用領域開拓效果不佳，可能會造成相關公司在技術研發、產品開發、市場拓展等方面投入的浪費。3、需求波動風險需求波動風險客戶按照其需求及每年采購計劃進行采購，由于部分裝備重復訂購周期較長，使其訂單具有一定的波動性。受外部不利情況和下游采購周期的影響，相關公司收入存在受下游主要客戶需求影響而大幅波動的風險。4、文中所提愛科賽博業績預告數據僅為初步核算數據文中所提愛科賽博業績預告數據僅為初步核算數據，準確的財務數據以公司正式披露的年報為準準確的財務數據以公司正式披露的年報為準。47請務必閱讀正文之后的信息披露和免責申明股票投資評級自報告日后的6個月內，相對同期滬深300指數的漲跌幅行業投資評級自

81、報告日后的6個月內，相對同期滬深300指數的漲跌幅買入預期股價相對收益20%以上增持預期股價相對收益10%-20%持有預期股價相對收益-10%-10%賣出預期股價相對收益-10%以下強于大市預期行業指數漲幅5%以上中性預期行業指數漲幅-5%-5%弱于大市預期行業指數漲幅-5%以下投資評級聲明投資評級聲明類別類別說明說明評級評級體系體系分析師聲明分析師聲明本報告署名分析師在此聲明：我們具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格或相當的專業勝任能力，本報告所表述的所有觀點均準確地反映了我們對標的證券和發行人的個人看法。我們所得報酬的任何部分不曾與，不與，也將不會與本報告中的具體投資建議或觀點有直

82、接或間接聯系。一般聲明一般聲明除非另有規定，本報告中的所有材料版權均屬天風證券股份有限公司（已獲中國證監會許可的證券投資咨詢業務資格）及其附屬機構（以下統稱“天風證券”）。未經天風證券事先書面授權，不得以任何方式修改、發送或者復制本報告及其所包含的材料、內容。所有本報告中使用的商標、服務標識及標記均為天風證券的商標、服務標識及標記。本報告是機密的，僅供我們的客戶使用，天風證券不因收件人收到本報告而視其為天風證券的客戶。本報告中的信息均來源于我們認為可靠的已公開資料，但天風證券對這些信息的準確性及完整性不作任何保證。本報告中的信息、意見等均僅供客戶參考，不構成所述證券買賣的出價或征價邀請或要約。

83、該等信息、意見并未考慮到獲取本報告人員的具體投資目的、財務狀況以及特定需求，在任何時候均不構成對任何人的個人推薦?？蛻魬攲Ρ緢蟾嬷械男畔⒑鸵庖娺M行獨立評估，并應同時考量各自的投資目的、財務狀況和特定需求，必要時就法律、商業、財務、稅收等方面咨詢專家的意見。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，天風證券及/或其關聯人員均不承擔任何法律責任。本報告所載的意見、評估及預測僅為本報告出具日的觀點和判斷。該等意見、評估及預測無需通知即可隨時更改。過往的表現亦不應作為日后表現的預示和擔保。在不同時期，天風證券可能會發出與本報告所載意見、評估及預測不一致的研究報告。天風證券的銷售人員、交易人員以及其他專業人士可能會依據不同假設和標準、采用不同的分析方法而口頭或書面發表與本報告意見及建議不一致的市場評論和/或交易觀點。天風證券沒有將此意見及建議向報告所有接收者進行更新的義務。天風證券的資產管理部門、自營部門以及其他投資業務部門可能獨立做出與本報告中的意見或建議不一致的投資決策。特別聲明特別聲明在法律許可的情況下，天風證券可能會持有本報告中提及公司所發行的證券并進行交易，也可能為這些公司提供或爭取提供投資銀行、財務顧問和金融產品等各種金融服務。因此，投資者應當考慮到天風證券及/或其相關人員可能存在影響本報告觀點客觀性的潛在利益沖突，投資者請勿將本報告視為投資或其他決定的唯一參考依據。