盛美上海-投資價值分析報告：從半導體清洗設備龍頭到平臺型設備企業-220512（54頁）.pdf

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1、 證券研究報告 請務必閱讀正文之后的免責條款 從從半導體半導體清洗設備龍頭清洗設備龍頭到到平臺型平臺型設備設備企業企業 盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告2022.5.12 中信證券研究部中信證券研究部 核心觀點核心觀點 徐濤徐濤 首席電子分析師 S1010517080003 王子源王子源 半導體分析師 S1010521090002 盛美上海為國內盛美上海為國內半導體半導體設備平臺型企業，設備平臺型企業，在在清洗設備清洗設備領域國際領先，重視差異領域國際領先，重視差異化競爭，持續拓展設備品類，布局電鍍、立式爐、先進封裝濕法設備等，覆蓋化競爭，持續拓展設備品類，布局電鍍、立式爐、先進

2、封裝濕法設備等，覆蓋濕法和干法工藝濕法和干法工藝。預計預計公司未來受益行業擴產和設備國產滲透率提升，業績有公司未來受益行業擴產和設備國產滲透率提升，業績有望望快快速速成長成長，首次，首次覆蓋，覆蓋，給予“買入”評級。給予“買入”評級。 半導體清洗設備龍頭，技術國際領先。半導體清洗設備龍頭，技術國際領先。公司主要產品包括半導體清洗設備（2021 年營收占比 65.14%）、電鍍設備和立式爐等其他半導體設備（占比16.88%）、先進封裝濕法設備（占比 13.44%）等，對應市場空間超 70 億美元。其中半導體清洗設備為核心產品，2020 年及之前占公司營業收入超過80%，公司堅持差異化競爭和創新的

3、發展戰略，全球首創 SAPS、TEBO 兆聲波清洗等技術，在清洗設備領域，公司兆聲波技術超越 SCREEN、TEL、LAM等傳統國際龍頭，在國產設備廠商中獲采購數量最多，未來有望隨客戶開拓繼續提升份額。 全面布局濕法設備，拓展立式爐進入干法全面布局濕法設備，拓展立式爐進入干法工藝工藝領域，完善產品組合。領域，完善產品組合。除半導體清洗設備外，公司積極布局電鍍設備、立式爐管設備、先進封裝濕法設備等領域，2021 年新布局設備合計營收占比提升至 30%。在先進封裝領域，公司產品覆蓋清洗、濕法刻蝕、涂膠、顯影、去膠、刷洗等，以此為基礎，公司未來有望向前道制造濕法工藝擴展。另一方面，在干法工藝領域，公

4、司已推出LPCVD （低壓化學氣相沉積）設備，向氧化爐、擴散爐、ALD 設備發展。LPCVD 立式爐 2021 年已送華虹集團驗證并獲得批量訂單，2022 年 ALD 立式爐有望推出，成為新的增長點。 長期有望成長為國際化的平臺型半導體設備企業。長期有望成長為國際化的平臺型半導體設備企業。公司國內大客戶涵蓋長江存儲、華虹集團、中芯國際等知名企業，同時積極進軍國際市場，成立之初即打入國際廠商海力士，近年積極開拓美國領先先進制程晶圓廠商，2021 年DEMO 設備已進入其先進制程產線。公司注重先進技術的持續研發，通過產品技術領先優勢及差異化保障較高的毛利率水平。未來公司料將受益國內晶圓廠擴產的明確

5、趨勢和國產設備導入紅利，持續完善設備品類，打開新成長曲線，同期拓展海外客戶提升國際市場份額，業績有望持續高速成長。 風險因素：風險因素：晶圓廠資本開支下行，公司新品研發低于預期，市場競爭加劇，公司關鍵零部件供應受限，國際貿易爭端加劇風險，公司與控股股東 ACMR 分別在中國和美國上市的風險等風險。 投資建議：投資建議：公司核心業務清洗設備穩定增長，新增業務電鍍設備、立式爐、先進封裝濕法設備等拓展順利，未來隨著晶圓廠的持續擴建和國產導入，業績有望持續成長。我們預計公司 20222024 年營業收入 26.5/38.4/52.0 億元，凈利潤 4.27/6.20/8.33 億元，對應 EPS 為

6、0.98/1.43/1.92 元。由于高研發投入和銷量收入作為成長的主要導向，半導體設備企業普遍采用 PS 估值，可比公司過去一年平均 PS 估值 20.2 倍，過去三年平均 PS 估值 21.6 倍。參考可比公司估值，給予盛美上海 2022 年 22 倍 PS，目標價 134 元，首次覆蓋，給予“買入”評級。 項目項目/年度年度 2020 2021 2022E 2023E 2024E 營業收入(百萬元) 1,007 1,621 2,650 3,838 5,197 營業收入增長率 YoY 33.1% 60.9% 63.5% 44.8% 35.4% 凈利潤(百萬元) 197 266 427 62

7、0 833 凈利潤增長率 YoY 45.9% 35.3% 60.4% 45.3% 34.2% 每股收益 EPS(基本)(元) 0.50 0.68 0.98 1.43 1.92 毛利率 43.8% 42.5% 42.1% 42.7% 42.7% 盛美上海盛美上海 688082 評級評級 買入（首次）買入（首次） 當前價 82.69元 目標價 134.00元 總股本 434百萬股 流通股本 33百萬股 總市值 359億元 近三月日均成交額 82百萬元 52周最高/最低價 137.9/71.9元 近1月絕對漲幅 -2.87% 近6月絕對漲幅 -2.72% 近12月絕對漲幅 -2.72% 盛美上海（盛

8、美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 證券研究報告 請務必閱讀正文之后的免責條款 凈資產收益率 ROE 18.8% 5.5% 8.1% 10.6% 12.4% 每股凈資產（元） 2.69 11.11 12.09 13.52 15.44 PE 165.4 121.6 84.4 57.8 43.1 PB 30.7 7.4 6.8 6.1 5.4 PS 35.6 22.1 13.5 9.3 6.9 EV/EBITDA 206.2 126.6 77.4 48.6 35.6 資料來源：Wind，中信證券研究部預測 注：股價為 2022 年 5 月 11 日收盤價

9、 NA9UiYlUiXjZgWsVmU9PbPaQmOnNsQnPlOoOnQkPrQnObRmMyRNZsRtRvPtPoP 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 目錄目錄 公司概覽：全球化的半導體平臺型設備公司公司概覽：全球化的半導體平臺型設備公司 . 1 主營業務：清洗設備起家，擴展多品類，差異化發展 . 1 核心人員：創始人多年海外產業經驗，扎實自主培育核心人才 . 3 股權分析：母子公司兩地分別上市，創始人擁有實際控制權 . 4 上下游關系：產品進入國際、國內頭部半導體大廠供應鏈 . 6 財務分析

10、：過去五年營收 CAGR 59%，毛利率超 40%領先國內外同業 . 10 研發成果：掌握差異化核心技術，部分產品技術達世界領先 . 14 市場空間：晶圓廠加速擴產，國產設備機會大增市場空間：晶圓廠加速擴產，國產設備機會大增 . 16 總量市場：全球半導體設備市場 1030 億美元，中國大陸占近三成 . 16 行業驅動：晶圓廠資本支出增長，國產替代拉動設備需求 . 18 競爭格局：國際巨頭壟斷，國內廠商逐漸打破壁壘 . 19 細分市場：盛美上海當前對應細分市場空間超 70 億美元，未來有望擴展至百億美金以上 . 20 清洗設備：技術國際領先，份額有望持續提升清洗設備：技術國際領先，份額有望持續

11、提升 . 21 市場格局：日、美、韓大廠壟斷，盛美份額有望提升 . 21 設備分類：兆聲波單片清洗、單片槽式組合清洗等技術全球領先 . 24 獨家技術：全球首創 SAPS、TEBO、Tahoe 技術，提高產品競爭力 . 27 前瞻研發：開發超臨界 CO2干燥技術和 IPA 干燥技術，提高產品工藝性能 . 29 業務進展：清洗設備營收穩定增長，新技術研發持續進行 . 30 電鍍設備：打破國際巨頭壟斷，掌握電鍍銅核心技術電鍍設備：打破國際巨頭壟斷，掌握電鍍銅核心技術 . 31 競爭格局：國際泛林半導體領先，盛美具備全球競爭力 . 31 設備應用：主流應用于電化學鍍銅工藝 . 32 技術優勢：前道電

12、鍍設備打破壟斷，后道先進封測差異化開發 . 33 業務進展：銷量穩中有升，電鍍設備訂單進入放量階段 . 34 立式爐管設備：進軍干法領域，奠定平臺化基礎立式爐管設備：進軍干法領域，奠定平臺化基礎 . 35 競爭格局：國際廠商領先，盛美逐步進軍 . 35 技術優勢：實現不同類型薄膜在晶圓表面的沉積工藝，從濕法向干法拓展 . 36 先進濕法設備：從先進封裝入手，拓展全品類先進濕法設備：從先進封裝入手，拓展全品類 . 37 競爭格局：前道設備廠商均有布局，國內廠商有望突破 . 37 技術優勢：依托前端濕法清洗技術，公司產品已覆蓋全部單片濕法設備 . 38 業務進展：營收逐年提升，未來有望持續放量.

13、39 戰略目標：躋身綜合性國際集成電路裝備企業第一梯隊戰略目標：躋身綜合性國際集成電路裝備企業第一梯隊 . 40 風險因素風險因素 . 41 盈利預測及估值評級盈利預測及估值評級 . 43 盈利預測. 43 估值與評級 . 45 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 插圖目錄插圖目錄 圖 1：公司發展歷程和主要產品的演變情況 . 1 圖 2：盛美上海主要業務及下游代表性客戶情況 . 3 圖 3：盛美上海股權結構圖 (截至 2022 年 3 月 31 日) . 5 圖 4：公司向前五名客戶合計銷售額比例 .

14、7 圖 6：2018-2021 年公司主要產品銷量 . 9 圖 7：2018-2021 年公司主要產品單價情況 . 9 圖 8：2018-2021 年度公司向前五名最終供應商合計采購額比例 . 9 圖 8：公司歷年營業收入及同比增長情況 . 10 圖 9：公司歷年分業務營業收入占比情況 . 10 圖 10：公司歷年分設備類型營業收入占比情況 . 11 圖 11：公司歷年分地區營業收入占比情況 . 11 圖 12：公司單季營業收入 . 12 圖 13：2018-2021 公司主營業務營業成本 . 12 圖 14：2018-2021 公司主營業務成本構成 . 12 圖 15：公司歷年分業務毛利率情

15、況 . 13 圖 16：公司歷年凈利潤及同比增長情況 . 13 圖 17：與國內同行業可比公司毛利率比較 . 13 圖 18：與國外同行業可比公司毛利率比較 . 13 圖 19：公司歷年期間費用明細. 14 圖 20：公司歷年期間費率情況. 14 圖 21：盛美上海及國內可比公司 2021 年研發費用情況 . 14 圖 22：盛美上海及海外可比公司 2021 年研發費用情況 . 14 圖 23：芯片制造過程 . 16 圖 24：歷年全球半導體設備市場規模 . 17 圖 25：中國大陸半導體設備市場規模 . 17 圖 26：中國大陸半導體設備市場規模占全球市場比例 . 17 圖 27：2020-

16、2023 年全球半導體設備市場拆分 . 18 圖 28：2020 年全球半導體設備市場規模拆分 . 18 圖 29：2021-2022 年全球分地區新建晶圓廠預期 . 18 圖 30：2022 年預期全球和中國晶圓產能 . 18 圖 31：2020 年全球半導體設備企業市場份額占比 . 19 圖 32：2020 年全球半導體設備 TOP15 企業區域占比 . 19 圖 33：盛美上海半導體設備產品在集成電路前道制造工藝中的應用 . 20 圖 34：全球半導體清洗設備市場規模 . 21 圖 35：全球電化學電鍍設備市場規模 . 21 圖 36：全球先進封裝設備市場規模 . 21 圖 37：全球爐

17、管設備市場規模. 21 圖 38：2020 年全球半導體清洗設備市場企業競爭格局 . 22 圖 39：中國大陸三座典型晶圓廠半導體清洗設備招標采購中標份額 . 22 圖 40：長江存儲 20172021 設備招標清洗設備各廠商中標比例 . 23 圖 41：華力集成 20162021 設備招標清洗設備各廠商中標比例 . 23 圖 42：華虹無錫 20182021 設備招標清洗設備各廠商中標比例 . 23 圖 43：2016-2021 年盛美上海清洗設備中標數 . 23 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 圖

18、 44：單片清洗原理 . 25 圖 45：槽式清洗原理 . 25 圖 46：單片槽式組合清洗原理. 26 圖 47：SAPS 兆聲波清洗設備 . 28 圖 48：TEBO 兆聲波清洗設備 . 28 圖 49：Tahoe 清洗設備 . 28 圖 50：公司半導體清洗設備營收 . 31 圖 51：公司半導體清洗設備銷量及單價 . 31 圖 52：2020 年全球半導體電鍍設備市場競爭格局 . 32 圖 53：2016-2021 年國內晶圓企業電鍍設備招標統計 . 32 圖 54：電化學電鍍原理 . 33 圖 55：公司半導體電鍍設備收入 . 34 圖 56：公司半導體電鍍設備銷量及單價 . 34

19、圖 57：2020 年全球爐管設備份額占比 . 36 圖 58：盛美上海半導體設備產品在集成電路后道先進封裝工藝中的應用 . 38 圖 59：公司先進封裝濕法設備收入 . 40 圖 60：公司先進封裝濕法設備出貨量及平均單價 . 40 表格目錄表格目錄 表 1：公司員工的專業結構（截至 2021 年 12 月 31 日） . 4 表 2：公司核心人員及簡歷 . 4 表 3：美國 ACMR 主要股東投票權分布情況（截至 2021 年 6 月 30 日） . 5 表 4：盛美上海的控股子公司及參股公司情況 . 6 表 5：公司前五大最終客戶情況 . 7 表 6：公司主要產品產銷規模 . 8 表 7

20、：公司主要供應商名稱 . 10 表 8：公司主營業務收入按產品構成情況 . 10 表 9：與國內同行業可比公司毛利率比較 . 13 表 10：公司擁有的部分核心專利情況 . 15 表 11：公司承擔的重大科研項目 . 16 表 12：2020 年全球半導體設備廠商 TOP5 . 19 表 13：中國大陸主要本土晶圓廠設備的國產化情況 . 20 表 14：中國國產清洗設備招標數量明細 . 24 表 15：清洗設備技術路線 . 24 表 16：濕法清洗設備對比 . 25 表 17：盛美上海與國內外可比企業清洗設備技術對比情況 . 26 表 18：盛美上海半導體清洗設備產品線 . 26 表 19：公

21、司正在研發的主要清洗設備的項目進展 . 29 表 20：公司清洗設備銷售情況. 31 表 21：盛美上海電鍍設備產品系列 . 33 表 22：公司半導體電鍍設備的銷量和單價變動情況 . 35 表 23：立式爐管設備分類及公司布局 . 36 表 24：盛美上海半導體立式爐管設備 . 37 表 25：盛美上海半導體先進封裝濕法設備 . 39 表 26：公司先進封裝濕法設備的銷量和單價變動情況 . 40 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 表 27：盛美半導體高端半導體設備研發項目 . 41 表 28：盛美上海

22、營業收入及毛利率按業務拆分及預測 . 44 表 29：公司盈利預測表 . 45 表 30：同業半導體設備公司估值水平對比情況 . 46 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 1 公司公司概覽概覽：全球化的全球化的半導體半導體平臺型設備平臺型設備公司公司 主營業務：主營業務：清洗設備起家，擴展多品類，差異化發展清洗設備起家，擴展多品類，差異化發展 公司公司概況概況：盛美半導體設備（上海）有限公司成立于盛美半導體設備（上海）有限公司成立于 2005 年，年，為國內半導體設備領為國內半導體設備領域領先企業域領先企

23、業。公司堅持差異化競爭和創新的發展戰略，自主研發單片兆聲波清洗技術、單片槽式組合清洗技術、電鍍技術、無應力拋光技術和立式爐管技術等，具備國際競爭力。公司產品大多已經通過國內外主流晶圓制造、先進封裝企業的驗證，成為海力士、成為海力士、長江存儲、華虹集團、中芯國際等全球行業知名半導體企業的供應商長江存儲、華虹集團、中芯國際等全球行業知名半導體企業的供應商，取得了良好的市場口碑。公司 2021 年營業收入/凈利潤 16.21/2.66 億元，同比增長 60.88%/35.31%。過去五年營收/凈利潤 CAGR 分別為 59.01%/122.47%，成長迅速。 圖 1：公司發展歷程和主要產品的演變情況

24、 資料來源：公司招股說明書，公司官網，中信證券研究部 主營構成：主營構成：半導體清洗設備半導體清洗設備和和先進封裝濕法設備先進封裝濕法設備生產生產為公司核心業務，為公司核心業務，2021 年年收入收入占比為占比為 65.14%/13.44%。按照最新年報口徑，公司主營業務包括以下三三大類：大類： 1）清洗）清洗設備：設備：2021 年營收年營收 10.56 億元，占比億元，占比 65.14%，同比增長，同比增長 29.34%。清洗設備用于避免雜質影響芯片良率和芯片產品性能，隨著芯片制造工藝先進程度的持續提升，對晶圓表面污染物的控制要求不斷提高，每一步光刻、刻蝕、沉積等重復性工序后，都需要一步清

25、洗工序。公司半導體清洗設備分為單片清洗設備、槽式清洗設備和單片槽式組合清洗設備，均用于集成電路制造或先進封裝領域。 單片清洗設備單片清洗設備：是公司最早開發和銷售的設備品類，技術水平達到國際領先水平，為公司的主要產品和主要收入來源。主要應用于 45nm 及以下技術節點的晶圓清洗領域，可有效解決刻蝕后有機沾污和顆粒的清洗難題。 槽式清洗設備槽式清洗設備：將待清洗晶圓放入溶液中浸泡去除污染物，應用廣泛、產能高、成本低，但是無法滿足 28nm 及以下技術節點要求，收入占比較小。 單片槽式組合清洗設備單片槽式組合清洗設備：清洗效果與工藝適用性可與單片清洗設備相媲美，與單片清洗設備相比，可大幅減少硫酸使

26、用量，技術水平國際領先，已經在國內大客戶端得到初步驗證，是公司差異化發力點之一。 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 2 2）先進封裝濕法設）先進封裝濕法設備：備：2021 年營收年營收 2.18 億元，占比億元，占比 13.44%，同比增長，同比增長 120.95%。公司基于先進的集成電路前端濕法清洗設備的技術，將產品應用拓展至先進封裝應用領域。目前公司在先進封裝行業的產品領域已覆蓋各類單片濕法設備，包括清洗設備、涂膠設備、顯影設備、濕法去膠設備、濕法刻蝕設備等。 3）其他半導體設備：其他半導體設備：包

27、括包括電鍍、立式爐管、無電鍍、立式爐管、無應力拋銅等設備，應力拋銅等設備，2021 年營收年營收 2.74億元，占比億元，占比 16.88%，同比增長，同比增長 352.44%。 電鍍設備：電鍍設備：將電鍍液中的金屬離子電鍍到晶圓表面形成金屬互連，實際應用中通常采用電鍍設備配合氣相沉積設備、刻蝕設備、清洗設備等，完成銅互連工藝。 先進封先進封裝電鍍設備裝電鍍設備：應用于晶圓級封裝，公司專利技術解決了晶圓平邊或缺口區域的膜厚均勻性控制問題，打破國際巨頭的壟斷。 前道銅互連電鍍前道銅互連電鍍：采用公司自主研發的多陽極局部電鍍銅核心技術，可以在超薄籽晶層上實現均勻電鍍，大幅提高小孔內無氣穴電鍍的工藝

28、窗口。 無應力拋光（無應力拋光（SFP）設備：設備： 前道銅互連拋銅設備。前道銅互連拋銅設備。為克服化學機械拋光（CMP）技術可能造成的晶圓表面劃傷等缺陷使用，公司在全球范圍首次提出無應力拋光（SFP）概念，采用電化學原理，根除 CMP 機械壓力對金屬布線的損傷，該技術可以用于 5nm及 3nm 以下的銅互連工藝。 后道先進封裝無應力拋銅設備：后道先進封裝無應力拋銅設備：公司針對先進封裝中 3D TSV、2.5D 硅中介層、RDL、HD Fan-out 等金屬層平坦化應用，自主研發了具有全球知識產權保護的無應力拋光設備，該設備具有工藝無應力、拋光電化學液可重復使用從而降低耗材成本和工藝環保排放

29、少等特點。 立式爐管設備立式爐管設備：立式爐可批式處理晶圓，按照工藝壓力和應用可以分為常壓爐和低壓爐兩類，常壓爐主要完成熱擴散摻雜，薄膜氧化，高溫退火；低壓爐主要實現不同類型的薄膜在晶圓表面的沉積工藝，主要是多晶硅，氮化硅，氧化硅等薄膜。公司研發的立式爐管設備首先集中在 LPCVD （低壓化學氣相沉積）設備，再向氧化爐和擴散爐發展，而后進入到 ALD 設備應用。 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 3 圖 2：盛美上海主要業務及下游代表性客戶情況 資料來源：公司招股說明書，公司官網，公司年報，中信證券研究

30、部 核心人員：核心人員：創始人創始人多年海外多年海外產業經驗，扎實自主培育核心人才產業經驗，扎實自主培育核心人才 創始人：創始人：40 年半導體設備研究背景，年半導體設備研究背景，擁有多年美、日產業經驗擁有多年美、日產業經驗。公司的實際控制人為王暉博士，1961 年 11 月出生，1978 年考入清華大學精密儀器系，1984 年赴日本大阪大學主攻半導體設備及工藝的工學碩士及博士，碩士時期做了化學機械拋光（CMP）的研究，博士期間主要研究離子注入及表面的改質。王暉畢業后去美國，1993 年加入了Quester Technology 公司，主要從事大氣壓 CVD 設備及工藝相關工作，從工藝工程師到

31、研發部經理，期間獲得 6 項美國專利。1998 年，在硅谷創辦 ACM Research (ACMR)，發明多陽極局部電鍍銅、無應力銅拋光技術及工藝。王暉博士為現任盛美公司董事長，同時兼任美國 ACMR 的董事長和首席執行官，王暉作為公司的董事長，負責公司整體戰略規劃，并作為核心技術人員為公司的技術研發方向提供指導和支持。 研發研發團隊團隊：技術研發人技術研發人員占比員占比 45%，自主培養和引進相結合，核心自主培養和引進相結合，核心研發團隊研發團隊穩定穩定。公司高度重視技術研發團隊建設和培養，鼓勵自主創新和獨立研發。截至 2021 年 12 月31 日，公司員工總數為 869 人，其中技術研

32、發人員 391 人，占公司員工人數約 45%。2021 年研發人員人均薪酬為 36.93 萬元，同比增加 24.18%。公司堅持自主培育技術人才，核心技術團隊大多在公司具有長期研發經驗，團隊穩定性高。核心管理層核心管理層皆皆為技術為技術背景，背景，總經理王堅先生為機械專業碩士、計算機科學專業碩士，成功研發無應力銅拋光和電化學鍍銅技術，參與申請發明專利 100 余項，負責多項重大科研項目。副總經理陳福平先生為材料學專業碩士，具有多年從業經驗，發表學術論文 5 篇，參與申請發明專利 100 余項。 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱

33、讀正文之后的免責條款部分 4 表 1：公司員工的專業結構（截至 2021 年 12 月 31 日） 員工專業結構員工專業結構 人數（名）人數（名） 占員工總數比例（占員工總數比例（%） 行政人員 91 10.47% 市場銷售人員 14 1.61% 售后服務人員 185 21.29% 生產人員 173 19.91% 財務人員 15 1.73% 技術研發人員技術研發人員 391 44.99% 合計合計 869 100% 資料來源：公司招股說明書，公司年報，中信證券研究部 表 2：公司核心人員及簡歷 姓名姓名 職位職位 簡歷簡歷 HUI WANG（王暉） 董事長 精密工學專業博士，上海市“浦江人才計

34、劃”獲得者。精密工學專業博士，上海市“浦江人才計劃”獲得者。1994 年 2 月至 1997 年 11 月，擔任美國 Quester Technology Inc.研發部經理。1998 年 5 月至今任美國 ACMR 董事長、首席執行官、盛美半導體董事長。 王堅 董事、 總經理 機械專業碩士、計算機科學專業碩士。機械專業碩士、計算機科學專業碩士。1986 年 7 月至 1987 年 4 月任杭州西湖電視機廠技術員，1996 年 4 月至 1999 年 12 月任日本富士精版印刷株式會社技術員，2001 年 12 月至 2019 年 4 月歷任盛美半導體工藝工程師、副總經理，2019 年 5 月

35、至今任盛美半導體總經理，2020 年 7 月至今任盛美半導體董事。成功研發無應力銅拋光和電化學鍍銅技術，參與申請發明專利 100 余項，負責多項重大科研項目。 SOTHEARA CHEAV 副總經理 電子技術專業學士。電子技術專業學士。2007 年 3 月至 2014 年 12 月歷任盛美半導體制造部經理、制造部總監。2015 年 1 月至今任盛美半導體副總經理。 陳福平 副總經理 材料學專業碩士。材料學專業碩士。2006 年 4 月至 2010 年 1 月歷任海力士半導體（中國）有限公司工程師、副經理，2010 年1 月至 2017 年 12 月歷任盛美半導體項目經理、技術經理、技術總監、資

36、深總監。2018 年 1 月至今任盛美半導體副總經理，參與并成功研發了先進封裝濕法設備、SAPS 單片清洗設備、TEBO 單片清洗設備、Tahoe 單片槽式組合清洗設備、全自動槽式清洗設備，期間發表學術論文 5 篇，參與申請發明專利 100 余項。 王俊 電氣工程副總裁 電子與通信工程專業碩士。電子與通信工程專業碩士。2007 年 5 月至 2020 年 4 月歷任盛美半導體電氣工程經理、高級經理、電氣工程總監，2020 年 5 月至今任盛美半導體電氣工程副總裁，負責所有設備電氣控制系統的設計與團隊建設。參與TEBO 單片清洗設備和 Tahoe 單片槽式組合清洗設備相關專利申請，負責中國 02

37、 科技重大專項研發項目“65-45nm 銅互連無應力拋光設備研發”、“20-14nm 銅互連鍍銅設備研發與應用”及上海市戰略性新興產業重大項目“單片槽式組合清洗機研發與產業化”項目電氣控制系統的開發。 李學軍 售后服務副總裁 電氣自動化專業學士。電氣自動化專業學士。2009 年 5 月至 2020 年 4 月歷任盛美半導體售后服務經理、高級經理、售后服務總監，2020 年 5 月至今任盛美半導體售后服務副總裁，負責為客戶提供技術服務及售后服務團隊建設。參與半導體清洗設備相關技術研發及專利申請，為公司主要客戶提供產品技術支持和解決方案，專注提升客戶生產效率和產品良率。 LISA YI LU FE

38、NG 財務負責人 會計學碩士。會計學碩士。2004 年 1 月至 2008 年 8 月任 Lumenis Inc.區域財務總監，2008 年 8 月至 2017 年 9 月任Amlogic (CA)Co.,Inc.財務總監，2017 年 9 月至 2019 年 11 月任美國 ACMR 財務總監。2019 年 5 月至今任盛美半導體財務負責人。 資料來源：公司招股說明書，中信證券研究部 股權分析：股權分析：母子公司兩地分別上市母子公司兩地分別上市，創始人創始人擁有實際擁有實際控制權控制權 盛美上海與控股股東盛美上海與控股股東 ACMR 分別在分別在上海上?？苿摪搴涂苿摪搴兔绹绹{斯達克上市，

39、納斯達克上市，ACMR 僅為控僅為控股公司，股公司，無實際業務無實際業務。公司控股股東美國 ACM Research, Inc (ACMR)于 1998 年 1 月在美國加利福尼亞州成立，自成立起即開始從事半導體專用設備的研發工作。2005 年，年，ACMR 在上海投資設立了公司的前身盛美有限，在上海投資設立了公司的前身盛美有限，并將其前期研發形成的半導體專用設備并將其前期研發形成的半導體專用設備相關技術使用權投入盛美有限相關技術使用權投入盛美有限，并以盛美有限為主體繼續開展持續的研發和技術積累工作。ACMR 于 2017 年 11 月在美國 NASDAQ 股票市場上市，ACMR 為控股型公司

40、，未為控股型公司，未實際從事其他業務，其通過盛美上海開展半導體專用設備的研發、生產和銷售實際從事其他業務，其通過盛美上海開展半導體專用設備的研發、生產和銷售。IPO 上市前 ACMR 持有盛美上海的 91.67%的股權；ACMR 持有 ACM Research (Cayman), Inc. 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 5 以及 ACM RESEARCH (SINGAPORE) PTE. LTD 的 100%股權，位于開曼群島和新加坡的以上兩個實體無實際經營業務。 表 3：美國 ACMR 主要股東投

41、票權分布情況（截至 2021 年 6 月 30 日） 序序號號 股東名稱股東名稱/姓名姓名 A類普通股類普通股 股份數（股）股份數（股） B 類普通股類普通股 股份數（股）股份數（股） 投票權投票權比例比例 1 HUI WANG 168,006 1,146,934 44.59% 2 SOPHIA WANG 15,279 117,334 4.56% 3 BRIAN WANG - 117,334 4.53% 4 HAIPING DUN 285,030 100,000 4.41% 5 Shanghai Science and Technology Venture Capital Co., Ltd（上

42、?？萍紕摌I投資有限公司） 1,506,170 - 2.91% 6 Pudong Science and Technology (Cayman) Co., Ltd 1,119,576 - 2.16% 7 Xinxin (Hongkong) Capital Co., Limited（鑫芯（香港）投資有限公司） 833,334 - 1.61% 合計合計 3,927,395 1,481,602 64.77% 資料來源：公司招股說明書，中信證券研究部 截至截至 2022 年年 3 月月 31 日日，盛美上海盛美上海 82.5%股權由股權由 ACMR 持有，持有，ACMR 44.59%投票投票權權由創始人

43、王暉博士擁有，王暉由創始人王暉博士擁有，王暉博士擁有對博士擁有對 ACMR 和盛美上海的實際控制權和盛美上海的實際控制權。盛美上?？苿摪迳鲜泻?，美國 ACMR 持股 82.86%，其余股份為芯維咨詢、上海集成電路產投、浦東新產投等機構投資者或社會公眾股東所持有。截至 2021 年 6 月 30 日，公司創始人王暉博士持有美國 ACMR 168,006 股 A 類股股票和 1,146,934 股 B 類股股票，合計持有美國 ACMR 投票權比例為 44.59%，對 ACMR 和盛美上海擁有實際控制權。 圖 3：盛美上海股權結構圖 (截至 2022 年 3 月 31 日) 資料來源：公司招股說明書

44、，公司公告，中信證券研究部 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 6 盛美韓國、盛美加州盛美韓國、盛美加州為盛美上海的為盛美上海的海外海外全資全資子子公司，公司，負責韓國、美國加州的負責韓國、美國加州的產品產品研研發、采購、銷售等發、采購、銷售等。隨著公司經營規模的擴大、與海力士的合作關系的深入、建立全球化經營體系的戰略布局，盛美韓國于 2017 年成立，公司在韓國組建了專業的研發團隊，依靠韓國在半導體機械電子領域的人才優勢，研發用于公司產品的相關技術，提升公司產品性能，同時組建了原材料采購團隊，為公司采購

45、相關零部件。盛美加州于 2019 年成立，組建了原材料采購團隊，主要負責半導體設備零部件的境外采購。 表 4：盛美上海的控股子公司及參股公司情況 名稱名稱 與公司所屬關系與公司所屬關系 主要業務主要業務 香港清芯 境外控股子公司 半導體專用設備的銷售，盛美出口業務銷售平臺 盛美韓國 境外控股子公司 半導體專用設備的研發、生產和銷售，為盛美進行半導體專用設備和零部件的研發和采購 盛美加州 境外控股子公司 半導體專用設備所需的部分零部件的境外采購 盛美無錫 境內控股子公司 半導體專用設備的售后服務，為盛美部分客戶提供產品售后服務 盛帷上海 境內控股子公司 擬從事半導體專用設備的研發、生產和銷售，正

46、在籌建中，未實際開展業務 盛美北京 境內控股子公司 半導體器件專用設備技術開發、技術服務、產品設計、銷售 盛奕科技 參股公司 半導體專用設備的零部件生產與銷售 石溪產恒 參股公司 創業投資、咨詢及創業管理服務 青島聚源 參股公司 股權投資、資產管理 資料來源：公司招股說明書，公司年報，Wind，中信證券研究部 參股參股 Ninebell 機器人手臂公司機器人手臂公司 20%股權，王暉博士任董事，核心零部件獨家供應。股權，王暉博士任董事，核心零部件獨家供應。公司供應商中 Ninebell 是專注于生產機器人手臂的公司，工藝技術水平較高，其機器人手臂產品與公司產品具有較好的匹配性，因此為盛美清洗設

47、備的傳送系統中機器人手臂的主要供應商。為進一步加深雙方的業務合作關系，盛美控股股東 ACMR 持有其 20%的股權，且盛美董事長王暉博士兼任 Ninebell 董事，因此 Ninebell 為公司的關聯方。 上下游關系：上下游關系：產品產品進入進入國際國際、國內、國內頭部頭部半導體半導體大廠大廠供應鏈供應鏈 前五大客戶占比逐年降低，客戶中國大陸前五大客戶占比逐年降低，客戶中國大陸為主，拓展海外客戶為主，拓展海外客戶。2018-2021 年，公司向前五名最終客戶合計銷售額占當期銷售總額的比例分別為 92.49%、87.33%、83.36%和 54.97%，客戶集中度逐步下降，主要由于客戶擴展貢獻

48、。其中，2020 年公司最大客戶為華虹集團，占比 33.46%，其次為長江存儲 22.14%。在這些主要客戶中，除了海力士和 Nepes 為韓國客戶外，其他均來自中國大陸和中國臺灣。根據 2021 年報，除了已有的長江存儲、華虹集團、海力士、中芯國際、長鑫存儲、長電科技、通富微電、中芯長電、Nepes、金瑞泓、臺灣合晶科技、中科院微電子所、上海集成電路研發中心、華進半導體、士蘭微、芯恩半導體、晶合、中科智芯、芯德等主要客戶的重復訂單之外，2021 年公司新增了五家大陸地區以外的知名客戶，國際化發展展現良好勢頭。 盛美上海（盛美上海（688082.SH）投資價值分析報告投資價值分析報告2022.

49、5.12 請務必閱讀正文之后的免責條款部分 7 圖 4：公司向前五名客戶合計銷售額比例 資料來源：公司招股說明書，公司年報，中信證券研究部 表 5：公司前五大最終客戶情況 92.49%87.33%83.36%54.97%0%10%20%30%40%50%60%70%80%90%100%20182019202020212021 年年 1-6 月月 序號序號 公司名稱公司名稱 金額（萬元）金額（萬元） 占比占比 設備名稱設備名稱 1 長江存儲 22,748.37 36.38% 單片清洗設備 2 華虹集團 14,869.12 23.78% 單片清洗設備、槽式清洗設備、先進封裝濕法設備 3 海力士 6

50、,321.85 10.11% 單片清洗設備 4 長電集成電路（紹興）有限公司 2,896.37 4.63% 半導體電鍍設備、先進封裝濕法設備 5 北京屹唐科技有限公司 2,536.75 4.06% 單片清洗設備 合計合計 49,372.47 78.96% 2020 年度年度 序號序號 公司名稱公司名稱 金額（萬元）金額（萬元） 占比占比 設備名稱設備名稱 1 華虹集團 33,708.94 33.46% 單片清洗設備、槽式清洗設備、單片槽式組合清洗設備、先進封裝濕法設備、立式爐管設備 2 長江存儲 22,302.58 22.14% 單片清洗設備 3 中芯國際 12,749.31 12.65% 單