制程提升，晶體管密度提升速度顯著放緩。作為摩爾定律的有效表征之一，晶體管密度在過去 60年快速增長。2011年 28nm制程的晶體管密度可達 13.31百萬個/mm2，2020 年的 5nm 制程的晶體管密度為 171.3 百萬個/mm2，對應晶體管密度的復合增速為 32.83%。然而，5nm 以下制程，其晶體管密度的復合增速便降為個位數，增速顯著放緩。盡管隨著技術迭代，晶體管密度的絕對值仍然會上升，但是所付出的成本將會快速提升。粗略估計，7nm 制程萬片 月產能對應資本開支為 25 億美元，而5nm 制程萬片 月產能對應資本開支則超過 40 億美元。晶體管密度增速的下降以及對應資本開支的不斷上 ，充分表明摩爾定律 在逐 失效。