硅錠截斷工藝(金剛石線切割及內徑金剛石鋸) 直徑有一定的偏差,外形直徑也不符合最終拋光片所規定的尺寸要求,故單晶棒在切片加工前必須在X射線定向儀上,根據集成電路技術要求參照SEMI標準對硅單晶棒的外圓表面進行定向、磨削(滾磨)加工。通過對單晶棒的滾磨加工,使其表面整形達到基本的直徑及公差的要求,并確定其定位面的位置及基本尺寸。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位