成熟制程依然是主導，DUV貢獻穩健收入。根據TrendForce，預計 2023~2027年全球晶圓代工的成熟制程（22nm 及以上）與先進制程（16nm 及以下）的產能比重維持在 7:3，成熟制程仍然是全球晶圓市場的中流砥柱。對應到光刻設備需求上，ASML 的 DUV 收入穩健提升，2020 至 2023 年 3 年 CAGR達 31%，其中高價值量的浸沒式 ArFi 光刻機貢獻主要增量，在 DUV 收入中占比七成以上。