臭氧氧化法在設備改造難度、中低溫煙氣治理等方面具有一定優勢。盡管 SCR、SNCR 等還原脫硝法在火電領域處于主流地位，近年來，臭氧氧化法逐漸體現出其獨特優勢：便于在成熟濕法煙氣脫硫 WFGD 技術基礎上進行改造，工程量小，工期短；反應迅速徹底，無二次污染；可同時去除 VOCs、汞、二噁英等；無須貴金屬催化劑，較 SCR法運營成本低等。除此之外，臭氧氧化法對于中低溫煙氣具有更好的脫硝能力，適用于非電行業治理需求。