
電子半導體為潔凈室最大下游,潔凈室等級直接影響下游行業產品良率。潔凈室下游應用領域主要包括電子半導體、食品醫藥等領域,其中電子半導體占比 55%,為潔凈室的最大下游。對于半導體行業來說,潔凈室是制造環節中重要的一環,直接影響產品良率。集成電路產業鏈幾乎所有的主要環節,如單晶硅片制造和 IC 制造及封裝都需要在潔凈室中完成,且隨著技術的進步,集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言,當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒,對集成電路的制造產生影響。比如,14 納米工藝中 7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高,目前 3 納米的工藝已經開始研發,對于潔凈室工程技術提出越來越高的要求。