1 碳化硅是什么材料
半導體指的是在常溫下導電能力在導體和絕緣體之間的電子材料,電阻率大約在1mΩ.cm~1GΩ.
cm之間。主要應用領域包括制造集成電路、光電子器件、分立器件和傳感器四類產品。
第一代半導體主要有硅和鍺,廣泛應用于集成電路等低壓、低頻、低功率場景。但第一代半導體材料無法保證高功率及高頻器件需求。于是衍生出第二代半導體材料砷化鎵等,應用在光電子和微電子領城。但砷化鎵材料的禁帶寬度較小、擊穿電場低且具有毒性,無法在高溫、高頻、高功率器件領城推廣。
于是第三代半導體材料衍生出來,第三代半導體材料以碳化硅、氮化鎵為代表,比較前兩代半導體材料,最大的優勢是禁帶寬度較寬,保證了它能夠擊穿更高的電場強度,適合制備耐高壓、高頻的功率器件,是電動汽車、5G基站、衛星等新興領城的理想材料。

2 碳化硅的性能特點
(1)開關損耗、導通損耗較低。與IGBT器件不同的是, SiC MOS的拖尾電流大大減少,所以開關損耗降低;更低的導通電阻降低了導通損耗。
(2)耐高壓。擊穿電場強度大,是硅的10倍,用碳化硅制備器件可以極大地提高耐壓容量、工作頻率和電流密度。
(3)耐高溫。半導體器件在較高的溫度下,會產生載流子的本征激發現象,造成器件失效。禁帶寬度越大,器件的極限工作溫度越高。碳化硅的禁帶接近硅的 3倍,可以保證碳化硅器件在高溫條件下工作的可靠性。硅器件的極限工作溫度一般不能超過300℃,而碳化硅器件的極限工作溫度可以達到 600℃以上。
(4)熱導率比硅更高,有助于碳化硅器件的散熱,在同樣的輸出功率下保持更低的溫度,碳化硅器件可能對散熱的設計要求更低,有助于實現設備的小型化。
3 碳化硅產業鏈
上游是碳化硅襯底材料的制備、中游是外延層的生長、器件制造,下游是應用市場,通常采用物理氣相傳輸法(PVT
法)制備碳化硅單晶,再在襯底上使用化學氣相沉積法(CVD
法)生成外延片,最后制成器件。在SiC器件的產業鏈中,主要價值量集中于上游碳化硅襯底(占比50%左右)。

4 國內碳化硅主要上市公司
國內碳化硅主要上市公司有三安光電、露笑科技、楚江新材、天通股份、東尼電子、華潤微、揚杰科技、捷捷微電、華微電子、斯達半導、聞泰科技、海特高新

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