半導體硅片是什么？分類有哪些？國內主要生產廠商一覽

1 半導體硅片是什么

半導體硅材料的英文全稱是semiconductor silicon，它是最主要的元素半導體材料，分為硅多晶、硅單晶、硅片、硅外延片、非晶硅薄膜等，可直接或間接用于制備半導體器件。而半導體硅片是半導體材料的一大類型。

2 半導體硅片分類

半導體硅片按技術工藝可分為拋光片、外延片與以 SOI 硅片為代表的高端硅基材料，不同的硅片應用于不同的領域，由于SOI硅片擁有極高性能，被廣泛應用于高端芯片中，單晶硅錠經過切割、研磨和拋光處理后得到拋光片。拋光片經過外延生長形成外延片，拋光片經過氧化、鍵合或離子注入等工藝處理后形成 SOI 硅片。拋光片可直接用于制作半導體器件，廣泛應用于存儲芯片與功率器件等。

3 半導體硅片生產設備

單晶爐：拉制單晶硅柱

截斷機、滾磨機：對晶棒進行掐頭去尾、徑向研磨、開槽

切片機：將晶棒切割成目標厚度的硅片

倒角機：對硅片邊緣進行去角處理，得到光滑的邊緣

研磨設備：清除大部分表面損傷，形成平坦表面

CMP拋光機：更精細的研磨，得到完全光滑的表面

清洗設備：清洗表面顆粒及雜質

檢測設備：檢測硅片尺寸、外觀、平整度、電性能

4 半導體硅片生產廠商

(1)硅產業：是中國大陸規模最大的半導體硅片企業之一，亦是中國大陸率先實現300mm半導體硅片規?；N售的企業，并且在特殊硅基材料 SOI 硅片領域具有較強的競爭力

(2)中環股份：主要產品包括高效光伏電站、太陽能電池片、太陽能單晶硅棒/片、半導體硅錠、76.2-200mm拋光片、TVS保護二極管GPP芯片。 2019 年募集資金建造月產15萬片300mm拋光片生產線

(3)立昂微電：主營業務為半導體硅片以及半導體分立器件芯片的研發、生產和銷售，產品包括150-200mm半導體硅片、肖特基二極管芯片、 MOSFET芯片

(4)上海/重慶超硅半導體公司：主營業務包括為硅片制造、藍寶石制造和人工單晶生長等，具備 拋光片、外延片產品生產技術

(5)有研半導體材料公司：主要從事硅材料的研究、開發、生產，主要產品包括集成電路用、功率集成電路125-200mm硅單晶及硅片 150mm 及以下區熔硅單晶及硅片、集成電路工藝設備用超大直徑硅單晶及硅部件等

(6)南京國盛電子公司：主營產品包括100-200mm各類外延片

(7)普興電子科技公司：主要從事高性能半導體材料的外延研發和生產，其主要產品150-200mm硅基外延片、氮化鎵外延片和碳化硅單晶及外延片

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