馬珺瑛-精密儀器如何解決半導體廠務中的難題.pdf

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1、精密儀器如何解決半導體廠務中的難題精密儀器如何解決半導體廠務中的難題2023/05珠海梅特勒托利多 馬珺瑛半導體廠務三大難題 超純水遇上先進制程先進制程-獨家提供的0.5%電阻率傳感器 化學品化學品符合工藝要求嗎-化學品實驗室分析-拋光液配液-化學品稀釋-電子特氣供給 為什么廢水處理傳感器壽命短壽命短？-怎樣預防pH堵塞2For internal use-Confidential超純水專用電阻率傳感器 UPW UniCondTM新突破：精度提高至0.5%！3For internal use-Confidential電阻率精度 0.5%（溫度補償至25C）穩定性0.003 Mcm(典型Rinse

2、后標準偏差)電極診斷功能ISM智能診斷與變送器通訊ISM數字通信,即插即測超純水電阻率檢測關鍵點超純水供給化學品配液浸沒式光刻光刻前清洗CMP后清洗1%精度意味著:當傳感器讀數為18.18時，實際值可能已經低于18.00的控制線！0.5%精度意味著:更及時發現異常，提高晶圓制造良率，減少停機風險1%誤差范圍0.5%誤差范圍讀數晶圓廠控制限值Rinse-to-Resistivity助力氣化科：高精度電子化學品檢測實驗室滴定和在線滴定解決方案4自動電位滴定儀自動進樣機密封滴定智能稱量在線滴定系統產品產品指標分析指標分析刻蝕液H2O2、HNO3/HF、HNO3/CH3COOH、TMAH混酸HCl、H

3、F、H3PO4、HNO3/HF/H2SiF6、HF/NH4F、KOH清洗劑、剝離液H2O2/H2SO4、NH4OH/H2O2、HCl/H2O2、CH3COOH、NaOH槽液、非堿性槽液、KOH/KOH/、KOH/KMnO4、鐵金屬表面混酸清洗、表面活性劑和螯合劑的清洗劑、Na3PO4、KOH氰化物（黃金剝離）切削液、研磨液水分測試、SiC(水分、300 ppm)、新鮮PEG、新鮮和用過的研磨液(2:自動觸發清洗+耐用電極7For internal use-Confidential 智能電極管理系統智能電極管理系統 自動觸發清洗自動觸發清洗 EasyClean自動清洗套件自動清洗套件-氣洗、水洗

4、、化學清洗-利用氣蝕效應的專利噴頭02468101214含銅廢水含氨廢水研磨液廢水電極平均壽命（月）不同點位電極壽命（超聲波清洗環境下）其他品牌MT梅特勒價值鏈-半導體行業8For internal use-Confidential廠務分析實驗室廠務分析實驗室超純水實時監測超純水實時監測廢水及化學品回收廢水及化學品回收氣化配料及中央供給氣化配料及中央供給多參數分析儀自動進樣機器自動點位滴定儀LabX數據管理軟件在線/便攜分析儀表-pH/電導率/DO/TOC/硅表/濁度/微生物等自動清洗套件iSense校正軟件濃度計/在線滴定等在線分析儀表稱重模塊/平臺秤/車輛衡梅特勒-托利多中國在上海、常州、成都設立制造基地及研發中心、并擁有遍布全國的銷售及服務網絡 梅特勒-托利多是全球領先的精密儀器及衡器制造商與服務供應商 產品適用于實驗室、制造業和零售服務業。9四川成都江蘇常州上海江蘇常州