《半導體行業跟蹤報告之十：半導體空氣過濾器壁壘深厚美?？萍季邆淙蚋偁幜?240306（34頁）.pdf》由會員分享，可在線閱讀，更多相關《半導體行業跟蹤報告之十：半導體空氣過濾器壁壘深厚美?？萍季邆淙蚋偁幜?240306（34頁）.pdf（34頁珍藏版）》請在三個皮匠報告上搜索。

1、證券研究報告證券研究報告 半導體空氣過濾器壁壘深厚，美?？萍季邆淙蚋偁幜Π雽w空氣過濾器壁壘深厚，美?？萍季邆淙蚋偁幜?2024年3月6日 作者：作者：劉凱劉凱 執業證書編號：執業證書編號：S09305S093051711710000200002 半導體行業跟蹤報告之十 請務必參閱正文之后的重要聲明 核心觀點核心觀點 2 空氣過濾器行業市場空間廣闊，半導體市場壁壘深厚?？諝膺^濾器行業市場空間廣闊，半導體市場壁壘深厚。根據中研網數據，預計2025年我國空氣過濾器行業市場規模會達到150億元（以 8%的增長率測算）。在潔凈室過濾器領域，主要廠商包括愛美克AAF、康菲爾Camfil、美?？萍嫉?。

2、潔凈室指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需求進行控制的密閉性較好的空間，按照特定的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。污染敏感零件的批量生產需要在潔凈室中完成。潔凈室需使用風機過濾單元（FFU）進行空氣過濾以及高架地板進行空氣循環?？諝庵械奈⒘舛仍降?，潔凈室的潔凈度越高。芯片制造的全產業鏈從高端半導體制造、IC 制 造、封裝測試等各環節都離不開極高潔凈度空氣的環境保障?？諝鉂崈艏夹g是半導體產業發展的重要基石和保障。隨著芯片領域的技術不斷突破和升級，晶圓加工的生產環境及核心設備光刻機的運行環境對空氣潔凈度有著極高的要求，這也對空氣凈化設備廠商提出了極高的

3、要求。美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力。美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力。美?？萍汲闪⒂?001 年，二十余年以來始終聚焦于半導體、生物制藥、公共醫療衛生等領域的工業級超潔凈技術的研發和應用，并將這一技術進一步轉化應用于商用人居和工業除塵及 VOCs 治理等細分市場。公司專利數量、產品參數、品牌聲譽、市占率水平均領先國產廠商、對標海外龍頭。公司立足于中國市場，不斷向東南亞等半導體新興產業區域布局，目前已經擁有 7 個境內生產基地和2 個境外生產基地，客戶覆蓋中芯國際、ST Microelectronics 等國內外半導體龍頭廠商。2021 年底，公司獲國家級專精

4、特新“小巨人”企業稱號，成為國內電子半導體潔凈室設備龍頭。美?？萍荚趪鴥韧獍雽w客戶獲得全面突破。美?？萍荚趪鴥韧獍雽w客戶獲得全面突破。公司以 20 多年積累的研發技術實力和客戶專業工藝制程應用經驗，為半導體潔凈室客戶提供針對性解決方案。公司自 2002 年起進入半導體潔凈室領域，2006 年至今為中芯國際(688981.SH)成都、武漢、上海、北京、天津、深圳、寧波、江陰、紹興等工廠供應 FFU、高效/超高效過濾器、化學過濾器等產品，用于保障中芯國際系的歷代產品線(包括中芯國際最先進的 14nm 和 28nm 制程)對空氣潔凈度的要求。同時，公司為開發國內首臺 28 納米光刻設備的上海微電

5、 子裝備(集團)股份有限公司所需的光刻機機臺內國際最高潔凈等級標準(ISO Class 1 級)潔凈環境提供 EFU(超薄型設備端自帶風機過濾機組)及 ULPA(超 高效過濾器)等產品，亦已驗收合格，助力國內光刻機事業突破卡脖子技術難題。此外，在海外市場，公司系 Intel、ST Microelectronics 等國際半導體廠商的合格 供應商，為其提供空氣凈化產品。投資建議：投資建議：半導體過濾器行業建議關注美?？萍?。根據WIND一致預期，美?？萍?024-2025年凈利潤2.38、3.01億元，2024年3月5日公司市值45億元，對應2024-2025年PE為19x、15x。風險分析：風險

6、分析：半導體下游需求不及預期、中美貿易摩擦反復、技術進展不及預期風險。請務必參閱正文之后的重要聲明 目錄目錄 3 1 1、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元 2 2、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚 3 3、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 4 4、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?5 5、風險提示、風險提示 請務必參閱正文之后的重要聲明 4 1.11.1、什么是

7、空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元 空氣過濾器：空氣過濾器：空氣過濾器是通過多孔過濾材料的作用從氣固兩相流中捕集粉塵，并 使氣體得以凈化的設備。它把含塵量低的空氣凈化處理后送入室內，以保證潔凈室的工藝要求和一般空調房間內的空氣潔凈度。根據 GB/T14295-2019空氣過濾器、GB/T 6165-2008高效空氣過濾器性能試驗方法效率和阻力及 GB/T13554-2020高效空氣過濾 器，空氣過濾器按過濾效率分為 6 大類，即初效過濾器、中效過濾 器、高中效過濾器、亞高效過濾器、高效過濾器及超高效過濾器。其中，初效過濾器對標準人工塵計重效率不低于

8、 10%或對粒徑 2.0 微 米以上塵埃粒子過濾效率不低于 20%，相當于歐洲標準 G1G4;中效、高中效及亞高效過濾器對粒徑 0.5 微米以上的塵埃粒子過濾效率介于 20%至 99.9%之間，分別相當于歐洲標準 M5M6、F7F8、F9E11;高效過濾器對粒徑 0.3 微米以上粒子的過濾效率不低于 99.95%，相當 于歐洲標準 E12H14;超高效過濾器對粒徑 0.1 微米以上粒子的過濾 效率不低于 99.999%，相當于歐洲標準 U15-U17。HEPA/HEPA/高效空氣過濾器：高效空氣過濾器：High Efficiency Particulate Air Filter，指在額定風量下

9、，對粒徑大于或等于0.3微米粒子的捕集效率在99.95%以上的空氣過濾器。ULPA/ULPA/超高效空氣過濾器：超高效空氣過濾器：Ultra Low Penetration Air Filter，指在額定風量下，對粒徑大于或等于0.1微米粒子的捕集效率在 99.999%以上的空氣過濾器。初效過濾器：初效過濾器：一般用于空調系統的初級過濾，主要用于過濾粒徑 2 微米 以上塵埃粒子。初效過濾器有板式、折疊式、袋式等樣式。初效過濾器一般具有容塵量高、阻力較小、經濟適用等特點。中效過濾器：中效過濾器：一般指過濾效率介于初效和高效之間的空氣過濾器，主要 用于過濾粒徑 0.5 微米以上塵埃粒子。中效過濾器

10、有板式、袋式、箱式等樣式，一般根據凈化系統的過濾效率、容塵量及阻力要求，與初效及高效過濾器搭配使用。PTFEPTFE高效過濾器：高效過濾器：使用聚四氟乙烯（Poly Tetra Fluoroethylene）作為濾材的高效過濾器，較普通材質的高效過濾器具有高效率低阻力的特點?；瘜W過濾器：化學過濾器：用于過濾空氣中的 AMC、VOCs 等氣態污染物的過濾器，較常用的濾材為活性炭。FFUFFU：風機過濾單元（Fan Filter Unit），是一種自帶動力的送風過濾裝置，是具有過濾功效的模塊化的末端送風裝置。風機過濾單元從頂部將空氣吸入并經 HEPA 或 ULPA 過濾，過濾后的潔凈空氣在整個出風

11、面以 穩定的速度均勻送出。EFUEFU：設備端風機過濾單元（Equipment Fan Filter Unit），即應用于設備端，具有過濾功效的模塊化的送風裝置。相較于 FFU，EFU 體積及厚度均較小，便于安裝并可隨設備一起移動，主要用于潔凈室中局部高等級 凈化區域設備，如潔凈工作臺、風淋室等。請務必參閱正文之后的重要聲明 5 1.11.1、風機過濾單元、風機過濾單元 風機過濾單元（FFU）廣泛應用于半導體、生物制藥、食品加工等行業的潔凈廠房及 潔凈室中，是潔凈室空氣凈化的關鍵設備。該設備主要用于潔凈室的吊頂或潔凈 區域的上方或側面，搭配或內置高效/超高效過濾器，提供穩定的潔凈氣流，通過氣流

12、的推出作用和稀釋作用將室內污染物高效凈化，從而達到高潔凈度的要求。圖表1：風機過濾單元在潔凈室中典型的安裝布局 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 圖表2：典型的風機過濾單元結構圖 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 6 1.11.1、過濾器：高效過濾器、初中效過濾器、過濾器：高效過濾器、初中效過濾器 高效過濾器：高效過濾器：主要包括高效過濾器(HEPA)、超高效過濾器(ULPA)。主要用于半導體芯片、液晶平板顯示器、生物制藥、醫院手術室、負壓病房、食品飲料等生產廠房、模塊化潔凈室及要求嚴格的微環境、精密機臺等，是潔凈室空氣凈化的核心設備。該類設備一般用作潔凈室末端出風口的空

13、氣凈化，其過濾效率及穩定性將極大影響潔凈室中精密工序的良率，因此其穩定性及使用壽命要求較高，且需要合理進行系統設計，選用適合的上游各級過濾器對其進行保護。美?？萍籍a品根據客戶需求選用超細玻璃纖維、PTFE 等多種濾材組合，達到高效過濾與低阻力、高容塵相結合。初中效過濾器：初中效過濾器：按形態主要分為板式過濾器和袋式過濾器。主要用于潔凈室新風及空調系統的空氣預過濾，去除進入室內空氣中較大顆粒的雜質、粉塵等污染物，對空氣凈化系統中高級別的過濾器起到保護作用。美?？萍籍a品擁有高容塵、阻力低、效率穩定、性價比高的特點。圖表3：高效過濾器 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 圖表4：初中效過濾器 資料來源：美

14、?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 7 1.11.1、化學過濾器、化學過濾器 化學過濾器：化學過濾器：主要通過濾料中的活性炭及其他特殊材料，對氣態污染分子進行捕獲，去除空氣中的甲醛、VOCs、AMC、腐蝕性氣體等特定污染物。該類過濾器主要應用于潔凈廠房的特定工序中(如芯片廠的酸洗、蝕刻等)，去除生產工藝中產生的氣態分子污染物；也應用于機房與數據中心的防腐蝕控制，保護數據中心與機房控制設 備的穩定運行；此外在排氣污染 控制、商業樓宇和住宅中也有所應用。圖表5：化學過濾器 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 圖表6：化學過濾器 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 8

15、1.11.1、過濾器生產流程、過濾器生產流程 圖表7：初中效過濾器生產流程 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 圖表8：高效過濾器/化學過濾器生成流程 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 9 1.11.1、過濾器的適配兼容情況、過濾器的適配兼容情況 過濾器產品可搭配風機過濾單元，應用于潔凈室中，是使用最廣泛的搭配方式；而潔凈室中特定工序、潔凈室新風系統、暖通系統則直接搭配特定的過濾器產品。美?？萍歼^濾器的適配情況、兼容情況、通用性具體如右圖：圖表9：美?？萍歼^濾器的適配情況、兼容情況、通用性 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 10 1.21.2、半導

16、體潔凈室、半導體潔凈室 潔凈室是半導體行業制造環節中重要的一環，直接潔凈室是半導體行業制造環節中重要的一環，直接決定了最終產品的成敗。決定了最終產品的成敗?，F代集成電路制造工藝已經達到5納米級別，集成電路的制造過程一般從自動化軟件把算法邏輯生成硬件電路開始，然后將集成電路設計版圖轉印到光刻板上。集成電路的基礎制造材料是硅片，硅片經過各種表面處理后，與光刻板一起經過包括光刻、熱處理、介質沉積、化學機械研磨等工藝最終形成集成電路芯片。如果生產過程中空氣潔凈程度達不到要求，產品良率會受到很大影響。隨著技術的進步，集成電路對潔凈度的要求越來越隨著技術的進步，集成電路對潔凈度的要求越來越高。高。一般而言

17、，當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒，對集成電路的制造產生影響。比如，14納米工藝中7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高，目前 3 納米的工藝已經開始研發，集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高，對于潔凈室工程的技術提出越來越高的要求。集成電路產業鏈幾乎所有的主要環節，從單晶硅片制造、到 IC 制造及封裝，都需要在潔凈室中完成，且對于潔凈度的要求非常高。圖表10：半導體潔凈室 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 11 1.21.2、半導體潔凈室空氣凈化的三個階段、半導體潔凈室空氣凈化的三個階段 圖表11：半導體潔凈廠房的主要結構

18、示意圖及美?？萍贾饕a品的應用過程 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 半導體潔凈廠房通常采用垂直單向流的方式，通過推出作用將室內污染的空氣排至室外，從而達到凈化室內空氣的目的。潔凈室空氣凈化主要分為三個階段：第一階段，使用初中效過濾器進行預處理：通過空調控制溫濕度，同時通過其中搭載的過濾器對室外進入室內的新風進行預處理，攔截空氣中常見的大顆粒物。該環節的設備位于潔凈室（生產車間）物理隔離層壁板外部，預處理完成的空氣將進入潔凈室壁板內部。第二階段，使用風機過濾單元進行深度過濾：風機過濾單元（含高效/超高效過濾器、化學過濾器等）位于潔凈室內部，滿布于潔凈室（生產車間）物理隔離層內部的頂端，對第一階段預

19、處理后的空氣中未能處理的其他細微顆粒物、氣態分子污染物、微生物進行進一步處理，以達到半導體生產車間的空氣極高凈化等級要求。第三階段，內部空氣持續循環：潔凈室內部空氣循環凈化，回風通過高架地板及回風夾道，送至風機過濾單元（含高效/超高效過濾器、化學過濾器等）重新過濾后送入潔凈室內重復使用。請務必參閱正文之后的重要聲明 目錄目錄 12 1 1、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元 2 2、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚 3 3、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、

20、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 4 4、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?5 5、風險提示、風險提示 請務必參閱正文之后的重要聲明 13 2.12.1、空氣過濾器行業市場空間廣闊、空氣過濾器行業市場空間廣闊 近年來隨著芯片行業、液晶面板行業、生物醫藥行業及食品加工行業的產業升級、產品更新換代，大量企業新建高標準的潔凈廠房。根據沙利文數據，中國潔凈室設備市場規模在2019年已超過900億元，至2024年將超過1,400 億元。根據中研網數據，2019 年我國空氣過濾器行業市場規模達到94.5億元。隨著經濟結構的不斷轉型和對空氣質量要

21、求的不斷提升，對空氣過濾器的需求會不斷增加，預計2025年我國空氣過濾器行業市場規模會達到150億元（以 8%的增長率測算）。圖表12：中國潔凈室凈化設備市場規模（單位：億元人民幣）資料來源：Frost&Sullivian，美?？萍颊泄烧f明書 圖表13：中國空氣過濾器市場規模（單位：億元人民幣）資料來源：中研網，美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 14 2.22.2、半導體空氣過濾器競爭格局：、半導體空氣過濾器競爭格局：AAFAAF和和CamfilCamfil兩大兩大巨頭巨頭 在潔凈室過濾器領域，美?？萍贾饕母偁帉κ职▏H品牌主要包括愛美克AAF、康菲爾Camfil。愛美克（

22、愛美克（AAFAAF）：）：作為全世界最大的空氣過濾解決方案制造商之一，其生產、倉儲和配送設施及售后服務遍布四大洲 22 個國家。AAF 國際公司總部位于肯塔基州路易斯維爾市，致力于通過開發和制造高品質的空氣過濾器和過濾設備來保護人員、工藝流程和系統。愛美克的母公司是位于日本大阪的大金工業株式會社(6367.TSE)，系一家多元化的國際制造公司和全球領先的空調企業。愛美克主要產品包括空氣過濾器、潔凈設備、隔離防護設備、化學過濾器、化學過濾設備等，其生產、倉儲和配送設施及售后服務遍布四大洲 22 個國家。愛美克于 2000 年進入中國，分別在蘇州、深圳、武漢、臺灣設立了 4 間工廠，總部位于蘇州

23、。截止2017年初，愛美克在全國共建立了14個銷售辦事處，2016年度銷售額達6億人民幣(含臺灣地區 5,500 萬人民幣)，銷售網絡覆蓋全中國?？捣茽柨捣茽枺–amfilCamfil）：康菲爾集團總部位于瑞典斯德哥爾摩，是空氣過濾設備和潔凈空氣解決方案的生產和研發領域的世界專業品牌?？奠碃栐诿乐?、歐洲和亞太地區共設立了 28 家生產工廠，6 座研發中心以及遍及全球的銷售公司。該公司主要產品有初中效過濾器、高效過濾器、FFU、高效送風口、生物安全過濾器、化學過濾器。根據康菲爾官方年度報告的數據，康菲爾 2020 年遍布全球的 30 個營業部的銷售額為 92 億瑞典克朗，折合人民幣約 73 億元

24、。美?？萍迹和ㄟ^ 20 多年研發投入和經驗積累，公司與中芯國際、上海微電子等客戶建立長期穩定合作關系。圖表14：空氣過濾器行業上下游 資料來源：美?？萍?023年半年報 請務必參閱正文之后的重要聲明 15 2.32.3、空氣過濾器行業壁壘深厚，美?？萍季邆浜诵母偁幜?、空氣過濾器行業壁壘深厚，美?？萍季邆浜诵母偁幜?美?？萍济腊？萍妓幍氖强諝鉂崈粜袠I，以半導體領域為例，潔凈室是下游制造核心環節。所處的是空氣潔凈行業，以半導體領域為例，潔凈室是下游制造核心環節。公司通過采購風機、濾材濾料、板材和型材等上游材料，部分核心的領先材料由公司自主研發，例如PTFE 膜材料，由公司與上游合作方聯合研發，并

25、已實現60%-70%國產替代；納米纖維材料和改性活性炭，公司擁有獨特的改性技術，比如高效及超高效過濾技術、浸漬型化纖濾材改性技術、分子篩技術、活性炭吸附技術、離子交換纖維技術等，通過酸洗、改性溶劑配方、浸漬比控制等工序使產品性能領先行業水平。加工制造成過濾器、風機過濾單元和空氣凈化器產品，其中過濾器產品既可以作為零部件用于另外兩個產品的生產，也可以單獨對客戶進行銷售，公司的核心技術是基于對應用技術、材料技術、產品的深度了解和研究而形成的有競爭力的綜合解決方案。公司產品的應用場景包括潔凈室空氣凈化、室內空氣品質優化、大氣污染治理，其中潔凈室場景的收入占比最高。潔凈室指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓

26、力、噪聲等參數根據需求進行控制的密閉性較好的空間，按照特定的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級潔凈室指對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數根據需求進行控制的密閉性較好的空間，按照特定的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。別。污染敏感零件的批量生產需要在潔凈室中完成。潔凈室需使用風機過濾單元（FFU）進行空氣過濾以及高架地板進行空氣循環?？諝庵械奈⒘舛仍降?，潔凈室的潔凈度越高。國際標準國際標準ISO14644 ISO14644 是潔凈室的潔凈等級標準，根據每立方米中不同粒徑顆粒的數量，評定相應的是潔凈室的潔凈等級標準，根據每立方米中不同粒

27、徑顆粒的數量，評定相應的ISO1ISO1-9 9 等級。等級。其中，ISO1 級為最高潔凈等級，建設及維護成本相對最高，ISO9 級為潔凈室的最低等級。各下游應用領域對于潔凈室的空氣潔凈等級要求均有不同。半導體及電子行業，制造特定產品需要無塵且溫濕度適當的環境；醫藥行業及食品行業，制造過程需要無塵、無菌及無真菌的受控環境，且需控制及預防受污染的制造產品外流。一般來說，電子行業的潔凈室等級要求最高，為 ISO3-ISO6；醫藥行業和醫療行業的要求為 ISO5-ISO8；食品行業要求為 ISO6-ISO7；儀器儀表、精細化工行業的要求為 ISO5-ISO6。對于半導體行業來說，潔凈室是制造環節中重

28、要的一環，直接影響產品良率。對于半導體行業來說，潔凈室是制造環節中重要的一環，直接影響產品良率。集成電路產業鏈幾乎所有的主要環節，如單晶硅片制造和 IC 制造及封裝都需要在潔凈室中完成，且隨著技術的進步，集成電路對潔凈度的要求越來越高。一般而言，當微粒尺寸達到集成電路節點一半大小時就成為了破壞性微粒，對集成電路的制造產生影響，電子器件的生產環境對空氣顆粒物的存在極為敏感，如果空氣中多一顆微米級的顆粒物，就相當于一輛卡車從 10 米高的位置砸向一條電纜，生產出來的電子器件不僅可靠性差，質量不穩定，甚至可能直接報廢。比如，14 納米工藝中7 納米的微粒就會影響制造過程。隨著集成電路的工藝越來越高，

29、目前 3 納米的工藝已經開始研發及生產，對于潔凈室工程技術提出越來越高的要求。請務必參閱正文之后的重要聲明 16 2.32.3、空氣過濾器行業壁壘深厚，美?？萍季邆浜诵母偁幜?、空氣過濾器行業壁壘深厚，美?？萍季邆浜诵母偁幜?圖表15：美?？萍己诵募夹g 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 在生產開始前，美?？萍家劳杏谧陨砜諝鈾z測技術和長期積累的空氣凈化實施經驗，對客戶的生產環境氣體進行采樣分析，結合原始空氣污染物情況，以及模擬 生產狀態釋氣等復雜過程，確定凈化產品所需的核心技術與最優解決方案（如需采用的過濾器等級、是否搭載特定的化學過濾器等）。同時，依托于自身材料改性技術、復雜工藝流程經驗、特制加工設

30、備能力等，綜合考慮選材、加工及后續使用過程產品自身的密封性保證及不得造成二次污染的需求，確定產品的設計方案與具體工藝、性能要求，進而選取合適的材料（如選用不同型號的玻纖或 PTFE等），以及定制開發所需的加工設備（如定制打折設備等）。在生產過程中，美?？萍歼\用自研的“浸漬型化纖濾材改性技術”等專利技術，將自外部采購并不具備空氣凈化功能的材料，通過酸洗、改性溶劑配方、浸漬比控制、震蕩混合等18道工序，將無凈化功能的材料進行活化與內部微孔改性，達到提升吸附量、靶向吸附、吸附空間、使用壽命等；運用自研的“高效、超高效過濾技術”等專利技術，經過16道濾芯制作工序，生產強度高、密封性好、阻力低、氣流均勻

31、度好的濾芯；運用“一種高效率風機過濾器機組”等專利技術，以及自研的特殊密封發泡熱熔膠、快速零泄漏注膠等工藝，生產高效、低阻、高強度的過濾器產品；綜合利用“FFU 節能降噪和系統集成技術”等核心技術，生產總靜壓較高、低噪音、耗電量較低的 FFU 產品。在生產完成后，美?？萍祭脤Ｓ械臏y試技術，對產品進行檢測與質量控制，實現產品全生命周期溯源管理，為半導體潔凈室客戶提供全方位針對性解決方案，保障客戶潔凈室達到半導體尖端制程環境對潔凈空氣度要求（達到去除最小 0.1 微米細微顆粒物凈化指標、小于 0.001 微米氣態分子污染凈化指標等極高空氣潔凈度要求）。請務必參閱正文之后的重要聲明 17 2.32

32、.3、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚 芯片制造的全產業鏈從高端半導體制造、IC 制造、封裝測試等各環節都離不開極高潔凈度空氣的環境保障?？諝鉂崈艏夹g是半 導體產業發展的重要基石和保障。隨著芯片領域的技術不斷突破和升級，晶圓加工的生產環境及核心設備光刻機的運行環境對空氣潔凈度有著極高的要求，這也對空氣凈化設備廠商提出了極高的要求。美?？萍家?20 多年積累的研發技術實力和客戶專業工藝制程應用經驗，為半導體潔凈室客戶提供針對性解決方案。公司自 2002 年起進入半導體潔凈室領域，2006 年至今為中芯國際(688981.SH)成都、武漢、上海、北京、天津、深圳、

33、寧波、江陰、紹興等工廠供應 FFU、高效/超高效過濾器、化學過濾器等產品，用于保障中芯國際系的歷代產品線(包括中芯國際最先進的 14nm和28nm制程)對空氣潔凈度的要求。同時，公司為開發國內首臺 28 納米光刻設備的上海微電子裝備(集團)股份有限公司所需的光刻機機臺內國際最高潔凈等級標準(ISO Class 1 級)潔凈環境提供 EFU(超薄型設備端自帶風機過濾機組)及 ULPA(超高效過濾器)等產品，亦已驗收合格，助力國內光刻機事業突破卡脖子技術難題。此外，在海外市場，公司系 Intel、ST Microelectronics 等國際半導體廠商的合格 供應商，為其提供空氣凈化產品?？諝鈨艋?/p>

34、是一門跨學科的技術，需要產品設計、生產制造、工藝保障、質量 檢驗與控制、項目現場運作調試等多方面的綜合能力配合。公司基于持續的研發投入，專業領域的長期深耕，在技術突破和經驗積累的基礎上掌握了材料改性、濾料復合、產品工藝、設計、系統應用專業解決方案等方面豐富的核心技術。以以中芯國際的上海中芯南方工廠中芯國際的上海中芯南方工廠 14nm 14nm 制程項目為例，其潔凈度要求為制程項目為例，其潔凈度要求為:細微顆粒物凈化指標要求:生產環境中須達到任意時點任意位置截取 1 立方米空氣中，0.1 微米(0.1 微米相當于頭發直徑的600-900 分之一)細顆粒檢測數值須小于1,000 顆(未經處理前約有

35、幾千萬顆);氣態分子污染物凈化指標:生產環境中須達到任意時點任意位置氣態分子污染物檢測濃度比低于百億分之一(未經處理前濃度約為億分之三，且生產過程會持續釋出氣態分子污染物使其濃度進一步上升)。為達到上述及高等級潔凈度要求，公司運用自有核心技術及發明專利生產產 品，其核心技術先進性集中體現在濾料改性、濾芯制作、成品制造、節能高效四個方面。請務必參閱正文之后的重要聲明 18 2.32.3、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚 公司綜合運用核心技術，將不具備空氣凈化功能的材料按照產品設計通過改性復合制造加工生產性能指標優良的過濾器與風機過濾單元產品。公司材料主要為濾料、

36、風機等。濾料為單層平鋪形態或分散顆粒狀態，未經 過進一步加工處理或改性，不能形成有效的過濾層，不具備密封性和結構強度，不能滿足相關應用場景結構形態、過濾效率、阻力、均勻度、壽命的要求;風機 僅具備運轉、送風功能，其送風氣流無組織情況下不能滿足潔凈室所需的均勻度、靜壓、低噪等功能性要求。公司由材料改性復合、產品設計制造到系統應用解決方案的流程示意如下:圖表16：美?？萍嫉牟牧细男詮秃?、產品設計制造到系統應用解決方案的流程圖 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 19 2.32.3、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚 1、核心技術應用為過濾器提

37、供核心功能及價值 公司通過運用改性復合技術，使產品形成有效的過濾層，具備密封性及結構 強度，滿足設定的過濾效果;運用高效、超高效過濾技術、介質過濾技術、CFD 仿真技術，對濾料進行測試、選型、濾芯設計，實現高強度、低阻力 HEPA/ULPA；運用自動換料技術，與系統阻力聯動，可大幅度節省人工;運用嵌插接角框架專 利技術，實現過濾器高效率快速組裝，強度可靠;運用風力發電系統過濾技術，為風力發電新能源護航;運用活性炭改性技術、離子交換纖維技術、化纖濾料改 性技術，大幅度提升活性炭及相關材料的性能，材料壽命提高 1.7-5 倍，壓損降 低 55%-60%，生命期成本降低 20%-50%，顆粒物脫落量

38、極低，實現濾料可再生 性能，達到節能環保、危廢減少的效果，系公司市場競爭力的顯著技術優勢。圖表17：美?？萍歼^濾器的核心技術 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 20 2.32.3、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚、美?？萍荚诎雽w領域技術積累深厚 2、核心技術應用為風機過濾單元提供核心功能及價值 公司通過 FFU 節能降噪技術和 CFD 仿真技術進行箱體設計，實現低噪音、低能耗、均勻送風，與配套 HEPA/ULPA 組合，可節能超過 15%。通過 FFU 系 統集成技術，采用大規模高速群控系統集中控制，可實現監控超過 10 萬臺 FFU，遠端故障反饋8 秒，可兼容交直

39、流風機和多種通訊協議，實現自動組態及無線 控制，并通過優化矢量脈寬調制低諧波技術，助力客戶實現整體效率優化。圖表18：美?？萍硷L機過濾單元的核心技術 資料來源：美?？萍颊泄烧f明書 請務必參閱正文之后的重要聲明 目錄目錄 21 1 1、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元 2 2、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚 3 3、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 4 4、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?、投資建議：

40、半導體過濾器行業關注美?？萍?5 5、風險提示、風險提示 請務必參閱正文之后的重要聲明 22 3.13.1、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 美?？萍汲闪⒂?001 年，二十余年以來始終聚焦于半導體、生物制藥、公共醫療衛生等領域的工業級超潔凈技術的研發和應用，并將這一技術進一步轉化應用于商用人居和工業除塵及 VOCs 治理等細分市場。公司專利數量、產品參數、品牌聲譽、市占率水平均領先國產廠商、對標海外龍頭。公司立足于中國市場，不斷向東南亞等半導體新興產業區域布局，目前已經擁有 7 個境內生產基地和2 個境外生產基地，客戶覆蓋中芯

41、國際、ST Microelectronics 等國內外半導體龍頭廠商。2021 年底，公司獲國家級專精特新“小巨人”企業稱號，成為國內電子半導體潔凈室設備龍頭。圖表19：美?？萍細v史沿革（2001-2015年）資料來源：美?？萍脊_路演PPT 請務必參閱正文之后的重要聲明 23 3.13.1、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 美?？萍贾饕a品有風機過濾單元、過濾器（高效過濾器、初中效過濾器、化學過濾器、靜電過濾器等）、空氣凈化設備、工業除塵除油霧設備、VOCs 治理設備等。其中過濾器產品為耗材產品，根據客戶不同應用場景，更換周期

42、在6 個月-2 年不等。公司生產上述產品，經過招投標及協議銷售等方式，出售給相關客戶獲得收益。資料來源：美?？萍脊_路演PPT 圖表20：美?？萍細v史沿革（2017-2022年）請務必參閱正文之后的重要聲明 24 3.23.2、成長邏輯一之空氣過濾器：耗材屬性，未來有望持續成長、成長邏輯一之空氣過濾器：耗材屬性，未來有望持續成長 圖表21：美?？萍籍a品系列 資料來源：美?？萍脊_路演PPT 空氣過濾器具有一定的使用壽命，需定期更換，否則將影響其凈化效力。從空氣過濾產品的整個運營壽命來看，其生命周期成本包括過濾器初始購買成本、過濾器更換成本、能耗成本、人工及廢棄物處理成本。經過多年的發展，公司與

43、各領域的下游客戶大多建立了穩定的合作供應關系，除了在潔凈室首次新建時的設備供應外，公司不斷為客戶提供后續過濾器設備的替換，存量替換為公司發展的穩定性與可持續性提供了有力支撐。請務必參閱正文之后的重要聲明 25 3.23.2、成長邏輯一之空氣過濾器：耗材屬性，未來有望持續成長、成長邏輯一之空氣過濾器：耗材屬性，未來有望持續成長 圖表22：美?？萍蓟厩闆r梳理 資料來源：美?？萍脊_路演PPT 美?？萍己牟念愂杖氲恼急仁侵鸩教嵘倪^程，從之前的5%左右一直到10%、20%，再到2023年的28%，是隨著新建項目存量的增加以及與客戶維系良好粘性而提升的。一旦替換耗材收入占比突破了50%，下游行業的周

44、期波動或者單個下游行業的超大項目的驗收周期波動對公司合并報表層面的影響就會比較有限。從經營和業務模式來說，公司的業務模式可能會從之前的大部分通過項目收入的項目模式轉為大部分通過大部分通過替換耗材來確認收入的消費模式，公司合并報表層面的盈利的穩定性會大大提高，另外公司現金流回款也會逐步提升。耗材的更換頻率主要是根據過濾器的過濾等級來決定的，平均的濾材更換頻率介于6到12個月（初中效過濾器）或者2到8年不等（高效過濾器）。除此之外，其他的考量因素包括自身空氣環境中的顆粒物大小，塵埃的多少以及制程環境的室內空氣質量等。換而言之，濾材的更換頻率也直接掛鉤客戶的制程環境、潔凈廠房的潔凈度要求以及設備的使

45、用率等，這些都對耗材的更換頻率有著重要的影響。請務必參閱正文之后的重要聲明 26 3.23.2、成長邏輯二之出海：未來海外收入占比有望持續提升、成長邏輯二之出海：未來海外收入占比有望持續提升 圖表23：美?？萍嫉娜虿季?資料來源：美?？萍脊_路演PPT 目前公司正在積極開拓海外市場，2020年-2022年海外收入3年CAGR增速接近50%，2024年新簽訂單海外占比約為15%-20%，海外市場增速很快，客戶主要分布在東南亞，其次歐洲、南亞和中東地區的銷售業務也在持續增長。未來公司將繼續開拓北美和加強歐洲以及中東市場的銷售布局，實現全球化的銷售體系。公司加速布局東南亞等海外市場，進入核心國際客

46、戶供應鏈。公司已經通過了多個國際著名廠商的合格供應商認證，如半導體芯片廠商、新能源光伏廠商等并且已開展商業實質業務。著名廠商的認證有望為公司帶來海外發展的便利，有助于公司加速入庫其他國際著名廠商的全球業務。請務必參閱正文之后的重要聲明 27 3.33.3、成長邏輯三之擴產：南京二期遠期產能巨大、成長邏輯三之擴產：南京二期遠期產能巨大 美?？萍贾饕獡碛? 個境內生產基地及2 個境外生產基地。國內產能方面，目前開展的南京工廠二期擴產項目是整體募投項目的一部分，主要是為了解決目前產能不足的短板和瓶頸，是為了未來12年業績增長而準備的。二期擴產項目已于2022年7月初動工，預計于2024年第一季度開始

47、投入生產，預計滿產后的產能可達到目前南京工廠產能的1.5倍，能支撐公司對于20242025年業務增長需求。國外產能方面，公司在馬來西亞當前的產能約為5,000萬元人民幣。在2022年年底，海外購買了兩間新的廠房，預計于2024年第一季度開始投入生產，產能擴充后，海外的產能將提升至2.0億元人民幣。資料來源：美?？萍脊?023年半年報 圖表24：美?？萍籍a能 請務必參閱正文之后的重要聲明 28 3.43.4、成長邏輯四之半導體：、成長邏輯四之半導體：20242024年趨于復蘇年趨于復蘇 圖表25：全球半導體行業銷售額（單位：十億美元；2023-2027年數據為預測值）資料來源：Gartner預

48、測，光大證券研究所 請務必參閱正文之后的重要聲明 29 3.43.4、成長邏輯四之半導體：、成長邏輯四之半導體：20242024年趨于復蘇年趨于復蘇 圖表26：全球半導體行業資本開支（單位：十億美元；2023-2027年數據為預測值）資料來源：Gartner預測，光大證券研究所 請務必參閱正文之后的重要聲明 目錄目錄 30 1 1、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元、什么是空氣過濾器、化學過濾器、風機過濾單元 2 2、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚、空氣過濾器行業市場廣闊，美?？萍及雽w領域積淀深厚 3 3、美?？萍迹褐袊雽w空氣過濾器龍頭具備全球競爭力、美?？萍?/p>

49、：中國半導體空氣過濾器龍頭具備全球競爭力 4 4、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?5 5、風險提示、風險提示 請務必參閱正文之后的重要聲明 資料來源：Wind，光大證券研究所。注：2024-2025年凈利潤為WIND一致預期，中微公司、芯源微、盛美上海、拓荊科技、華海清科、中科飛測-U、微導納米、美?？萍?、富創精密2023年凈利潤使用已披露數值；北方華創、精測電子、至純科技、萬業企業2023年凈利潤使用WIND一致預期；市值日期為2024.3.5 31 圖表27：半導體設備和半導體零部件股票池 4 4、投資建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?、投資

50、建議：半導體過濾器行業關注美?？萍?半導體過濾器行業建議關注美?？萍?。根據WIND一致預期，美?？萍?024-2025年凈利潤2.38、3.01億元，2024年3月5日市值45億元，對應2024-2025年PE為19x、15x。證券代碼證券代碼 證券簡稱證券簡稱 總市值總市值 （億元）（億元）凈利潤（億元）凈利潤（億元）PE 21A21A 22E22E 23A/E23A/E 24E24E 25E25E 21A21A 22E22E 23A/E23A/E 24E24E 25E25E 688012.SH 中微公司 926 10.11 11.70 17.86 19.83 25.20 92 79 52

51、47 37 002371.SZ 北方華創 1,544 10.77 23.53 38.14 52.89 69.32 143 66 40 29 22 300567.SZ 精測電子 199 1.92 2.72 2.36 3.83 5.46 103 73 84 52 36 603690.SH 至純科技 103 2.82 2.82 4.17 5.28 6.94 37 37 25 20 15 688037.SH 芯源微 163 0.77 2.00 2.51 4.08 5.73 211 81 65 40 28 688082.SH 盛美上海 410 2.66 6.68 9.11 11.39 14.58 154

52、 61 45 36 28 688072.SH 拓荊科技 390 0.68 3.69 6.65 8.28 11.30 569 106 59 47 34 688120.SH 華海清科 316 1.98 5.02 7.27 10.09 13.16 160 63 44 31 24 688361.SH 中科飛測-U 197 0.53 0.12 1.42 1.91 2.80 369 1,680 139 103 71 688147.SH 微導納米 168 0.46 0.54 2.57 5.32 7.59 363 309 65 31 22 600641.SH 萬業企業 127 3.77 4.24 3.25 3

53、.68 4.37 34 30 39 34 29 688376.SH 美?？萍?45 1.08 1.23 1.73 2.38 3.01 42 37 26 19 15 688409.SH 富創精密 125 1.26 2.46 1.58 3.35 4.86 99 51 79 37 26 請務必參閱正文之后的重要聲明 5 5、風險提示、風險提示 32 半導體需求不及預期風險。半導體可能存在需求不足等問題，后續應用產品需求可能不及預期。宏觀經濟不如預期風險。在全球貿易爭端頻發、國際環境復雜多變的宏觀背景下，半導體相關領域的發展可能會受到負面影響，從而影響相關業務領域的市場需求。行業競爭加劇風險。半導體技

54、術難度高、研發時間長，企業的技術創新能力、資金實力和人才素質等都是競爭的核心要素。相關企業若不能抓住行業發展機遇，不能及時根據市場變化加快技術升級，提高產品及服務質量，可能面臨新產品和前沿技術的替代風險，降低市場競爭力可能導致行業競爭加劇，產生不利影響。通信電子研究團隊 劉凱劉凱 執業證書編號：S0930517100002 電話：021-52523849 郵件： 石崎良石崎良 執業證書編號：S0930518070005 電話：021-52523856 郵件： 孫嘯孫嘯 聯系人 電話：021-52523587 郵件： 于文龍于文龍 執業證書編號：S0930522100002 電話：021-525

55、23587 郵件： 何昊何昊 執業證書編號：S0930522090002 電話：021-52523869 郵件： 林仕霄林仕霄 執業證書編號：S0930522090003 電話：021-52523818 郵件： 朱宇澍朱宇澍 執業證書編號：S0930522050001 電話：021-52523805 郵件： 王之含王之含 聯系人 電話：021-52523818 郵件： 鵬華基金分析師聲明分析師聲明 本報告署名分析師具有中國證券業協會授予的證券投資咨詢執業資格并注冊為證券分析師，以勤勉的職業態度、專業審慎的研究方法，使用合法合規的信息，獨立、客觀地出具本報告，并對本報告的內容和觀點負責。負責準備

56、以及撰寫本報告的所有研究人員在此保證，本研究報告中任何關于發行商或證券所發表的觀點均如實反映研究人員的個人觀點。研究人員獲取報酬的評判因素包括研究的質量和準確性、客戶反饋、競爭性因素以及光大證券股份有限公司的整體收益。所有研究人員保證他們報酬的任何一部分不曾與，不與，也將不會與本報告中具體的推薦意見或觀點有直接或間接的聯系。行業及公司評級體系行業及公司評級體系 買入未來6-12個月的投資收益率領先市場基準指數15%以上；增持未來6-12個月的投資收益率領先市場基準指數5%至15%；中性未來6-12個月的投資收益率與市場基準指數的變動幅度相差-5%至5%；減持未來6-12個月的投資收益率落后市場

57、基準指數5%至15%；賣出未來6-12個月的投資收益率落后市場基準指數15%以上；無評級因無法獲取必要的資料，或者公司面臨無法預見結果的重大不確定性事件，或者其他原因，致使無法給出明確的投資評級?；鶞手笖嫡f明：A股市場基準為滬深300指數；香港市場基準為恒生指數；美國市場基準為納斯達克綜合指數或標普500指數。特別聲明特別聲明 光大證券股份有限公司（以下簡稱“本公司”）成立于1996年，是中國證監會批準的首批三家創新試點證券公司之一，也是世界500強企業中國光大集團股份公司的核心金融服務平臺之一。根據中國證監會核發的經營證券期貨業務許可，本公司的經營范圍包括證券投資咨詢業務。本公司經營范圍：證

58、券經紀；證券投資咨詢；與證券交易、證券投資活動有關的財務顧問；證券承銷與保薦；證券自營；為期貨公司提供中間介紹業務；證券投資基金代銷；融資融券業務；中國證監會批準的其他業務。此外，本公司還通過全資或控股子公司開展資產管理、直接投資、期貨、基金管理以及香港證券業務。本報告由光大證券股份有限公司研究所（以下簡稱“光大證券研究所”）編寫，以合法獲得的我們相信為可靠、準確、完整的信息為基礎，但不保證我們所獲得的原始信息以及報告所載信息之準確性和完整性。光大證券研究所可能將不時補充、修訂或更新有關信息，但不保證及時發布該等更新。本報告中的資料、意見、預測均反映報告初次發布時光大證券研究所的判斷，可能需隨

59、時進行調整且不予通知。在任何情況下，本報告中的信息或所表述的意見并不構成對任何人的投資建議?？蛻魬灾髯鞒鐾顿Y決策并自行承擔投資風險。本報告中的信息或所表述的意見并未考慮到個別投資者的具體投資目的、財務狀況以及特定需求。投資者應當充分考慮自身特定狀況，并完整理解和使用本報告內容，不應視本報告為做出投資決策的唯一因素。對依據或者使用本報告所造成的一切后果，本公司及作者均不承擔任何法律責任。不同時期，本公司可能會撰寫并發布與本報告所載信息、建議及預測不一致的報告。本公司的銷售人員、交易人員和其他專業人員可能會向客戶提供與本報告中觀點不同的口頭或書面評論或交易策略。本公司的資產管理子公司、自營部門以

60、及其他投資業務板塊可能會獨立做出與本報告的意見或建議不相一致的投資決策。本公司提醒投資者注意并理解投資證券及投資產品存在的風險，在做出投資決策前，建議投資者務必向專業人士咨詢并謹慎抉擇。在法律允許的情況下，本公司及其附屬機構可能持有報告中提及的公司所發行證券的頭寸并進行交易，也可能為這些公司提供或正在爭取提供投資銀行、財務顧問或金融產品等相關服務。投資者應當充分考慮本公司及本公司附屬機構就報告內容可能存在的利益沖突，勿將本報告作為投資決策的唯一信賴依據。本報告根據中華人民共和國法律在中華人民共和國境內分發，僅向特定客戶傳送。本報告的版權僅歸本公司所有，未經書面許可，任何機構和個人不得以任何形式、任何目的進行翻版、復制、轉載、刊登、發表、篡改或引用。如因侵權行為給本公司造成任何直接或間接的損失，本公司保留追究一切法律責任的權利。所有本報告中使用的商標、服務標記及標記均為本公司的商標、服務標記及標記。光大證券股份有限公司版權所有光大證券股份有限公司版權所有。保留一切。保留一切權利。權利。