萬業企業-離子注入機經營拐點半導體平臺化不斷拓展-210906（22頁）.pdf

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1、技術壁壘和集成度高。離子注入機所在行業具有技術、人才、資金、品牌壁壘，以技術為例，其涉及高壓電子、機械、電氣、計算機控制、等離子體物理等多個高技術學科，理論門檻較高，系統集成難度較大且需要充分考慮下游光伏、集成電路、AMOLED 等應用端客戶的生產工藝路線和技術水平，是一套基于核心裝備且跨產業、跨學科的整體解決方案;至于品牌則是由于半導體生產制造設備直接關系到下游產品的性能和良率，半導體設備廠家一般與下游客戶長期合作，較少更替。另外離子注入機根據離子束電流和束流能量范圍，一般可以把離子注入機分為低能大束流離子注入機、高能離子注入機和中低束離子注入機。目前，全球離子注入機仍以大束流離子注入機為主

2、，根據 Gartner 數據顯示，大束流離子注入機占全部離子注入機市場份額的 61%，中低束流離子注入機及高能離子注入機分別占比 20%和 18%。半導體 CR(2)在 70%，且設備比較全面。離子注入機的品牌壁壘決定行業集中度高，根據 2018 年 8 月此前萬業企業收購資產公告，目前全球第一大和第二大廠商美國應用材料公司和美國 Axcelis 公司分別占據50%/20%合計 70%份額，且美國應用材料和美國 Axcelis 公司是目前全球行業內唯一兩家全方面發展了三種離子注入機的公司。國外離子注入機廠商側重集成電路、國內離子注入機規模尚小。綜合來看，目前市場上離子注入機主要由美國和日本的廠

3、商壟斷，知名公司還有中國臺灣 AIBT 漢辰科技、日本住友、日新公司、日本真空，VARIAN (瓦里安), SEN 和 Invetac 等，其中日新公司是 AMOLED 離子注入機市場壟斷廠家，漢辰科技產品主要服務于臺積電，而國內起步較晚，目前主要代表性的企業僅有凱世通和北京中科信電子裝備兩家：(1)凱世通研發的首臺低能大束流離子注入機在國內一家 12 英寸主流集成電路芯片制造廠完成設備驗證工作并確認銷售收入;中電科電子裝備自主研發的國內首臺中束流離子注入機在中芯國際大生產線上穩定流片。(2)光伏競爭格局目前全球只有凱世通、美國 Intevac 公司、日本真空 3 家公司主要從事光伏離子注入機

4、的生產制造，凱世通的光伏離子注入機更被廣泛應用，2018 年市場占有率全球第一;(3)面板競爭格局:離子注入機主要有日新壟斷市場。三年布局半導體終放量，彰顯半導體發展決心。凱世通成立于 2009 年 4 月，最早與世界排名第二的 Axcelis 合作離子注入等相關設備研發、生產、應用和服務為一體的高科技企業，主要產品為光伏離子注入機及配套設備，公司以陳炯博士為首的五位世界一流離子注入設備專家創立，多次承接國家和上海部課題，是中國第一個將離子注入機應用于光伏領域的企業。公司于 2018 年 7 月從新三板退市轉讓給主板萬業企業。經過萬業企業的整合，凱世通在 2021 年上半年首臺低能大束流離子注

5、入機在國內一家 12 英寸主流芯片制造廠完成設備驗證并確認銷售收入，迎來經營拐點。擁有強大的創始人和技術團隊。凱世通創始團隊在創立凱世通之前均為IC 離子注入機領域的專家，公司管理團隊由以陳炯博士為首的五位世界一流離子注入機專家組成。陳炯博士是國際離子注入技術協會終生常務理事，他曾以著者或合著者的身份發表論文 15 篇，擁有 16 項美國專利，其他四位創始人為杰弗里伯克爾博士，洪俊華博士，唐納德貝里恩博士和陳維博士，公司被收購后，陳炯、洪俊華、JEFFREY SCOTT BOEKER將間接持有萬業企業股份，另外核心技術團隊還包括其他擁有離子注入機相關專利的技術人員。凱世通創始團隊具備 IC 離

6、子注入機的專利和技術積累，研發和發展得到國家重大專項和政府的支持。作為國內僅有的 2 家從事離子注入機研發和產業化的公司，凱世通承擔了打破國外壟斷和提升半導體設備國產化率的使命，2019 凱世通的研發和發展得到了國家 02 專項和上海市政府的大力支持，其中國家 02 專項極大規模集成電路制造裝備及成套工藝的課題離子源研發及低能減速機構的設計，根據萬業企業 2018 年 8月收購資產草案，凱世通的光伏離子注入機和 AMOLED 離子注入機均為中國首臺套，FinFET 離子注入機是國內第一臺針對 FinFET 集成電路工藝的離子注入機。具體如下圖，目前公司擁有核心技術包括多模式離子注入系統和方法、

7、大尺寸束流傳輸系統和方法、背接觸光伏電池制作工藝、 FinFET 摻雜工藝、會切磁場離子源、AMOLED 離子注入機離子束傳輸系統。公司具備替代國外集成電路低能大束流離子注入機的能力。凱世通創始團隊主要來自世界知名離子注入機公司，深耕離子注入機領域 30 多年，對比國外廠商提供全系列的集成電路離子注入機，凱世通的集成電路離子注入機目前主要聚焦于低能大束流離子注入機，雖然在最大產能、開機率、注入能量三項指標上低于國外主流同類產品但凱世通在低能和大束流等核心指標上已達到或超過國外同類產品，且能夠滿足國內集成電路行業實際應用。另外凱世通離子注入機系列產品采用通用平臺加模塊化設計，使得不同的離子注入機型共享相同的注入平臺硬件和軟件控制系統，并可結合當下客戶最新需求加以改進。