國內主要HJT設備廠商PECVD產品對比 邁為股份的 PECVD 綜合多重主流技術與自身特有方案,產品優勢明顯。國內 HJT設備商的具體 PECVD 技術路線出現較大分化:邁為股份采用多腔室準動態技術,鈞石能源采用大腔室設計,理想萬里暉采用雙腔體設計。通過產品的綜合比較可以發現,邁為股份基于等離子發射源靜態與動態兩種模式的優點開發出了多腔室準動態 PECVD,將腔室利用率由 40%提升至 70%,其產品具備產能大、腔體利用率高、穩定性強等優勢。 行業數據 下載Excel 下載圖片 原圖定位