替代階段（2000-2015 年）：AMHS 漸漸成為晶圓廠的必需設備。2000 年后，12 寸廠逐漸成為半導體先進制造的主流發展趨勢，AMHS 漸漸成為晶圓廠的必需設備。過去在 8 寸廠中，人工搬送尚可以彌補物料傳送環節的不流暢，但對于 12 寸 Fab 來說，單個存滿 wafer 的 FOUP 重量已達 8-15 公斤，體積為 8 寸晶圓盒的 2 倍，出于人體工學設計考慮，以及更大在制品物料數據追蹤需求，完善可靠的全流程自動化搬運系統成為必然。人工搬運已經無法滿足生產需求，同時為了提高生產效率，AMHS 自動物料搬運系統應運而生。AMHS 具備減少晶圓的閑置時間，提高無塵室空間利用率，提高產品良率，減少人員誤操作，降低人力成本等諸多優勢，廣泛應用于半導體硅片廠、芯片制造廠、芯片封裝廠。