2023年主要企業六氟化硫產能(工業級+電子級) 隨著中國集成電路產業的不斷發展,電子六氟化硫的市場需求加快,但具備大規模生產電子六氟化硫能力的公司很少。公司下屬黎明院于 2013 年開始“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”的課題研究,在多項技術上取得突破,是國內最早從事六氟化硫研發的企業。目前公司具備六氟化硫產能 1800噸,其中電子級六氟化硫產能 1000噸,產品純度可達 5.5N。 其它 下載Excel 下載圖片 原圖定位