另一方面，國內晶圓廠與上游國產供應商積極配合，顯著加快了卡脖子環節的國產化進程，持續進行工藝的突破和優化。以中微公司等為代表的國產設備廠商在關鍵卡脖子工藝取得突破性進展，以刻蝕環節為例，高深寬比刻蝕、All-in-one大馬士革刻蝕等工藝實現突破并不斷優化，為國內部分產線的調通做好了準備。