MEMS 傳感器的核心器件還包括加速度計，分為電容式、壓電式、熱感式以及諧振式等。加速度計通常由質量快、阻尼器、彈性元件、敏感元件和適調電路等部分組成。公司從事電容式加速度計的研發制造。MEMS 加速度計的核心是一顆MEMS 芯片、一顆 ASIC 芯片及應力隔離封裝。MEMS 加速度計利用敏感結構將線加速度的變化轉換為電容的變化量，最終通過專用集成電路讀出電容值的變化，得到物體運動的加速度值。