
從原理上,觸覺傳感器可分為壓阻式、電容式、電感式、壓電式、光電式等類別,其中電阻式、電容式最為常見:1)壓阻式:根據半導體材料的壓阻效應而制成的器件,其基片可直接作為測量傳感元件,擴散電阻在基片內接成電橋形式。當基片受到外力作用而產生形變時,各電阻值將發生變化,電橋就會產生相應的不平衡輸出。優勢是有較高的靈敏度,過載承受能力強;劣勢是壓敏電阻漏電流穩定性差。同時體積大,不易實現微型化;2)電容式:在外力作用下使兩極板間的相對位置發生變化,從而導致兩級間電容變化,通過檢測電容的變化量實現檢測。優勢是測量量程大,線性度好,制造成本低,實時性高;劣勢是物理尺寸大,不易集成化,易受噪聲影響,穩定性差;3)電感式:利用電磁感應原理將壓力作用轉換為線圈的自感系數和互感系數的變化,并將磁場的變化通過磁路系統轉化為電信號,從而檢測接觸面上的壓力信號。優勢是制造成本低,測試量程范圍大;劣勢是磁場分布難以控制,分辨率低、一致性差;4)壓電式:基于壓電效應的傳感器,是一種自發電式和機電轉換式傳感器。優勢是動態范圍寬,有較好的耐用性;劣勢是易受熱響效應影響;5)光電式:基于全內反射原理進行研制的,通常由光源和光電探測器構成。當施加在界面上的壓力發生變化時,傳感器敏感元件的反射強度和光源頻率也會相應發生變化。優勢是靈敏度高,響應快,有較高的空間分辨率,且受電磁干擾影響較??;劣勢是多力共同作用時線性較差,數據實時性差以及標定困難。