高精度MEMS壓力傳感器國產化尚存缺口。直接輸出頻率量的諧振式MEMS壓力傳感器是目前精度最高的MEMS壓力傳感器，具有數字化輸出、抗干擾、長壽命和抗輻照等優點。高精度諧振式MEMS壓力傳感器在航天航空領域、軍事領域的各項裝備上應用廣泛，同時也可用于氣象、地質、航海、油井和工業檢測等各種有高精度壓力需求的領域中。長期以來，國內高精度MEMS壓力傳感器市場由海外企業主導，德魯克/橫河機電/艾默生/安費諾等國際知名廠商具有較強的市場競爭力。近年來，國內高精度MEMS壓力傳感器技術接連取得突破，國內代表性廠商有橫河川儀/康斯特等。重慶川儀參股的金芯麥斯壓力傳感器精度可達±0.04%FS，其基于高穩芯片的M系列傳感器已向川儀股份批量供貨并實現全面進口替代；航空工業參股的思微科技實現了滿足±0.01%FS精度的硅諧振壓力傳感器量產。另外，航天九院704所/廈門大學/金天弘科技等也已研制出萬分級高精度MEMS諧振式壓力傳感器。