前身階段（1990-2000 年）：AMHS 前身天車方案替代 AGV 方案。1990 年代，8 英寸晶圓成為主流，天車方案替代 AGV 方案，為 AMHS 前身。隨晶圓尺寸增大，物料運輸和追溯管理成為影響工廠生產效率的明確要素。同時，隨著傳輸需求的增加，自動化的需求開始凸顯。到 90 年代后期，天車的出現讓晶圓廠開始轉向天車 interbay+Stocker 的方案搬送物料。