從營收結構看，公司的核心業務為精密運動系統及技術開發、納米精度運動及測控系統技術開發、激光退火設備和晶圓級鍵合設備及技術開發，分別占 2020 年營收的 63.47%、11.42%、10.76%和 8.97%；半導體零部件業務小而精：靜電卡盤和隔振器分別占 2020 年營收的 1.45%和 1.21%。公司的主營收入連年增長，2017-2020 年營收分別為 0.54 億元、0.86 億元、1.21 億元、1.52 億元，公司 2019 年度營業收入增幅 41.14%，2020 年度營業收入增幅 25.94%，主要來自于超精密測控裝備整機中的激光退火設備和晶圓級鍵合設備的交付以及精密運動系統的增長共同推動了公司業績的大幅增長。公司凈利潤也呈上升態勢，2020 年度公司凈利潤有所下降主要系公司管理費用、貸款利息、計提預計信用損失大幅增加所致。